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电镀金刚石线锯的制造工艺研究 被引量:14
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作者 高伟 窦百香 +1 位作者 李艳红 刘伟 《工具技术》 2009年第7期56-59,共4页
利用复合电镀法,以直径0.3mm的琴钢丝为基体,选取400#的金刚石作为磨料,选用瓦特型镀液,采用埋砂法制造金刚石线锯。利用显微镜测试了镀层厚度,利用体视显微镜观察了线锯形貌。结果表明,上砂电流密度在2.0A/dm2,上砂时间20min时能够获... 利用复合电镀法,以直径0.3mm的琴钢丝为基体,选取400#的金刚石作为磨料,选用瓦特型镀液,采用埋砂法制造金刚石线锯。利用显微镜测试了镀层厚度,利用体视显微镜观察了线锯形貌。结果表明,上砂电流密度在2.0A/dm2,上砂时间20min时能够获得金刚石磨粒分布均匀、与基体结合力好的金刚石线锯;给出了本实验条件下制造电镀金刚石线锯的最佳电镀工艺参数。 展开更多
关键词 电镀 金刚石线锯 制造工艺
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不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究
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作者 元云岗 程星华 +1 位作者 张昕 霍思媛 《材料研究与应用》 CAS 2023年第3期572-578,共7页
采用电花火加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割钕铁硼材料,分析电火花加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割对烧结钕铁硼磁体的微观形貌和表面粗糙度的影响。利用SJ-410粗糙度仪、JMS-6010LA型扫描电子显微镜,对不同加工方式的切割工具的微... 采用电花火加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割钕铁硼材料,分析电火花加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割对烧结钕铁硼磁体的微观形貌和表面粗糙度的影响。利用SJ-410粗糙度仪、JMS-6010LA型扫描电子显微镜,对不同加工方式的切割工具的微观形貌、磁体的表面微观形貌及表面粗糙度进行表征。结果表明:电火花加工材料的去除方式为熔化、气化和热应力,内圆锯片和电镀金刚线的材料去除方式为塑性去除和塑性变形;在不同加工方式和切割速度条件下,电火花加工表面粗糙度最高达到了7.5μm;在0.15 mm∙min^(-1)切割速度下,电镀金刚石线的材料外形规则并呈球状,切割以面与面切削,单位应力小,金刚石压入深度小,粗糙度最小;在高切割速度下,电镀金刚石线的往复运动存在线锯切割换向,对工件会产生较大的正应力,表面粗糙度值高于内圆锯片。 展开更多
关键词 电火花加工 电镀金刚石线 内圆锯片 烧结钕铁硼 表面微观形貌 表面粗糙度
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电镀金刚石线切割YAG晶体的失效机理研究 被引量:4
3
作者 彭少波 陈超 《超硬材料工程》 CAS 2015年第5期13-17,共5页
采用高强度钢丝作为基体,表层电镀镍,同时固结金刚石磨粒,制备出长度为4m,直径为0.7mm的环形金刚石线,装夹在自制的金刚石线锯切割机上,对YAG晶体进行不同参数下的切割实验,观察电镀金刚石线的受力情况,断裂口的形貌,分析电镀金刚石线... 采用高强度钢丝作为基体,表层电镀镍,同时固结金刚石磨粒,制备出长度为4m,直径为0.7mm的环形金刚石线,装夹在自制的金刚石线锯切割机上,对YAG晶体进行不同参数下的切割实验,观察电镀金刚石线的受力情况,断裂口的形貌,分析电镀金刚石线切割过程中的断裂行为以及断裂机理。研究结果表明,电镀金刚石线的断裂分为两种:一种是非正常拉断;另外一种是金刚石线的镀层脱皮以致基体被磨断。 展开更多
关键词 电镀金刚石线 YAG 晶体 切割 断裂模式
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电镀金刚线的四化技术路线 被引量:3
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作者 曲东升 刘继拓 +1 位作者 张迎九 贾海波 《中国新技术新产品》 2017年第15期28-29,共2页
本文提出了电镀金刚线的主要技术要素,给出了电镀金刚线的系列检测方法,详细介绍了电镀金刚线的四化技术路线,深入分析了四化技术路线的优点、难点,最后指出了未来金刚线产品发展趋势。
