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直流等离子体法制备Cu纳米粉
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作者 阳立庚 吴小刚 郑小秋 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第A02期114-117,共4页
本实验利用直流等离子体法制备了Cu纳米粉末,并系统研究了工艺参数对Cu纳米粉末粒子产率、粒径和粒径分布规律的影响。正交实验、扫描电子显微镜、产率及粒径分析结果表明:Cu纳米粉末粒子最佳制备工艺参数为电流(380±5)A、制粉室... 本实验利用直流等离子体法制备了Cu纳米粉末,并系统研究了工艺参数对Cu纳米粉末粒子产率、粒径和粒径分布规律的影响。正交实验、扫描电子显微镜、产率及粒径分析结果表明:Cu纳米粉末粒子最佳制备工艺参数为电流(380±5)A、制粉室内N2气体比例为(15±2)%、风机转速为2 400~2 500r/min。在此工艺条件下获得的Cu纳米粉末粒子呈球形,Cu纳米粉末粒子粒径分布均匀,分布范围较窄,粒径约为100nm。随着N2气体比例增加,电流强度增大,Cu纳米粉末产率提高,但同时会导致Cu纳米粉末粒子平均直径增大、粒径分布变宽。然而,随着轴流风机转速的提高,Cu纳米粉末产率提高,并且Cu纳米粉末粒子平均直径减小、粒径分布变窄,这与较快的转速引起Cu棒表面原子蒸气浓度下降有关。 展开更多
关键词 直流等离子体 Cu纳米粉 正交实验
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直流电弧等离子体法合成金属和陶瓷纳米颗粒 被引量:6
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作者 李星国 廖复辉 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期295-300,共6页
介绍了直流电弧等离子体法制备纳米颗粒的原理和条件以及由此法制备的纳米颗粒的种类、结构和性能. 用直流电弧等离子体法能够合成金属、氧化物、氮化物、碳化物及氢化物等多类纳米颗粒. 合成的颗粒大小因合成条件和成份而变化,一般在10... 介绍了直流电弧等离子体法制备纳米颗粒的原理和条件以及由此法制备的纳米颗粒的种类、结构和性能. 用直流电弧等离子体法能够合成金属、氧化物、氮化物、碳化物及氢化物等多类纳米颗粒. 合成的颗粒大小因合成条件和成份而变化,一般在10~200 nm. 这种方法的合成速度比传统的真空蒸发法快10倍以上,适合工业化生产. 展开更多
关键词 直流电弧等离子体 金属 陶瓷 纳米颗粒 合成
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大气压氩气射流等离子体的光谱特性研究 被引量:4
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作者 李雪辰 张春艳 +1 位作者 李霁媛 鲍文婷 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3305-3309,共5页
等离子体喷枪是一种重要的等离子体源,已成为近几年低温等离子体研究的一个重要课题。本文利用钨针-钨丝网电极制作了直流喷枪装置,在大气压空气中产生了稳定的等离子体羽,并采用发射光谱的方法,对等离子体羽的等离子体参数进行了研究... 等离子体喷枪是一种重要的等离子体源,已成为近几年低温等离子体研究的一个重要课题。本文利用钨针-钨丝网电极制作了直流喷枪装置,在大气压空气中产生了稳定的等离子体羽,并采用发射光谱的方法,对等离子体羽的等离子体参数进行了研究。在钨针电极与钨丝网电极之间放出耀眼的白光,钨丝网电极出口的气流下游有火苗形状的等离子体羽喷出。在电压保持不变的条件下(13.5kV),等离子体羽长度随气体流量增加而增大;在气体流量保持不变的条件下(10L·min^(-1)),羽长度随外加电压的增大而增大。在气体流量一定的条件下,放电电压和放电电流呈反比例关系,即电压随着电流的增大而减小,说明放电属于辉光放电。采集了该喷枪在300~800nm范围内的放电发射光谱,通过玻尔兹曼方法对放电等离子体电子激发温度进行了测量。结果表明,电子的激发温度随外加电压的增大而降低,随着工作气体流量的减小而升高。利用放电的基本理论对上述现象做了解释。这些研究结果对大气压均匀放电等离子体源的研制和工业应用具有重要意义。 展开更多
关键词 等离子体羽 辉光放电 直流喷枪 电子激发温度
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直流等离子体球化钨粉制备及其性能研究
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作者 张卫刚 孙杨 +5 位作者 郑敏 高岭 刘璐 汪舸 王娅辉 杨肖肖 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期753-759,共7页
