新型Sol-Gel技术PZT铁电厚膜的制备及电学性能研究 被引量：6

1

作者 夏冬林 刘梅冬 +3 位作者 曾亦可 李军 黄焱球 刘少波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1156-1160,共5页

采用新型ｓｏｌ－ｇｅｌ技术在 Ｐｔ／Ｔｉ／ＳiO2/Si基片上制备出了厚度为 ２～６０μｍ的ＰＺＴ铁 电厚膜材料；研究了ＰＺＴ厚膜的结构及其介电、铁电性能．ＸＲＤ谱分析显示，ＰＺＴ厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构，无焦绿石相存在．Ｓ... 采用新型ｓｏｌ－ｇｅｌ技术在 Ｐｔ／Ｔｉ／ＳiO2/Si基片上制备出了厚度为 ２～６０μｍ的ＰＺＴ铁 电厚膜材料；研究了ＰＺＴ厚膜的结构及其介电、铁电性能．ＸＲＤ谱分析显示，ＰＺＴ厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构，无焦绿石相存在．ＳＥＭ电镜照片显示，ＰＺＴ膜厚均匀一致，无裂 纹、高致密．厚度为５０μｍ的ＰＺＴ厚膜的介电常数为８６０，介电损耗为０.０３，剩余极化强度 是２５μＣ／ｃｍ２．矫顽场是４０ｋＶ／ｃｍ. 展开更多

关键词 sol-gel技术 介电性能 铁电性能 铁电陶瓷 PZT铁电厚膜 制备 溶胶-凝胶方法

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PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制 被引量：6

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作者 夏冬林 刘梅冬 +2 位作者 曾亦可 陈实 赵修建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期196-199,共4页

对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。

关键词 锆钛酸铅(PZT) 铁电厚膜 铁电声纳换能器 湿法化学刻蚀

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PZT铁电厚膜声纳换能器

3

作者 夏冬林 刘梅冬 曾亦可 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2000年第5期34-36,共3页

综述了 PZT厚膜单元声纳换能器和 8× 8阵列声纳换能器的制备方法、结构和性能 ,并介绍了 PZT厚膜声纳换能器的应用及发展前景。该厚膜是利用改进的 sol- gel工艺制备的 ,厚度为 4～ 12 μm。4μm厚的 PZT厚膜的纵向压电系数 d3 3 ... 综述了 PZT厚膜单元声纳换能器和 8× 8阵列声纳换能器的制备方法、结构和性能 ,并介绍了 PZT厚膜声纳换能器的应用及发展前景。该厚膜是利用改进的 sol- gel工艺制备的 ,厚度为 4～ 12 μm。4μm厚的 PZT厚膜的纵向压电系数 d3 3 为 140～ 2 40 p C/ N,剩余极化强度 Pr为 2 8× 10 - 6 C/ cm2 ,矫顽场强 EC为 30× 10 3 V/ cm,相对介电系数 εr为 140 0。 展开更多

关键词 PZT 铁电厚膜 压电效应 声纳换能器 灵敏度

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微型MEMS致冷器的研究新动向

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作者 刘少波 李艳秋 +1 位作者 刘梅冬 曾亦可 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第1期30-33,共4页

微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型M... 微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用研究前景。 展开更多

关键词 微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 塞贝克效应

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铁电厚膜溶胶-凝胶法的制备与探讨

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作者 程春生 张子生 +4 位作者 阎正 赵庆勋 刘世普 刘丽华 刘保亭 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2006年第2期177-181,共5页

随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展,铁电厚膜及其溶胶凝胶法的制备越来越受到人们的关注.结合研究组的科研工作,介绍了铁电厚膜溶胶凝胶法的制备过程以及采取的一些措施,并对铁电厚膜研究中的一些主要相关问题进行了讨论.

关键词 铁电厚膜 溶胶-凝胶法 微电子机械系统

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新型MEMS致冷器研究 被引量：1

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作者 刘少波 《电子工业专用设备》 2004年第1期21-25,共5页

微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器。着重介... 微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用前景。 展开更多

关键词 微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 Seeback效应

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铌掺杂钛酸铋钠钾厚膜的制备及其铁电性能 被引量：1

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作者 龚跃球 陈泓怡 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1818-1822,共5页

根据粉末溶胶法的原理,用旋转涂覆工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备不同Nb含量的(Na0.85K0.15)0.5Bi0.5Ti(1-x)NbxO3(NKBTNx,x=0.01,0.03,0.05,0.07)厚膜,并研究了厚膜样品的微观结构、介电特性、漏导特性及铁电特性。XRD和SEM的分... 根据粉末溶胶法的原理,用旋转涂覆工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备不同Nb含量的(Na0.85K0.15)0.5Bi0.5Ti(1-x)NbxO3(NKBTNx,x=0.01,0.03,0.05,0.07)厚膜,并研究了厚膜样品的微观结构、介电特性、漏导特性及铁电特性。XRD和SEM的分析结果表明:A位掺杂K、B位掺杂Nb并没有改变Na0.5Bi0.5TiO3的晶体结构;Nb的最佳掺入量为0.05。NKBTN5铁电厚膜具有最好的结晶度,尺寸均匀,厚膜表面光滑致密,但有少量微孔。介电频谱测试表明,NKBTNx厚膜的居里温度随着Nb含量的增加而逐渐增加,厚膜的弛豫特性明显增强。此外,NKBTN5铁电厚膜的室温介电常数最大,介电损耗最低,漏电流密度最小,剩余极化值最大(2Pr=48.1μC/cm2),矫顽场最小(77.8kV/cm)。 展开更多