关键词 电镀金刚线 技术要素 检测方法 四化技术路线
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电镀金刚石线表面磨粒密度对锯切性能影响分析 被引量:2
5
作者 李升 高玉飞 《制造技术与机床》 北大核心 2020年第6期104-107,共4页
电镀金刚石线广泛应用于光伏太阳能和半导体行业的硅晶体切片加工,其表面的磨粒密度对锯切性能有很大影响。为了评价表面不同磨粒密度的电镀金刚石线的锯切性能,以光伏多晶硅为试件开展了锯切试验,分析了表面形貌、表面粗糙度和锯切效... 电镀金刚石线广泛应用于光伏太阳能和半导体行业的硅晶体切片加工,其表面的磨粒密度对锯切性能有很大影响。为了评价表面不同磨粒密度的电镀金刚石线的锯切性能,以光伏多晶硅为试件开展了锯切试验,分析了表面形貌、表面粗糙度和锯切效率的影响规律。研究结果表明:采用表面磨粒密度为210~230个/mm与290~330个/mm的两种金刚石线锯切的表面塑性沟槽所占比例较大,没有明显的较大尺寸脆性微凹坑。表面磨粒密度为210~230个/mm的金刚石线切割形成的硅片表面粗糙度最低,金刚石线表面过低或过大的磨粒密度会使硅片表面粗糙度变大。金刚石线的切割能力和锯切效率随着表面磨粒密度的增大而有所提高。综合考虑切片表面形貌和粗糙度等方面的质量要求与金刚石线的锯切能力和制造成本,建议金刚石线表面磨粒密度在210~330个/mm较为适宜。 展开更多
关键词 电镀金刚石线 表面磨粒密度 锯切性能 光伏多晶硅
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金刚石表面真空镀镍的工艺探讨 被引量:1
6
作者 万容兵 何健霞 赵涛 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期234-239,共6页
目的探讨金刚石表面真空镀镍的影响因素及其在电镀金刚石线上应用的可行性。方法采用不同的镍源及EDTA二钠、有机酸、氧化铝,按照不同的配比配制镀液,在720℃、真空度6×10?2 Pa条件下镀覆,保温2.5h,通过粒度分析、快速振动球磨机... 目的探讨金刚石表面真空镀镍的影响因素及其在电镀金刚石线上应用的可行性。方法采用不同的镍源及EDTA二钠、有机酸、氧化铝,按照不同的配比配制镀液,在720℃、真空度6×10?2 Pa条件下镀覆,保温2.5h,通过粒度分析、快速振动球磨机、能谱分析、三维数字显微镜、磁性测试、镀层快速腐蚀测试等表征手段,探讨不同的工艺对金刚石表面镀层性能的影响。结果镀覆后,金刚石中心粒径D50和峰宽(峰宽D95-D5,中心粒径D50是粒度分布曲线中累积分布为50%时的最大颗粒的等效直径,D5、D95分别是分布曲线中累积分布为5%、95%时的最大颗粒的等效直径)随着氯化镍含量的增加而增大,随着EDTA二钠含量的增加而减小。有机酸对镀覆反应的促进为:柠檬酸>氯乙酸>乳酸。通过真空镀镍获得的镀层表面为镍金属层,具有磁性。金刚石的强度没有受到石墨化的影响而下降,镀层与金刚石之间结合较为牢固,且耐酸液腐蚀性能远好于化学镀镍。以氯化镍为镍源的真空镀镍金刚石,采用埋砂法在电镀金刚石线设备进行上砂测试,在10m/min的走线速度下,0.4mm长度钢线表面的金刚石约60颗,约为化学镀镍金刚石上砂颗粒数的30%。结论通过真空镀覆方式能够在金刚石表面沉积金属镍层,经初步测试,可以在电镀金刚石线中使用。 展开更多
关键词 金刚石镀覆 真空镀镍 干法镀镍 镍源 EDTA二钠 有机酸 电镀金刚石线
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浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用 被引量:1
7
作者 曹艳芬 宋庆军 闫凯 《超硬材料工程》 CAS 2017年第4期48-50,共3页
电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。
关键词 电镀金刚石线 切割 硅材料 应用现状
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电镀金刚石线切割单晶硅表面损伤研究
8
作者 陈超 彭少波 +5 位作者 陈家荣 秦建新 肖乐银 谢德龙 潘晓毅 林峰 《超硬材料工程》 CAS 2017年第6期16-21,共6页
