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CVD growth of fingerprint-like patterned 3D graphene film for an ultrasensitive pressure sensor 被引量:18
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作者 Kailun Xia Chunya Wang +2 位作者 Muqiang Jian Qi Wang Yingying Zhang 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期1124-1134,共11页
With the rapid development of wearable devices, flexible pressure sensors with high sensitivity and wide workable range are highly desired. In nature, there are many well-adapted structures developed through natural s... With the rapid development of wearable devices, flexible pressure sensors with high sensitivity and wide workable range are highly desired. In nature, there are many well-adapted structures developed through natural selection, which inspired us for the design of biomimetic materials or devices. Particularl3 human fingertip skin, where many epidermal ridges amplify external stimulations, might be a good example to imitate for highly sensitive sensors. In this work, based on unique chemical vapor depositions (CVD)-grown three-dimensional (3D) graphene films that mimic the morphology of fingertip skin, we fabricated flexible pressure sensing membranes, which simultaneously showed a high sensitivity of 110 (kPa)-1 for 0-0.2 kPa and wide workable pressure range (up to 75 kPa). Hierarchical structured polydimethylsiloxane (PDMS) films molded from natural leaves were used as the supporting elastic films for the graphene films, which also contribute to the superior performance of the pressure sensors. The pressure sensor showed a low detection limit (0.2 Pa), fast response (〈 30 ms), and excellent stability for more than 10,000 loading/unloading cycles. Based on these features, we demonstrated its applications in detecting tiny objects, sound, and human physiological signals, showing its potential in wearable electronics for health monitoring and human/machine interfaces. 展开更多
关键词 electronic skin flexible pressure sensor three-dimensional (3D)graphene film fingertip skin hierarchical structures
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薄膜压力传感器(FSR)曲面土压力测量研究 被引量:16
2
作者 刘开源 许成顺 +1 位作者 贾科敏 张小玲 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期584-591,共8页
岩土工程现场及室内模型试验中常用刚性土压力盒测量土压力,但传统刚性土压力盒(SPC)由于隔膜下陷、"嵌入"效应、不能完全贴合测量表面、需要较大的埋设空间等自身局限性,在测量例如桩或埋地管道等弯曲表面土压力时并不适用... 岩土工程现场及室内模型试验中常用刚性土压力盒测量土压力,但传统刚性土压力盒(SPC)由于隔膜下陷、"嵌入"效应、不能完全贴合测量表面、需要较大的埋设空间等自身局限性,在测量例如桩或埋地管道等弯曲表面土压力时并不适用。基于薄膜压力传感器(FSR)的特点设计了测量电路和标定装置,分析了标定特性,并初步探究了挠度对薄膜压力传感器(FSR)测量的影响,最后通过试验对比分析了传统刚性土压力盒(SPC)和薄膜压力传感器(FSR)测量弯曲表面土压力的性能。结果表明薄膜压力传感器(FSR)能有效避免"嵌入"效应,减小测量误差,并且安装方便。 展开更多
