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喷印柔性压力传感器试验研究 被引量:6
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作者 罗毅辉 彭倩倩 +5 位作者 朱宇超 王广顺 吴德志 朱睿 谢瑜 孙道恒 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期90-97,共8页
柔性压力传感器是智能机器人和生物医疗等典型应用领域中的关键部件。针对10~50 kPa中等压力下对柔性压力传感器的高灵敏度、良好压力分辨率和快速响应需求,提出在PDMS基底上直写喷印石墨烯纳米片(GNPs)/多壁碳纳米管(MWCNT)构建S型折... 柔性压力传感器是智能机器人和生物医疗等典型应用领域中的关键部件。针对10~50 kPa中等压力下对柔性压力传感器的高灵敏度、良好压力分辨率和快速响应需求,提出在PDMS基底上直写喷印石墨烯纳米片(GNPs)/多壁碳纳米管(MWCNT)构建S型折线图案化敏感单元,结合封装层微结构阵列,制备中压高灵敏度、低检测限的柔性压力传感器。试验结果表明,在压力为0~15 kPa和15~40 kPa的条件下,该传感器灵敏度分别为0.114 kPa^-1和1.41 kPa^1,响应/恢复速度快(约100 ms/50ms)。同时,其也可检测低至约3Pa的微小压力。同时,该传感器更是能对不同发声进行准确的区分识别,对不同的指压信号进行精确稳定反馈。可见,喷印制造柔性压力传感器将为语音识别、人工假肢、制备高性能电子皮肤和医疗康复器件等提供可能的优选方案。 展开更多
关键词 直写喷印 柔性压力传感器 石墨烯纳米片 微结构 电子皮肤
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微型喷嘴雾化直写技术制备厚膜导体研究 被引量:2
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作者 李敬 李金洪 +1 位作者 李祥友 曾晓雁 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期67-70,共4页
采用微细雾化喷射沉积直写的方法在陶瓷基板上制备银厚膜导体。主要研究了施加气压、喷嘴到基板距离、直写速度以及雾化气压对导体线宽的影响规律,分析了微型喷嘴雾化直写厚膜导体机理,并优化了工艺参数,得到了最佳工艺参数范围:施... 采用微细雾化喷射沉积直写的方法在陶瓷基板上制备银厚膜导体。主要研究了施加气压、喷嘴到基板距离、直写速度以及雾化气压对导体线宽的影响规律,分析了微型喷嘴雾化直写厚膜导体机理,并优化了工艺参数,得到了最佳工艺参数范围:施加驱动气压控制在0.05~0.10MPa,喷嘴到基板距离0.4~1.2mm,直写速度在15mm/s以下,雾化气压0.14~0.24MPa,所得线宽350~750μm,单层膜厚1.5~10μm。 展开更多
关键词 电子技术 厚膜银导体 直写 喷射沉积 烧结
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三维PZT木堆结构的直写成型 被引量:2
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作者 蔡坤鹏 孙竞博 +1 位作者 李勃 周济 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期495-498,共4页
配制了一种水基锆钛酸铅(PZT)陶瓷浆料,通过直写无模成型的方法制备了直径为微米级的压电木堆结构.流变学测量表明,浆料属于剪切变稀型流体;微观形貌观察和密度测量表明,烧结后的样品已经成瓷,且具有较高的致密度;X射线衍射(XRD)的测试... 配制了一种水基锆钛酸铅(PZT)陶瓷浆料,通过直写无模成型的方法制备了直径为微米级的压电木堆结构.流变学测量表明,浆料属于剪切变稀型流体;微观形貌观察和密度测量表明,烧结后的样品已经成瓷,且具有较高的致密度;X射线衍射(XRD)的测试结果表明,烧结后的样品具有三方PbZr0.58Ti0.42O3相;压电常数测试结果显示该结构有较好压电性,且压电常数d33为410pC/N.无模成型技术具有结构可设计性强,成型速度快,成型精度高等优点,为压电材料和器件的设计和应用提供了新的思路. 展开更多
关键词 直写无模成型 PZT 浆料制备 压电性能
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Electric-Jet Assisted Layer-by-Layer Deposition of Gold Nanoparticles to Prepare Conducting Tracks
4
作者 S. R. Samarasinghe Isabel Pastoriza-Santos +4 位作者 M. J. Edirisinghe M. J. Reece Luis Liz-Marzán M. R. Nangrejo Z. Ahmad 《Natural Science》 2009年第2期142-150,共9页