首次采用超高速电镀金刚石线切割单晶硅。通过表面分析、拉曼光谱等技术手段研究了金刚石粒度、切割线速度、切割刀数对被切割工件表面粗糙度、表面损伤深度及损伤程度的影响。发现,采用较完整晶形的金刚石,切割刀数越多,被加工工件表... 首次采用超高速电镀金刚石线切割单晶硅。通过表面分析、拉曼光谱等技术手段研究了金刚石粒度、切割线速度、切割刀数对被切割工件表面粗糙度、表面损伤深度及损伤程度的影响。发现,采用较完整晶形的金刚石,切割刀数越多,被加工工件表面凹坑深度和线痕减少越明显,进而,表面粗糙度获得提高。当随着粒度的减小,表面断裂方式发生了变化,从脆性断裂转变成塑性断裂。切割表面光滑区域以无定形硅为主,线痕明显区域检测到无定形及亚稳态硅,在凹坑内部属于晶态硅。另外,无定形和多晶硅主要取决于线的速度,线的速度越高,无定形和多晶硅越少。 展开更多
关键词 电镀金刚石线 粗糙度 线痕 单晶硅
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电镀金刚石线锯的研究现状 被引量:28
9
作者 向波 贺跃辉 +1 位作者 谢志刚 黄艳华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期25-29,共5页
电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)上沉积一层金属,并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。综述了电镀金刚石线锯的原理、模型和特点,以及制备过程中使用的材料(基体材料、金刚石和电镀液)和工艺及其应用... 电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)上沉积一层金属,并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。综述了电镀金刚石线锯的原理、模型和特点,以及制备过程中使用的材料(基体材料、金刚石和电镀液)和工艺及其应用实例,并对电镀金刚石线锯的进一步发展进行了展望。为开展电镀金刚石线锯的研究和生产提供了一定的指导。 展开更多
关键词 电镀金刚石线锯 特点 制备 现状
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硬脆材料的环形电镀金刚石线锯加工试验研究 被引量:11
10
作者 孟剑峰 韩云鹏 葛培琪 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2007年第3期56-59,共4页
本文利用环形电镀金刚石线锯对硬脆材料单晶硅、LT55陶瓷进行了切割试验,研究了锯切力、材料加工表面质量及锯丝的磨损。研究发现,在相同加工参数下,切割LT55陶瓷时的法向力与切向力之比小于单晶硅,与磨削相比,线锯加工的法向力与切向... 本文利用环形电镀金刚石线锯对硬脆材料单晶硅、LT55陶瓷进行了切割试验,研究了锯切力、材料加工表面质量及锯丝的磨损。研究发现,在相同加工参数下,切割LT55陶瓷时的法向力与切向力之比小于单晶硅,与磨削相比,线锯加工的法向力与切向力之比非常小;在本实验条件下,单晶硅和LT55陶瓷均为脆性去除方式;因为LT55陶瓷断裂韧性高,在同样加工条件下,陶瓷加工表面质量优于单晶硅;恒进给压力条件下,锯丝速度增加,粗糙度值略微减小,恒进给压力增加,粗糙度值明显增大;锯丝首先在焊口处断裂,由于锯丝不能自转,沿锯丝圆周方向磨损不均匀。 展开更多
关键词 硬脆材料 环形电镀金刚石线锯 加工试验
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电镀金刚石线锯锯切轨迹的研究 被引量:11
11
作者 张辽远 褚桂君 慕丽 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期607-612,共6页
基于冲量理论和振动加工理论,对电镀金刚石线锯锯切过程进行了分析,并对锯切过程中各个阶段的接触状态进行了有限元计算,得出在稳定接触状态下应力沿工件宽度方向分布均匀的结论。结合电镀金刚石锯切实验,采用叠加原理建立了锯切轨迹的... 基于冲量理论和振动加工理论,对电镀金刚石线锯锯切过程进行了分析,并对锯切过程中各个阶段的接触状态进行了有限元计算,得出在稳定接触状态下应力沿工件宽度方向分布均匀的结论。结合电镀金刚石锯切实验,采用叠加原理建立了锯切轨迹的数学方程,得到了轨迹计算曲线。通过与实际切割轨迹形貌的对比,计算曲线和实际轨迹曲线之间的误差小于15%,吻合程度较高,为金刚石线锯锯切工艺参数的优化提供了参考依据。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 电镀金刚石线锯 锯切轨迹 应力分析 轨迹方程
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电镀金刚石线锯研究进展 被引量:10
12
作者 代晓南 何伟春 栗正新 《超硬材料工程》 CAS 2017年第1期52-54,共3页