关键词 曲面土压力 土压力盒 薄膜压力传感器 挠度影响 标定特性
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PVDF土压力传感器 被引量:7
3
作者 余尚江 曾辉 +1 位作者 丁世敬 杨吉祥 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第9期16-18,共3页
为适应土中动态压力测试的需要,研制了PVDF土压力传感器;介绍了传感器的测压工作原理及传感器的结构,并给出了传感器在某爆炸冲击试验中的应用情况;试验表明,PVDF压力传感器适合于爆炸荷载作用下土中压力测量。
关键词 PVDF 压电效应 土压力传感器 爆炸冲击试验
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基于SOI岛膜结构的高温压力传感器 被引量:9
4
作者 杨娇燕 梁庭 +6 位作者 李鑫 李旺旺 林立娜 李奇思 赵丹 雷程 熊继军 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期635-641,共7页
针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的灵敏度和线性度。使用有限元分析软... 针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的灵敏度和线性度。使用有限元分析软件对岛膜结构进行力学性能分析,根据敏感膜片表面应力分布情况确定压敏电阻最优的位置分布,并完成敏感芯片的制备。对完成的敏感芯片进行封装并进行温度-压力的复合测试,测试结果表明在19~200℃、量程2 MPa范围内,该传感器有较高的灵敏度(0.055 mV/kPa)和线性度(0.995)。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压敏电阻 岛膜结构 压力传感器 有限元分析
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基于厚膜技术的双电容陶瓷压力传感器 被引量:8
5
作者 唐力强 李民强 +1 位作者 陈建群 李鹏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第7期3-5,共3页
基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器,设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路,详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明:研制的传感器线性误差小于0.37%,迟滞误差小于0.... 基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器,设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路,详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明:研制的传感器线性误差小于0.37%,迟滞误差小于0.3%,电容温度系数低于97×10-6/℃. 展开更多
关键词 厚膜技术 双电容 压力传感器
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新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究 被引量:6
6
作者 唐力强 李民强 +2 位作者 陈建群 张宾 王英先 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第6期39-42,共4页
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误... 采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器,重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0%,迟滞误差小于0.5%,测试电容和参考电容温度系数近乎一致。 展开更多
关键词 厚膜 电容式压力传感器 感压元件
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迈克尔逊干涉测薄膜厚度 被引量:7
7
作者 郑志远 樊振军 +2 位作者 董爱国 邢杰 张自力 《大学物理实验》 2010年第5期49-50,53,共3页
在利用迈克尔逊干涉测量薄膜厚度的实验装置中加入了压力传感器。该设计光路可以在无需已知薄膜透射率、折射率等物理参数的情况下,测得薄膜厚度,而且基本消除了外界挤压对薄膜厚度造成的误差影响。
关键词 迈克尔逊干涉 薄膜厚度 压力传感器
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基于PVDF的足底测力系统研究 被引量:6
8
作者 韩亚丽 高海涛 +1 位作者 吴在罗 朱松青 《机械设计与制造》 北大核心 2015年第6期67-71,共5页