直流电弧等离子体具有核心温度高、环境清洁等特点,且制备出的粉体球形度高、球化率高,成为增材制造用高质量粉体规模化生产的重要技术。以不规则钨粉为原料,采用直流电弧等离子体球化技术制备球形钨粉,研究不同送粉速率及送粉气流量对... 直流电弧等离子体具有核心温度高、环境清洁等特点,且制备出的粉体球形度高、球化率高,成为增材制造用高质量粉体规模化生产的重要技术。以不规则钨粉为原料,采用直流电弧等离子体球化技术制备球形钨粉,研究不同送粉速率及送粉气流量对球化后粉末颗粒性能的影响,证明不规则钨粉球化过程中的3种转变机制,并在较大送粉气流量下,采用直流电弧等离子体球化技术原位合成了纳米颗粒附着的球形钨粉。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、激光粒度仪、粉末流动性测试仪对球化后钨粉颗粒的形貌、物相、粒径分布、流动性及松装密度等进行分析表征。结果表明:经直流电弧等离子体球化后钨粉颗粒物相未发生变化,呈现出单一钨相,送粉速率为8 r·min^(-1)时,制备的钨粉颗粒表面光滑且球化率可达到98%以上,粒径分布相较于原料粉末变窄。球化后钨粉的流动性最高,达到5.35 s·50 g^(-1),相较原料钨粉减少了13.18 s;松装密度由5.37提高到11.67 g·cm^(-3),提高了117.3%。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体 钨粉 球化率 送粉气流量 球化机制
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微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化 被引量:3
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作者 魏淑萍 王德苗 金浩 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期689-693,共5页
微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素。本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微... 微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素。本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微波介质陶瓷进行金属化处理,研究了不同的清洗工艺和复合膜系对介质谐振器性能的影响。实验结果表明,1表面精细打磨和等离子清洗工艺有利于提高膜层结合力,其中Cr/Cu/Ag复合膜系性能最佳,溅射金属化膜层结合力可达6.4MPa,优于丝印工艺的1.8MPa;250~100nm厚度的过渡层金属Cr对Q值几乎无影响,因此可用Cr层提高结合力,且不会牺牲器件Q值;3溅射后器件的Q值最大可达到2673,明显优于丝印烧结工艺的2268。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 介质谐振器 复合膜系 等离子清洗 Q值
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Modeling of Pulsed Direct-Current Glow Discharge
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作者 杜木 郑亚茹 +3 位作者 范宇佳 张楠 刘成森 王德真 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期447-451,共5页
A self-consistent model was adopted to study the time evolution of low-voltage pulsed DC glow discharge. The distributions of electric field, ion density and electron density in nitrogen were investigated in our simul... A self-consistent model was adopted to study the time evolution of low-voltage pulsed DC glow discharge. The distributions of electric field, ion density and electron density in nitrogen were investigated in our simulation, and the temporal shape of the discharge current was also obtained. Our results show that the dynamic behaviors of the discharge depends strongly on the applied pulse voltage, and the use of higher pulse voltages results in a significantly increase of discharge current and a decrease of discharge delay time. The current-voltage characteristic cMculated by adjusting secondary electron emission coefficient for different applied pulse voltage under the gas pressure of 1 Torr is found in a reasonable agreement with the experimental results. 展开更多