关键词 (Na0.85K0.15)0.5Bi0.5Ti(1-x)NbxO3 铁电厚膜 粉末溶胶法 电学性能

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基于谐振耦合和人工表面等离激元的可调控频率选择铁电厚膜移相器 被引量：4

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作者 娄菁 王军 +1 位作者 马华 屈绍波 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期101-105,共5页

移相器作为一类重要的微波功能器件,在军事和民用领域有着重要的应用。不同于传统的铁电厚膜移相器,本文将电谐振器、人工表面等离激元(SSPP)和铁电厚膜三者结合进行设计,利用电谐振器与人工表面等离激元传输结构的耦合特性,并引入铁电... 移相器作为一类重要的微波功能器件,在军事和民用领域有着重要的应用。不同于传统的铁电厚膜移相器,本文将电谐振器、人工表面等离激元(SSPP)和铁电厚膜三者结合进行设计,利用电谐振器与人工表面等离激元传输结构的耦合特性,并引入铁电厚膜的介电非线性,提出了一种具有频率选择特性的电可调铁电厚膜移相器。通过基于人工表面等离激元的铁电厚膜移相器理论分析了移相器结构设计的可行性,并通过系统仿真对设计的可行性进行了验证。通过仿真不同电谐振器结构下移相器的S参数曲线验证了本文设计的移相器具有可设计的频率选择特性。 展开更多

关键词 铁电厚膜移相器 人工表面等离激元 电谐振器 可调控

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粉末特性对钙锶铋钛陶瓷厚膜性能的影响 被引量：3

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作者 马建平 范素华 +2 位作者 张丰庆 车全德 于冉 《山东建筑大学学报》 2008年第6期471-473,477,共4页

采用粉末溶胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了厚度约为1.50μm,铁电性能优良的CSBT铁电厚膜。研究了粉末的烧结温度对CSBT铁电厚膜的结构及性能的影响。结果表明:适当的粉末烧结温度有利于制备表面致密、晶粒发育良好的厚膜,从而有利于... 采用粉末溶胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了厚度约为1.50μm,铁电性能优良的CSBT铁电厚膜。研究了粉末的烧结温度对CSBT铁电厚膜的结构及性能的影响。结果表明:适当的粉末烧结温度有利于制备表面致密、晶粒发育良好的厚膜,从而有利于厚膜的铁电性能。750℃烧结的粉末制备的厚膜具有最佳的铁电性能,其Pr和Ec分别为13.3μC/cm2,46.2 kV/cm,具有较高的应用价值。 展开更多

关键词 Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15铁电厚膜 铁电性能 sol—gol法 粉末特性

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0-3型(Ba_(1-x-y)Sr_xPb_y)(Mn,Ti)O_3铁电厚膜的制备与表征 被引量：1

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作者 刘少波 李艳秋 +1 位作者 刘梅冬 曾亦可 《微细加工技术》 2003年第3期31-36,共6页

铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一。采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30nm～70nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8μC/cm2)的0-3型铁电厚... 铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一。采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30nm～70nmMPBST超细粉体,以及致密无裂纹、表面光洁和铁电性能优良(Pr=3.8μC/cm2)的0-3型铁电厚膜。通过TEM、XRD、TGA-DTA、AFM等手段分析了Sol-Gel工艺的化学机制和热演化历程,结果表明:采用以乙二醇乙醚为主要溶剂的Sol-Gel技术可降低MPBST粉体/厚膜的合成温度,提高粉体均匀性和晶相结构单一性。 展开更多

关键词 0-3型铁电厚膜 Sol-Gel技术 铁电纳米超细粉体 合成温度 均匀性 晶相结构

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Sol-gel法制备铁电陶瓷厚膜的研究 被引量：1

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作者 冯博楷 范素华 +2 位作者 张丰庆 张伟 马建平 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期25-29,共5页

综述了基于Sol-gel技术的铁电陶瓷厚膜的制备方法。分别从溶胶、热处理工艺和成膜技术等3个方面详述了粉末溶胶法、添加有机物溶胶法等改进的溶胶法,一步烧结法、快速成膜法等改进的热处理工艺法以及界面聚合术等新型的成膜技术,讨论了... 综述了基于Sol-gel技术的铁电陶瓷厚膜的制备方法。分别从溶胶、热处理工艺和成膜技术等3个方面详述了粉末溶胶法、添加有机物溶胶法等改进的溶胶法,一步烧结法、快速成膜法等改进的热处理工艺法以及界面聚合术等新型的成膜技术,讨论了这些制备陶瓷厚膜方法的优缺点,并时基于Sol-gel技术陶瓷厚膜的制备这一研究领域进行了展望。 展开更多

关键词 铁电陶瓷厚膜 SOL-GEL 改进

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