为实现人体不同路况运动过程中的步态识别,研制出一种便于穿戴的鞋垫式足底测力系统。以PVDF压电薄膜为传感材料,设计足底传感器。采用由电荷放大电路、滤波电路及电压放大电路组成的信号系统对传感器输出信号进行采样及处理,进行了电... 为实现人体不同路况运动过程中的步态识别,研制出一种便于穿戴的鞋垫式足底测力系统。以PVDF压电薄膜为传感材料,设计足底传感器。采用由电荷放大电路、滤波电路及电压放大电路组成的信号系统对传感器输出信号进行采样及处理,进行了电荷放大电路中的反馈电阻与反馈电容的实验测试选型分析研究。进行了平地行走、楼梯行走及斜坡行走的实验,实验表明,该足底测力系统具有良好的灵敏度与测量精度,并且采用PVDF内嵌在鞋垫的结构,使得测力系统适用于不同模式行走运动的检测。 展开更多
关键词 PVDF压电薄膜 足底压力传感器 信号调理电路 行走模式
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用于压电传感器的层加层结构纳米纤维膜 被引量:1
9
作者 陈淑花 王树凤 +2 位作者 于驰 张晶 岳丽春 《微纳电子技术》 CAS 2024年第4期77-88,共12页
通过聚丙烯腈(PAN)与改性木质素(CEHL-PTMG)接枝物进行共混,使用多层静电纺丝技术得到PAN|PAN/CEHL-PTMG|PAN层加层结构的纳米纤维膜,并制备一系列的薄膜。对制备的层加层结构纳米纤维膜进行表面形貌、构象、热性能、力学性能以及压电... 通过聚丙烯腈(PAN)与改性木质素(CEHL-PTMG)接枝物进行共混,使用多层静电纺丝技术得到PAN|PAN/CEHL-PTMG|PAN层加层结构的纳米纤维膜,并制备一系列的薄膜。对制备的层加层结构纳米纤维膜进行表面形貌、构象、热性能、力学性能以及压电性能测试。实验结果表明:层加层结构使得薄膜的压电性能得到了大幅提高,PAN(11%,1 mL)|PAN/CEHL-PTMG(11%/2%,2 mL)|PAN(11%,1 mL)层加层结构纳米纤维膜的压电性能最为优异,输出电压和电流分别可达2.57 V、1468.0 nA;层加层结构薄膜的拉伸强度提高到了7.16 MPa,相较复合纳米纤维膜拉伸强度提高了7.51%,比纯PAN薄膜拉伸强度提高了52.67%;结构化后的薄膜的稳定性大幅提高,经过上千次的撞击仍能输出较好的电压;同时将其附于手指及手肘上,能更加明确地指示两者的运动,且在数值上出现较大的差距。 展开更多
关键词 纳米纤维膜 压力传感器 静电纺丝 层加层结构 压电材料 聚丙烯腈(PAN)
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溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究 被引量:5
10
作者 蒋传生 章恺 《机械制造与自动化》 2016年第4期37-39,68,共4页
磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层,发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端,引入了先溅射后光刻的制作工艺,实验结果表明,该方法... 磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层,发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端,引入了先溅射后光刻的制作工艺,实验结果表明,该方法能成功制作出所需的电阻图形。 展开更多
关键词 溅射薄膜 压力传感器 敏感元件 制作工艺 电阻层 光刻
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基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究 被引量:4
11
作者 马鑫 张琪 +3 位作者 郭鹏 同笑珊 赵玉龙 汪爱英 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期60-67,共8页
目的研究非晶碳膜的压阻性能和机理,并将其作为压敏电阻应用于MEMS压力传感器敏感电路中。方法使用直流溅射工艺制备非晶碳膜压敏薄膜材料,对典型样品进行内部组分和电学、力学、温度等性能测试和研究,使用有限元方法进行器件设计仿真,... 目的研究非晶碳膜的压阻性能和机理,并将其作为压敏电阻应用于MEMS压力传感器敏感电路中。方法使用直流溅射工艺制备非晶碳膜压敏薄膜材料,对典型样品进行内部组分和电学、力学、温度等性能测试和研究,使用有限元方法进行器件设计仿真,借助MEMS加工工艺完成非晶碳膜压力传感器芯片的加工,最后进行器件级别的测试和分析。结果在0~1 MPa范围内,压力传感器芯片的灵敏度为9.4μV/kPa,输出信号的非线性度为5.57%FS;对压敏电阻进行–70~150℃范围内的温度性能研究,其阻值与温度之间表现出较强的线性关系,且在–20~150℃段,线性度更强,表明非晶碳膜压敏材料在高温段应用时更容易补偿。机理研究方面,非晶碳膜在厚度方向上表现出组分差异化,因此该方向也应被纳入机理模型建立中。结论非晶碳膜在加工工艺、力学性能以及电学性能上与传统的MEMS传感器芯片能够很好地结合,加工得到的非晶碳膜压阻式压力传感器灵敏度和线性度较为理想。此外,其压阻机理研究应纳入薄膜厚度方向。 展开更多
关键词 非晶碳膜 压阻效应 压阻机理 MEMS 压力传感器 厚膜理论
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高精度薄膜压力传感器的研制 被引量:4
12