电镀金刚石线锯在单晶硅片和蓝宝石等贵重硬脆材料的切割加工领域广泛应用,其切割效率高、损耗小。文章就电镀金刚石线锯的研究现状及发展趋势做了分析与阐述。电镀金刚石线锯的生产效率过低,应通过调整镀液、制备工艺等途径提高线锯生... 电镀金刚石线锯在单晶硅片和蓝宝石等贵重硬脆材料的切割加工领域广泛应用,其切割效率高、损耗小。文章就电镀金刚石线锯的研究现状及发展趋势做了分析与阐述。电镀金刚石线锯的生产效率过低,应通过调整镀液、制备工艺等途径提高线锯生产效率;目前市场上的金刚石线锯切削性能还不够理想,应通过控制切削参数及磨料分布进行改善;最终实现高性能金刚石线锯快速电镀制备工艺的完善。 展开更多
关键词 电镀金刚石线锯 生产效率 切削性能 应用
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电镀金刚石线锯的制造工艺与使用性能分析 被引量:10
13
作者 张辽远 赵延艳 《工具技术》 2009年第1期72-75,共4页
分析了金刚石线锯的电镀工艺过程;研究了金刚石线锯使用时的失效原理及两种失效形式(宏观失效与微观失效),认为宏观失效以线锯疲劳断裂为主,微观失效则包括金刚石颗粒的磨损脱落和锯丝镀层的磨损。
关键词 电镀金刚石线锯 工艺过程 失效形式
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电镀金刚石切割线的种类及制造工艺的研究概述 被引量:9
14
作者 高伟 张景涛 +1 位作者 吴平 马伯江 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第3期35-40,45,共7页
电镀金刚石切割线是以电镀金属为结合剂,通过金属的电沉积把金刚石磨料固结在芯线基体上而制成的一种线性切割工具。主要简述了电镀金刚石切割线的研究意义,电镀金刚石切割线的种类,电镀金刚石切割线的常用制造方法,并对金刚石切割线的... 电镀金刚石切割线是以电镀金属为结合剂,通过金属的电沉积把金刚石磨料固结在芯线基体上而制成的一种线性切割工具。主要简述了电镀金刚石切割线的研究意义,电镀金刚石切割线的种类,电镀金刚石切割线的常用制造方法,并对金刚石切割线的进一步研究进行了展望。为电镀金刚石切割线的生产和研究提供了一定的指导。 展开更多
关键词 电镀金刚石切割线 切割 硬脆材料
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硬脆材料的电镀金刚石线锯超声切割锯切力研究 被引量:9
15
作者 张辽远 郭玉泉 赵延艳 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第6期49-54,共6页
基于冲量理论和振动加工理论,采用叠加原理建立了电镀金刚石线锯超声切割锯切力数学模型。从理论上分析了电镀金刚石线锯施加超声振动后锯切力与普通锯切力的区别,并进行了超声振动与普通锯切力对比试验研究。结果表明:锯切力的大小... 基于冲量理论和振动加工理论,采用叠加原理建立了电镀金刚石线锯超声切割锯切力数学模型。从理论上分析了电镀金刚石线锯施加超声振动后锯切力与普通锯切力的区别,并进行了超声振动与普通锯切力对比试验研究。结果表明:锯切力的大小随线锯往复频率的提高而降低,随侧向压力的增加而增大。通过比较发现,超声振动锯切力比普通锯切力减小20%-30%。同时,对超声振动锯切过程中单颗金刚石磨粒切削运动轨迹进行了仿真分析,进一步解释了施加超声振动后锯切力减小的原因。 展开更多
关键词 硬脆材料 电镀金刚石线锯 超声波加工 锯切力
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电镀金刚石线锯的研究现状与发展 被引量:9
16
作者 刘永奇 《超硬材料工程》 CAS 2015年第1期48-51,共4页
文章综述了电镀金刚石线锯的构造和特点以及制备工艺过程,并对其应用情况进行了简要介绍,对目前存在的问题进行了初步的探讨,并就未来的发展趋势进行了展望。
关键词 电镀金刚石线锯 制备工艺 综述
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Research on Cutting Force of Ultrasonic Diamond Wire Saw 被引量:5
17
作者 张辽远 李鑫 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2010年第2期114-118,共5页
Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutti... Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutting forces with and without ultrasonic effect were analyzed theoretically and experimentally.The results indicate that the cutting force of diamond wire increases along with the spindle speed decrease and the lateral pressure increase.The force in ultrasonic vibration cutting is about 20% to 30% less than that in conventional cutting.Also,the cutting trajectory of single diamond grit in sawing process is simulated,and the reason that the ultrasonic vibration can reduce the cutting force is explained further. 展开更多
关键词 machinofature technique and equipment mechanics manufacturing process hard and brittle material electroplated diamond wire saw ultrasonic machining
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线锯切技术发展状况 被引量:3
18
作者 谈耀麟 《超硬材料工程》 CAS 2013年第2期44-48,共5页
回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的... 回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的一些固结方式,并详细阐述当前先进的树脂粘结金刚石线锯和电镀金刚石线锯以及浸渍金刚石线锯的技术规格和技术性能。 展开更多
关键词 线锯切技术 游离磨料线锯 树脂粘结金刚石线锯 电镀金刚石线锯 浸渍金刚石线锯 发展 技术规格
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基于超声毛细效应的电镀金刚石线切割工作液供给基础研究
19
作者 申鲁齐 王秀枝 +2 位作者 贾建宇 李赞 王燕青 《电加工与模具》 北大核心 2024年第2期60-66,共7页
薄片化、细线化是太阳能硅片切割的重要发展趋势,有利于光伏行业降本增效、降低发电的度电成本。细线化切割导致硅片间距小于100μm,薄片化则降低硅片抗弯能力,因此硅片间极易发生硅片吸附贴合现象,从而增加了硅片破裂风险。为此,提出... 薄片化、细线化是太阳能硅片切割的重要发展趋势,有利于光伏行业降本增效、降低发电的度电成本。细线化切割导致硅片间距小于100μm,薄片化则降低硅片抗弯能力,因此硅片间极易发生硅片吸附贴合现象,从而增加了硅片破裂风险。为此,提出将超声波毛细效应用于电镀金刚石线硅片切割,以减少和抑制晶圆吸附。为探究平板间超声波毛细作用规律进而指导工业应用,分别研究了平行板间距、平板与超声水槽底面间距、平板间不平行、表面活性剂、工作液温度和超声作用时间对超声波毛细现象的影响规律。研究结论为工业应用提供了指导,有助于抑制晶圆吸附,减小晶圆弯曲度,降低细线切割硅片的表面裂纹损伤,提高其断裂强度。 展开更多
关键词 电镀金刚石线切割 光伏硅片 超声波 毛细效应
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镀镍和未镀镍金刚石在制作电镀金刚石线锯中的上砂机理和电化学分析 被引量:5
20
作者 张晓杰 张迎九 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第6期53-57,63,共6页
通过对镀镍和未镀镍金刚石在制作电镀金刚石线锯过程中的上砂机理分析,提出了两类金刚石上砂的理论模型,并且证明模型分析与实验结果较为一致。在此基础上进行了电化学测试分析,结果表明:镀覆金刚石在镀液中会对开路电位、阴极极化、交... 通过对镀镍和未镀镍金刚石在制作电镀金刚石线锯过程中的上砂机理分析,提出了两类金刚石上砂的理论模型,并且证明模型分析与实验结果较为一致。在此基础上进行了电化学测试分析,结果表明:镀覆金刚石在镀液中会对开路电位、阴极极化、交流阻抗产生明显改变。造成这些改变的主要原因是由于镀覆金刚石微粉从绝缘体变为导体,在镀液中会与各种离子以及电场和磁场之间进行相互作用,最终出现了比较强的力学作用效应。这种效应控制得当,将会对电镀金刚石线锯所期望的快速上砂起到非常有益的作用。 展开更多
关键词 金刚石 电镀金刚石线锯 复合电镀 电化学 机理分析
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