电子束曝光机束斑的自动测控系统 被引量：3

1

作者 陈振生 杨立才 张玉林 《微细加工技术》 EI 1996年第4期16-22,共7页

根据亚微米电子束曝光机束斑直径、束流大小与各磁透镜电流之间的关系以及刀口法测试束斑的原理，设计了一套总线式的束斑自动测控系统。该系统以ＩＢＭ—ＰＣ／ＡＴ作为主控机，系统包括用于总线扩展的总线驱动板、电子束扫描控制板和... 根据亚微米电子束曝光机束斑直径、束流大小与各磁透镜电流之间的关系以及刀口法测试束斑的原理，设计了一套总线式的束斑自动测控系统。该系统以ＩＢＭ—ＰＣ／ＡＴ作为主控机，系统包括用于总线扩展的总线驱动板、电子束扫描控制板和束流信号数据采集板。 展开更多

关键词 电子束曝光机 束斑 自动测控系统

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电子束曝光机束径和束流最佳配合研究

2

作者 陈振生 胡咏梅 张玉林 《电子测量技术》 1998年第4期40-43,共4页

文中介绍了电子束曝光机束斑直径和束流大小的测量方法,提出调整束斑直径的基本原理,设计了一种实现束径和束流最佳配合的自动测量和调整系统。

关键词 电子束曝光机 束斑直径 束流大小 自动测量

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电子束曝光机束闸电路 被引量：1

3

作者 张明 《微细加工技术》 2000年第4期6-8,35,共4页

介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。

关键词 电子束曝光机 束闸电路 开关电路

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锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用 被引量：1

4

作者 魏守水 张玉林 付光达 《微细加工技术》 1996年第2期7-11,共5页

采用销相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。

关键词 电子束曝光机 工件台 锁相技术 稳速控制

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DB—5型光栅扫描电子束曝光机真空系统 被引量：1

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作者 庄炳河 《微细加工技术》 1991年第1期46-50,共5页

本文介绍了我国自行研制的第一台生产实用型光栅扫描电子束曝光机的真空系统,包括系统设计、分子泵与离子泵的应用、全系统泵阀的可编程自动控制,以及为改善系统性能采取的一些措施。

关键词 光栅扫描 电子束 曝光机 真空系统

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DY－5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术

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作者 武丰煜 唐文剑 张福安 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1994年第4期31-36,共6页

在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了调校三座标系相互重合的方法，并给出了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机调校结果。

关键词 电子束曝光机 微电子束 座标轴

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束流测量中的工频陷波器

7

作者 陈振生 《微细加工技术》 2002年第4期11-13,共3页

提出一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器 ,给出电路结构 ,基于对其工作原理的分析 。

关键词 电子束曝光机 束流 自动跟踪 工频 陷波器 工作原理

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电子束曝光机的误差与数据处理

8

作者 李士章 冯友彬 余越 《微细加工技术》 1997年第3期1-9,共9页

本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型，误差的影响与估算．以及误差的综合与数据处理。

关键词 电子束曝光机 加工精度 误差 数据处理

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亚微米电子束曝光机自动输片控制系统研制

9

作者 罗正全 《微细加工技术》 1999年第4期1-5,共5页

概略地介绍了在电子束曝光机上使用的自动输片系统的要求及其组成；较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计；最后给出了运行和检测结果。

关键词 电子束曝光机 输片机构 自动控制系统 亚微米

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DY－5型亚微米电子束曝光机

10

作者 武丰煜 顾文琪 《微细加工技术》 1996年第1期1-6,共6页

本文介绍了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机的主要技术性能：最细特征线宽０．４μｍ；图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ２和２×２ｍｍ２；最高扫描速度１ＭＨｚ；可加工１００×１００... 本文介绍了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机的主要技术性能：最细特征线宽０．４μｍ；图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ２和２×２ｍｍ２；最高扫描速度１ＭＨｚ；可加工１００×１００ｍｍ２掩模版或Φ７５硅圆片。给出了部分曝光试验结果。 展开更多

关键词 电子束曝光机 光刻 曝光机 半导体器件

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电子束曝光机工件台结构的设计研究

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作者 赵立人 顾书偃 +1 位作者 佟玉环 徐丰仁 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第5期61-69,共9页

根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性，将机械驱动系统、激光测量... 根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高速运动下的稳定性，将机械驱动系统、激光测量和计算机组成一个闭环控制系统，利用计算机不断采样叠代，选择合适的校正系数适时校正，实现了快速运动精确达到预定位置。采用双频激光高精度测量定位，从误差分析出发，对结构进行了改善，保证了最终精度。 展开更多

关键词 电子束 曝光机 定位工作台

原文传递

电子束曝光机图形处理系统

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作者 刘浩 张福安 薛虹 《微细加工技术》 1997年第1期17-20,共4页

本文针对现有电子束曝光机在图形处理过程中存在的一些问题，提出了以辅配微机来增强原机处理能力的方法。对曝光机的图形处理过程及异机通讯等问题作了较详细的介绍。

关键词 电子束曝光机 图形数据处理 EBES

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电子束曝光机复合调整式30kV电源

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作者 陈振生 雷海亮 杨立才 《微细加工技术》 1997年第2期14-19,共6页

介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案，提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。

关键词 电子束曝光机 高压电源 复合调整 高稳定度

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DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统

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作者 唐文剑 武丰煜 +1 位作者 唐辉 陈建平 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1996年第3期38-42,53,共6页

本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。

关键词 电子束暴光机 偏转系统 亚微米

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Ee－BES－40A全自动电子束曝光机

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作者 张福安 薛虹 刘浩 《微细加工技术》 1996年第3期14-19,共6页

Ｅｅ－ＢＥＳ－４０光栅扫描电子束曝光机全部实现自动控制，为用户操作带来极大方便。本文简要论述该机的构成及调试中遇到的问题。重点论述真空自动化，送片机构的自动化，以及电子光柱调整的自动化。

关键词 电子束曝光机 光栅扫描 电子器件

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一种高精度测量束斑电流的新方法

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作者 魏守水 陈振生 +1 位作者 赵春民 张玉林 《微细加工技术》 1999年第2期8-11,共4页

提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。

关键词 电子束曝光机 A/D转换 束斑电流 测量

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DY－5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题 被引量：1

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作者 武丰煜 唐文剑 +1 位作者 张福安 安秉谦 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第2期48-53,共6页

本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束曝光机电子光学柱所做的工作。最后给出了一组试验结果。

关键词 电子束曝光 电子光学柱 试验

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