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题名大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究
被引量：4
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作者
朱目成
周肇飞
张涛
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机构
四川大学激光应用技术研究所
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期80-81,共2页
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基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 2 75 10 1)
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文摘
介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 +1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。
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关键词
大尺寸测量
无导轨测量
双纵模热激光器
激光干涉仪
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Keywords
double longitudinal modes laser
large size measuring
node
laser interferometer
measurement without guide
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
TN247
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究
被引量：3
- 2
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作者
吴燕华
董璐
张涛
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机构
水力学与山区河流开发保护国家重点实验室(四川大学)
四川大学激光应用研究所
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出处
《工具技术》
2010年第7期97-100,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50627502)
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文摘
以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。
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关键词
高测速
双纵模
双频激光干涉仪
振荡器
计数频率
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Keywords
high measuring speed
double longitudinal modes
dual-frequency laser interferometer
oscillator
counting frequency
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分类号
TG659
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名一种大范围高精度的光电测量装置研究
- 3
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作者
周秀云
程玉华
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机构
电子科技大学自动化工程学院
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出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期951-954,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50275101)
电子科技大学青年基金资助项目(YF021404)
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文摘
为解决大尺寸测量的环境性和高精度性的矛盾问题，介绍了一种可用于工业现场大尺寸零件精密测量的装置。该装置以双纵模热稳频He-Ne激光器为光源，其拍频频率约为729MHz，拍频波长约412mm；以拍频波长为测量基准，拍频波节点（过零点）为对准标志，用粗估的方法获取整数倍拍频半波长的长度，用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪（分辨率为0．08μm）测量最邻近节点到被测点的尾数长度。测试表明，此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度。整个测量系统可在0～20m范围内工作。测量不确定度优于±30μm／10m。
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关键词
双纵模激光
拍频频差
节点
不确定度
小波变换
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Keywords
double longitudinal modes laser
beat frequency difference
node
uncertainty value
wavelet transform
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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