关键词 pulsed direct-current glow discharge plasma processing plasma simulation
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纳米镍铜复合粉体在乙醇溶液中的分散性能 被引量:2
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作者 刘广 张振忠 +2 位作者 路承杰 陈骞 张少明 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期77-80,共4页
在对直流氢电弧蒸发法制备的纳米镍铜复合粉体的Zeta电位测量的基础上,采用非离子型和阴离子型2类分散剂中的各种材料,研究了各种材料超声时间和加入质量分数对纳米粉体在无水乙醇溶液中分散性能的影响。研究结果表明:粉体的分散效果随... 在对直流氢电弧蒸发法制备的纳米镍铜复合粉体的Zeta电位测量的基础上,采用非离子型和阴离子型2类分散剂中的各种材料,研究了各种材料超声时间和加入质量分数对纳米粉体在无水乙醇溶液中分散性能的影响。研究结果表明:粉体的分散效果随着超声时间和分散剂加入质量分数的增加呈现先增大后减小的趋势;阴离子型分散剂中油酸对镍铜复合粉体的分散效果最好,在乙醇溶液中质量分数为2.5%的油酸的最佳超声时间为6 min。 展开更多
关键词 直流电弧蒸发 纳米镍铜复合粉体 分散剂 超声时间
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提高聚对二甲苯与工件粘附力的等离子预处理装置
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作者 袁红丽 《化学工业与工程技术》 CAS 1998年第1期18-19,共2页
对自行研制的直流高压等离子预处理装置作了介绍,该装置用于提高成膜工艺中聚对二甲苯与各种材质工件的粘附力,效果较好。
关键词 聚对二甲苯 工件 粘附力 等离子预处理 塑料涂敷
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纳米氧化铋粉体的制备及对ZnO压敏电阻性能的影响 被引量:16
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作者 禹争光 杨邦朝 敬履伟 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1184-1187,共4页
采用直流电弧等离子法可以制备出包含有a和β相,尺寸约为70 nm的纳米氧化铋粉体,收率可达30%。利用制备的纳米氧化铋粉体替代微米级材料制备氧化锌压敏陶瓷后,研究了其对器件电学性能和陶瓷微观结构的影响。实验发现:纳米氧化铋使用量... 采用直流电弧等离子法可以制备出包含有a和β相,尺寸约为70 nm的纳米氧化铋粉体,收率可达30%。利用制备的纳米氧化铋粉体替代微米级材料制备氧化锌压敏陶瓷后,研究了其对器件电学性能和陶瓷微观结构的影响。实验发现:纳米氧化铋使用量为1.6%摩尔分数时其压敏电压梯度和通流值分别为185 V/mm和4 700 A/cm2,而达到相同值所需微米氧化铋用量则分别为1.9%和1.85%。可见,如采用纳米氧化铋替代微米氧化铋可以减少用量10%~20%,而达到相同的电性能。 展开更多
关键词 直流电弧等离子法 氧化锌压敏陶瓷 纳米氧化铋
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偏压对活性屏离子渗氮工艺的影响 被引量:8
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作者 郑少梅 赵程 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期701-704,共4页
通过对40C钢进行活性屏离子渗氮处理,研究了在活性屏离子渗氮工艺过程中工件所加的偏压对渗氮层的影响。试验结果表明,在不加偏压或偏压较低的情况下,对距离活性屏较近的工件,其表面有一定厚度的渗氮层形成,硬度提高;而距离活性屏较远... 通过对40C钢进行活性屏离子渗氮处理,研究了在活性屏离子渗氮工艺过程中工件所加的偏压对渗氮层的影响。试验结果表明,在不加偏压或偏压较低的情况下,对距离活性屏较近的工件,其表面有一定厚度的渗氮层形成,硬度提高;而距离活性屏较远的工件,其表面几乎没有渗氮层的形成,但当增大偏压至400~450 V时,工件表面产生弱的辉光放电,距离活性屏较远的工件表面也有渗氮层形成。通过控制偏压值,可以使工件表面形成厚度均匀的渗氮层,提高工件硬度;同时也可以避免直流离子渗氮过程中产生的打弧、边缘效应等问题。 展开更多
