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基于柔性热膜传感器的流体壁面剪应力测量系统 被引量:6
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作者 肖同新 马炳和 +2 位作者 邓进军 李雁冰 王毅 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第7期101-105,共5页
为实现流体壁面剪应力在线测量,设计了一种基于柔性热膜传感器的流体壁面剪应力测量系统。通过分析柔性热膜传感器作用机理,研发了基于LTZ1000电压基准的高精度恒流驱动电路,开发了基于DSP2812,AD7609的18位真差分同步高速数据采集模块... 为实现流体壁面剪应力在线测量,设计了一种基于柔性热膜传感器的流体壁面剪应力测量系统。通过分析柔性热膜传感器作用机理,研发了基于LTZ1000电压基准的高精度恒流驱动电路,开发了基于DSP2812,AD7609的18位真差分同步高速数据采集模块,并通过温度补偿方法对传感器输出信号进行了环境温漂修正。系统性能测试表明:当流场温度在10~30℃范围变化时,剪应力测量分辨率在0~10 Pa范围内优于0.2 Pa,流体温度变化引起的系统输出信号偏差为0.6%/℃,满足实际流体壁面剪应力测量要求。 展开更多
关键词 壁面剪应力 柔性热膜 测量系统 恒流驱动 温度补偿
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双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路
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作者 涂云婷 崔峰 赵韦良 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第4期341-347,共7页
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电... 为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成。主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研究。基于热温差和热损失的工作原理,使用Matlab/Simulink软件对热敏电阻进行数学建模,并使用Cadence/Pspice软件进行电路仿真分析,设计出了可适用于高速(10~30 m/s)、中速(1~10 m/s)和低速(0~1 m/s)的测控电路系统。风速测试实验实现了0~30 m/s的风速测量,结果表明,传感器的灵敏度最高为32.1 mV/(m/s),在低风速段灵敏度也可达到5.5 mV/(m/s)。该传感器可贴于曲面应用,测量范围广,环境温度适应力强。 展开更多
关键词 柔性微电子机械系统(MEMS) 流速传感器 柔性热膜 双加热电阻 测控电路
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隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工
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作者 马炳和 郝日鹏 +1 位作者 邓进军 朱鹏飞 《航空工程进展》 2013年第3期327-332,共6页
为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数;研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件。对静/动态特性进行对比测... 为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数;研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件。对静/动态特性进行对比测试,结果表明:在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20%,时间常数由400μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升。 展开更多
关键词 柔性热膜 隔热背腔 仿真 微加工
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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化 被引量:9
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作者 马炳和 赵建国 +1 位作者 邓进军 苑伟政 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1971-1977,共7页
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从... 为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。 展开更多
关键词 柔性热膜传感器阵列 电阻温度系数 微加工
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Experimental Research on Boundary Shear Stress in Typical Meandering Channel 被引量:1
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作者 CHEN Kai-hua XIA Yun-feng +2 位作者 ZHANG Shi-zhao WEN Yun-cheng XU Hua 《China Ocean Engineering》 SCIE EI CSCD 2018年第3期365-373,共9页
A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the... A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the mean sidewall shear stress distribution along the meandering channel, and the lateral boundary shear stress distribution in the typical cross-section of the meandering channel was analysed. Based on the measurement of the boundary shear stress, a semi-empirical semi-theoretical computing approach of the boundary shear stress was derived including the effects of the secondary flow, sidewall roughness factor, eddy viscosity and the additional Reynolds stress, and more importantly, for the first time, it combined the effects of the cross-section central angle and the Reynolds number into the expressions. Afterwards, a comparison between the previous research and this study was developed. Following the result, we found that the semi-empirical semi-theoretical boundary shear stress distribution algorithm can predict the boundary shear stress distribution precisely. Finally, a single factor analysis was conducted on the relationship between the average sidewall shear stress on the convex and concave bank and the flow rate, water depth, slope ratio,or the cross-section central angle of the open channel bend. The functional relationship with each of the above factors was established, and then the distance from the location of the extreme sidewall shear stress to the bottom of the open channel was deduced based on the statistical theory. 展开更多
关键词 boundary shear stress flume physical model river bend MEMS flexible hot-film shear stress sensor
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