作者 金忠 谢锋 +2 位作者 何迎辉 雷凯 龙悦 《自动化与仪表》 2020年第7期79-82,88,共5页
从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因,针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿。在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移;在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移。... 从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因,针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿。在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移;在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移。温敏电阻均采用离子束溅射工艺制作在压力敏感芯片上。给出了各个电阻的计算公式和选取原则,以及温度敏感电阻的设计和制作工艺。该方法将溅射薄膜压力传感器的精度至少提高了1倍。 展开更多
关键词 薄膜压力传感器 封闭全桥 补偿 高精度
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厚膜压力传感器的研究 被引量:2
13
作者 潘晓光 汤清华 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1997年第5期82-84,共3页
用厚膜工艺制造压力传感器.研究了厚膜电阻浆料的电阻率与压阻系数的关系.承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韧Al2O3陶瓷,大大地提高了压力传感器的性能.对承压片的应力分布进行了分析。
关键词 厚膜 压力传感器 压阻效应
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基于C/S架构的高校座位管理系统 被引量:4
14
作者 马可 黄恒熠 栗云鹏 《计算机系统应用》 2021年第9期77-84,共8页
为了实现高校座位的统一智能化管理,并满足不同区域座位的规则独立设定需求,开发了一套基于薄膜压力传感器检测和C/S架构、符合Android MVP设计思维的高校座位管理系统.分析了高校座位管理的需求,基于用户友好和界面友善原则,对系统的... 为了实现高校座位的统一智能化管理,并满足不同区域座位的规则独立设定需求,开发了一套基于薄膜压力传感器检测和C/S架构、符合Android MVP设计思维的高校座位管理系统.分析了高校座位管理的需求,基于用户友好和界面友善原则,对系统的功能模块、数据流向和系统架构进行了详细分析和设计.系统包括C/S三层架构,基于Android MVP模式进行分层开发,实现了数据的映射、访问和持久化,并通过用户端APP以及检测终端的设计和调试,实现了座位使用情况的可靠检测和数据的信息化综合管理,提高了座位管理及使用效率,对解决高校座位管理难题,以及校园管理的信息化具有积极意义. 展开更多
关键词 座位管理 Android MVP SQLITE C/S模式 薄膜压力传感器
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嵌入式水润滑轴承水膜压力无线传感监测方法
15
作者 王楠 魏玉洁 +3 位作者 张楠 王丹丹 王明武 张昌明 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2024年第5期38-46,共9页
现有测试水润滑轴承特性重要表征参数水膜压力的诸多方法中,由于传感器距离真实测点较远或对轴系创伤较大等原因,导致准确的水膜压力实证数据难以获取,制约了轴承进一步研究与发展。针对上述难题,提出将薄膜传感器嵌入到轴承轴瓦中,而... 现有测试水润滑轴承特性重要表征参数水膜压力的诸多方法中,由于传感器距离真实测点较远或对轴系创伤较大等原因,导致准确的水膜压力实证数据难以获取,制约了轴承进一步研究与发展。针对上述难题,提出将薄膜传感器嵌入到轴承轴瓦中,而压力数据通过无线传感传输的全新监测方法。首先,建立轴瓦开槽轴承的物理模型,通过对沟槽附近轴瓦变形的有限元分析确定开槽位置、结构与数量;建立轴承流体域和固体域物理模型,对水膜压力分布进行仿真分析;然后,提出薄膜传感器标定方法对其准确标定;最后,进行多工况轴承水膜压力测试试验并与仿真结果和现有方法进行对比分析。研究结果表明,通过在轴承轴瓦开槽嵌入薄膜传感器并进行数据无线传输的方法可行,水膜压力实测数据与仿真结果偏差低于10%,比现有方法实测数据更精确。水膜压力沿轴向递减,轴承内部存在部分润滑膜,处于混合润滑状态。 展开更多
关键词 水润滑轴承 水膜压力 嵌入式 无线传感监测
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膜片式CNT/EP复合材料压力传感器的线性化研究 被引量:3
16
作者 孙姚姚 袁卫锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第12期1-4,113,共5页