关键词 活性屏离子渗氮 直流离子渗氮 偏压 渗氮层 辉光放电
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等离子体还原四氯化硅生产三氯氢硅试验 被引量:8
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作者 陈涵斌 李育亮 +1 位作者 印永祥 戴晓雁 《氯碱工业》 CAS 2010年第1期30-33,共4页
进行了用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅的试验,反应器的功率达到30 kW,三氯氢硅单程收率超过了60%,每生产1 kg三氯氢硅耗电4.55 kW.h。通过计算得到了氢气解离度、电离度与温度的关系,归纳出氢气的比定压热容随温度变化... 进行了用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅的试验,反应器的功率达到30 kW,三氯氢硅单程收率超过了60%,每生产1 kg三氯氢硅耗电4.55 kW.h。通过计算得到了氢气解离度、电离度与温度的关系,归纳出氢气的比定压热容随温度变化的函数,根据试验结果确定了氢气和四氯化硅的最佳进料配比。 展开更多
关键词 三氯氢硅 四氯化硅 直流放电等离子体 收率 能耗
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Three modes of a direct-current plasma jet operated underwater to degrade methylene blue 被引量:5
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作者 Xuechen LI Biao WANG +3 位作者 Pengying JIA Linwei YANG Yaru LI Jingdi CHU 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第11期75-81,共7页
A direct-current air plasma jet operated underwater presents three stable modes including an intermittently-pulsed discharge, a periodically-pulsed discharge and a continuous discharge with increasing the power voltag... A direct-current air plasma jet operated underwater presents three stable modes including an intermittently-pulsed discharge, a periodically-pulsed discharge and a continuous discharge with increasing the power voltage. The three discharge modes have different appearances for the plasma plumes. Moreover, gap voltage-current characteristics indicate that the continuous discharge is in a normal glow regime. Spectral lines from reactive species(OH, N2, N2^+, Hα,and O) have been revealed in the emission spectrum of the plasma jet operated underwater.Spectral intensities emitted from OH radical and oxygen atom increase with increasing the power voltage or the gas flow rate, indicating that reactive species are abundant. These reactive species cause the degradation of the methylene blue dye in solution. Effects of the experimental parameters such as the power voltage, the gas flow rate and the treatment time are investigated on the degradation efficiency. Results indicate that the degradation efficiency increases with increasing the power voltage, the gas flow rate or the treatment time. Compared with degradation in the intermittently-pulsed mode or the periodically-pulsed one, it is more efficient in the continuous mode, reaching 98% after 21 min treatment. 展开更多