将碳纳米管(CNT)加入环氧树脂(EP)中制备的复合材料具备压阻性能,其电阻大小和其应变成非线性关系。边界固支的CNT/EP复合材料薄膜承受面外方向压力时,其面内应变和压力之间的关系也为非线性。研究采用有限元法对薄膜受压情况进行分析,... 将碳纳米管(CNT)加入环氧树脂(EP)中制备的复合材料具备压阻性能,其电阻大小和其应变成非线性关系。边界固支的CNT/EP复合材料薄膜承受面外方向压力时,其面内应变和压力之间的关系也为非线性。研究采用有限元法对薄膜受压情况进行分析,通过选择不同的薄膜形状,优化薄膜受压时的ε-p曲线,从而设计出CNT/EP复合材料薄膜压力传感器,并使该传感器的电阻和压力成线性关系。针对菱形、长方形、椭圆形、正方形和圆形等5种膜片中的理论预测和实验测试表明,菱形膜片的线性度更好。 展开更多
关键词 复合材料膜 压力传感器 有限元法 线性
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一种新型的脉搏压力传感器 被引量:3
17
作者 邹建 卢平 +1 位作者 应苑松 钱波 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期90-92,共3页
针对单部脉搏压力传感器的缺陷,提出了一种采用轻触式薄膜按键面板工艺,自制的多通道脉搏压力传感器来获取多道脉博信号,并设计了相关的硬件电路对脉搏信号进行调理。实验测试结果表明:该脉搏压力传感器在压力为0~300mmHg范围内,... 针对单部脉搏压力传感器的缺陷,提出了一种采用轻触式薄膜按键面板工艺,自制的多通道脉搏压力传感器来获取多道脉博信号,并设计了相关的硬件电路对脉搏信号进行调理。实验测试结果表明:该脉搏压力传感器在压力为0~300mmHg范围内,线性度、一致性比较好,灵敏度达到1100μV/mmHg。通过示波器的串口通信扩张模块将脉搏传感器采集的脉搏信号在计算机上进行显示,效果显著。 展开更多
关键词 脉博信号 弹性薄膜 脉搏压力传感器
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基于传感器阵列的柔性接头组件成型工艺过程压力测试系统 被引量:2
18
作者 刘兵 吕中卿 +1 位作者 刘承佳 张龙飞 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期642-647,共6页
针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了... 针对固体火箭发动机柔性接头组件室温粘接、加压固化成型工艺过程中存在的加压压力分布参数难以在线监测等问题,建立了采用薄膜压力传感器阵列的柔性接头成型压力测试系统,用于监测成型过程中柔性接头组件所受压力的大小和分布。研究了压力测试系统在柔性接头成型工艺条件下的在线监测适用性,分析了柔性接头组件受压变化及结构误差的影响。结果表明,该研究建立的压力测试系统具有1%左右的测试线性度和10 k Hz以上的动态响应特性,能够有效测试1.5 MPa以下曲面压力场,最大压差为0.03 MPa,所测压力分布反映了成型过程中的变化,满足接头成型工艺测试要求。测试结果对于理解柔性接头成型工艺过程中的粘接剂流动等,为通过进一步优化工艺参数和减少结构误差、实现对柔性接头成型质量的有效控制有所帮助。 展开更多
关键词 传感器阵列 固体火箭发动机 柔性接头 压力测试系统 工艺监测 薄膜传感器
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基于石墨烯薄膜的光纤微压传感器的设计 被引量:2
19
作者 葛益娴 张鹏 赵伟绩 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第1期37-41,共5页
以新型的石墨烯材料为压力敏感膜,设计了一种基于法布里-珀罗干涉的光纤微压传感器。利用薄膜光学理论,分析了不同层数石墨烯膜的反射率特性。仿真结果表明,增加层数可以提高石墨烯膜的反射率。根据光传输矩阵的理论,研究并模拟了法珀... 以新型的石墨烯材料为压力敏感膜,设计了一种基于法布里-珀罗干涉的光纤微压传感器。利用薄膜光学理论,分析了不同层数石墨烯膜的反射率特性。仿真结果表明,增加层数可以提高石墨烯膜的反射率。根据光传输矩阵的理论,研究并模拟了法珀腔的几何参数对反射信号的影响。通过分析对比几种大挠度圆膜应变的理论,建立了石墨烯薄膜的压力敏感特性模型,并利用ANSYS静态力学非线性对模型的挠度形变特性进行有限元仿真,验证了模型的准确性,为设计制作基于石墨烯薄膜的光纤微压传感器提供了理论基础。 展开更多
关键词 石墨烯膜 微压传感器 法珀干涉 大挠度应变理论 有限元分析 光传输矩阵理论
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溅射薄膜高精度双余度压力传感器研制 被引量:1
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作者 鹿文龙 《仪器仪表标准化与计量》 2020年第5期38-41,共4页
航空涡轴发动机是一种输出轴功率涡轮喷气发动机,是直升机的动力系统。涡轴发动机需要精确控制燃油流量,对压力传感器的输出精度和稳定性要求极高。为了提高可靠性,涡轴发动机需要压力传感器具有双路冗余设计。通过改进薄膜压力传感器结... 航空涡轴发动机是一种输出轴功率涡轮喷气发动机,是直升机的动力系统。涡轴发动机需要精确控制燃油流量,对压力传感器的输出精度和稳定性要求极高。为了提高可靠性,涡轴发动机需要压力传感器具有双路冗余设计。通过改进薄膜压力传感器结构,设计耐高温信号处理电路,并配套优化算法,研制高精度双余度溅射薄膜压力传感器,以满足涡轴发动机使用需求,对提升航空涡轴发动机整体性能具有重要意义。 展开更多
关键词 涡轴发动机 高精度 双余度 溅射薄膜 压力传感器
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