关键词 plasma jet direct current glow discharge plasma degradation methylene blue
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不同等离子清洗在半导体封装中的应用研究 被引量:4
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作者 杨建伟 《电子与封装》 2019年第5期1-4,44,共5页
等离子清洗在半导体封装中越来越重要,不同激发机理的等离子存在一定的差异,通过分析直流电流等离子、射频等离子、微波等离子产生机理,研究对比了不同等离子清洗的清洗效果及特点。通过对比等离子清洗对不同封装工艺的影响,得出最合适... 等离子清洗在半导体封装中越来越重要,不同激发机理的等离子存在一定的差异,通过分析直流电流等离子、射频等离子、微波等离子产生机理,研究对比了不同等离子清洗的清洗效果及特点。通过对比等离子清洗对不同封装工艺的影响,得出最合适倒装焊的底部填充、键合焊接、模塑包封工序的等离子清洗类型。研究结果既有助于对等离子清洗工艺理解的深入,也对不同封装工序选择何种类型等离子清洗有参考意义。 展开更多
关键词 等离子清洗 直流电流等离子 射频等离子 微波等离子
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直流电弧等离子体点火器化学效应研究 被引量:5
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作者 赵兵兵 何立明 +2 位作者 沈英 白晓峰 于锦禄 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1171-1174,共4页
为研究直流电弧等离子体点火器的化学效应,测量了点火器喷出的等离子体射流的发射光谱,分析得到等离子体射流与常压环境空气相互作用产生的粒子种类,通过烟气分析仪定量测量了距离点火器出口8cm处的NO和CO含量,并研究了点火器弧电流、... 为研究直流电弧等离子体点火器的化学效应,测量了点火器喷出的等离子体射流的发射光谱,分析得到等离子体射流与常压环境空气相互作用产生的粒子种类,通过烟气分析仪定量测量了距离点火器出口8cm处的NO和CO含量,并研究了点火器弧电流、工作介质流量对NO和CO体积分数的影响。实验结果表明:等离子体点火器喷出的等离子体射流与环境空气相互作用可产生活性粒子H,O和N,带电粒子O2+,N2+和激发态粒子N2(A3),N2(B3),N2(C3)和O2(b1)等;增大弧电流、工作介质流量,等离子体射流头部附近NO和CO体积分数增大。 展开更多
关键词 直流电弧 等离子体射流 化学效应 发射光谱 活性粒子
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纳米锡粉的制备及分散稳定性研究 被引量:5
15
作者 林峰 雷晓旭 +3 位作者 王进保 张健伟 蒋燕麟 秦海青 《中国粉体技术》 CAS 北大核心 2013年第2期36-39,共4页
为了使纳米锡粉在乙二醇水溶液中良好稳定地分散,通过直流电弧等离子体蒸发法制备平均粒径为106 nm的纳米锡粉,以十二烷基硫酸钠、六偏磷酸钠、聚乙二醇为分散剂研究纳米锡粉在乙二醇水溶液中的分散性能,分析分散时间、分散剂类型及含... 为了使纳米锡粉在乙二醇水溶液中良好稳定地分散,通过直流电弧等离子体蒸发法制备平均粒径为106 nm的纳米锡粉,以十二烷基硫酸钠、六偏磷酸钠、聚乙二醇为分散剂研究纳米锡粉在乙二醇水溶液中的分散性能,分析分散时间、分散剂类型及含量对锡粉分散性能的影响。结果表明,不同分散剂的加入对锡粉颗粒在乙二醇水溶液中的分散稳定性都有所提高,随着超声时间的延长和分散剂浓度的增大,粉体的分散效果先增强后减弱;纳米锡粉在乙二醇水溶液中的最佳分散工艺是加入质量分数为3%的十二烷基硫酸钠,超声时间为60 min。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体 纳米锡粉 表面活性剂 分散稳定性
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直流电晕放电净化羰基硫以及其产物分析 被引量:5
16
作者 王学谦 程晨 +4 位作者 马懿星 宁平 徐可 王郎郎 张英杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期149-154,共6页
使用直流电晕放电净化羰基硫(COS),研究不同O_2浓度、不同相对湿度以及粉尘存在与否对COS处理效果和被处理后主要产物含量的影响。实验结果表明,随着O_2浓度增加,COS去除效率降低,出口气中SO_2、总硫(The totals except SO_2,记为TS′)... 使用直流电晕放电净化羰基硫(COS),研究不同O_2浓度、不同相对湿度以及粉尘存在与否对COS处理效果和被处理后主要产物含量的影响。实验结果表明,随着O_2浓度增加,COS去除效率降低,出口气中SO_2、总硫(The totals except SO_2,记为TS′)生成率均减小,COS转化量与CO、CO_2总量保持平衡,CO、CO_2浓度降低,CO生成率降低,CO_2生成率增加。相对湿度对COS处理效果影响较小,但影响电源击穿电压,相对湿度增加,出口气中总硫生成率增加,SO_2生成率减小,出口气中CO生成率降低,而CO_2生成率增加,CO浓度降低,CO_2浓度增加。在实验过程中加入粉尘后,COS处理效果有一定提高,出口气中SO_2生成率显著减少,总硫生成率增加,出口气中CO浓度降低,生成率降低,CO_2浓度增加,生成率增加。低氧气浓度、低湿度以及粉尘存在的情况下,COS处理效果最好。 展开更多
关键词 直流电晕等离子体 羰基硫 自由基 尾气
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直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究 被引量:4
17
作者 丁发柱 石玉龙 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第1期1-4,共4页
通过在传统热丝化学气相沉积装置中引入直流等离子体,设计了直流等离子体一热丝化学气相沉积金刚石薄膜的设备,设备中既包括相互独立的灯丝电压和施加的偏压。通过调节偏压可以控制所形成的等离子体的偏流。在这一改进的系统中研究了金... 通过在传统热丝化学气相沉积装置中引入直流等离子体,设计了直流等离子体一热丝化学气相沉积金刚石薄膜的设备,设备中既包括相互独立的灯丝电压和施加的偏压。通过调节偏压可以控制所形成的等离子体的偏流。在这一改进的系统中研究了金刚石薄膜形核和生长过程,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析了金刚石的样品,结果表明,施加偏压不仅能大大促进金刚石的形核密度(1010cm-2)、提高金刚石薄膜的生长速率,金刚石薄膜的取向也随机取向变为(111)定向生长。 展开更多
关键词 直流等离子体 热丝化学气相沉积 金刚石形核及生长
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气体放电等离子体及应用的研究进展 被引量:4
18
作者 石峰 王昊 《真空与低温》 2018年第2期80-85,共6页
由于气体放电在材料处理、热核聚变、环境净化以及等离子体推力器等各个前沿科学领域中具有广泛的应用。为了推动气体放电及等离子体理论与应用技术的研究和发展,综述了近年来各种典型气体放电机理的发展。分析了直流辉光放电、介质阻... 由于气体放电在材料处理、热核聚变、环境净化以及等离子体推力器等各个前沿科学领域中具有广泛的应用。为了推动气体放电及等离子体理论与应用技术的研究和发展,综述了近年来各种典型气体放电机理的发展。分析了直流辉光放电、介质阻挡放电、大气压辉光放电、电子回旋共振放电、容性耦合射频放电的国内外研究现状,最后介绍了气体放电等离子体的应用领域。 展开更多
关键词 气体放电 直流放电 射频放电 介质阻挡放电 容性耦合射频放电 等离子体应用
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直流电弧热等离子体制备纳米镍粉过程的数值模拟
19
作者 陈文波 李自军 +2 位作者 陈伦江 冯军 阳璞琼 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1999-2005,共7页
研究镍粉颗粒在直流电弧热等离子体中的汽化过程可以为优化热等离子体纳米镍粉的制备工艺提供参考。本工作通过对磁流体力学方程和颗粒热动力学方程的耦合求解,研究了原料粒径、工作气流量及送粉速率等参数对镍粉颗粒在直流热等离子体... 研究镍粉颗粒在直流电弧热等离子体中的汽化过程可以为优化热等离子体纳米镍粉的制备工艺提供参考。本工作通过对磁流体力学方程和颗粒热动力学方程的耦合求解,研究了原料粒径、工作气流量及送粉速率等参数对镍粉颗粒在直流热等离子体中的运动行为及加热过程的影响效应。研究表明,粒径较小的颗粒在高温区内停留的时间更长,从等离子体中吸收到的热量更多,因此能够在更短的时间内被加热到完全汽化;降低工作气流量及送粉速率均可以增加镍粉颗粒从热等离子体中获得的能量,这对于提升颗粒的汽化率,改善最终制备的纳米镍粉品质是有益的。 展开更多
关键词 直流电弧热等离子体 纳米镍粉 汽化过程 数值模拟
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直流等离子体-中阶梯光栅光谱仪测定高纯氧化镧、氧化钇中稀土杂质 被引量:3
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作者 张俊芬 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期71-73,共3页
本文采用中阶梯光栅光谱仪,直流等离子体光谱法测定高纯(99.99%)氯化镧、氧化钇中稀土杂质元素,由于仪器具有很高的色散率,因而方法具有灵敏度高、干扰少的特点。
关键词 氧化镧 氧化钇 稀土杂质 ICP-AES
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