A suspension of 15nm diameter gold nanoparti-cles has been deposited along a line on a silicon substrate with the assistance of a jet generated in an electric field. In order to control the evaporation of the solvent ... A suspension of 15nm diameter gold nanoparti-cles has been deposited along a line on a silicon substrate with the assistance of a jet generated in an electric field. In order to control the evaporation of the solvent used to suspend the gold nanoparticles, a heating device was used to change the substrate temperature. Layer-by- layer deposition enabled the direct writing of gold tracks having an electrical resistivity of 1.8 × 10-7 Ωm, only about an order of magnitude above the electrical resistivity of bulk gold. 展开更多
关键词 Gold ELECTROHYDRODYNAMIC JET direct write Track Electrical CONDUCTIVITY
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CL-20基直写炸药油墨的制备与表征 被引量:29
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作者 朱自强 陈瑾 +3 位作者 谯志强 黄兵 杨光成 聂福德 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期235-238,共4页
炸药油墨是直写微装药技术在微型机电系统(MEMS)引信安保装置应用的关键材料。采用球磨方法细化了六硝基六氮杂异伍兹烷(HNIW,CL-20)炸药,结合聚乙烯醇(PVA)/水/乙基纤维素(EC)/异丙醇(IPA)的复合粘结剂体系,获得了一种书写性能良好的... 炸药油墨是直写微装药技术在微型机电系统(MEMS)引信安保装置应用的关键材料。采用球磨方法细化了六硝基六氮杂异伍兹烷(HNIW,CL-20)炸药,结合聚乙烯醇(PVA)/水/乙基纤维素(EC)/异丙醇(IPA)的复合粘结剂体系,获得了一种书写性能良好的炸药油墨复合物ε-CL-20/PVA/H2O/EC/IPA。扫描电子显微镜显示炸药油墨的最小线宽可达80.2μm,无明显裂纹。红外光谱显示油墨中CL-20炸药在直写前后晶型保持不变。通过楔形狭缝装药炸痕法,测得装药厚度为0.54mm时,炸药油墨复合物的爆轰临界尺寸为0.36mm。 展开更多
关键词 爆炸力学 微型机电系统(MEMS)引信 直写装药 炸药油墨 六硝基六氮杂异伍兹烷(CL-20) 爆轰临界尺寸
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人工仿生复眼的研究进展 被引量:12
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作者 张红鑫 卢振武 李凤有 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2006年第2期4-7,共4页
人工仿生复眼的发展历史虽然时间不长,但由于它具有体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,已经引起了人们的广泛重视,成为新的研究热点。本文介绍了复眼的研究历史,详细阐述了人工仿生复眼系统的最新研究进展及其在各个领域中的应用... 人工仿生复眼的发展历史虽然时间不长,但由于它具有体积小、重量轻、视场大、灵敏度高等优点,已经引起了人们的广泛重视,成为新的研究热点。本文介绍了复眼的研究历史,详细阐述了人工仿生复眼系统的最新研究进展及其在各个领域中的应用状况和应用前景,分析了目前人工复眼研制中存在的问题,并提出了改进的方法。 展开更多
关键词 并列型复眼 重叠型复眼 微透镜阵列 激光直写
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ISI-2802激光直写系统及其应用 被引量:6
7
作者 侯德胜 杜春雷 +1 位作者 邱传凯 白临波 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期27-31,共5页
介绍中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室引进的国内首台激光直写系统的工作模式、基本结构、主要性能和应用范围等,并给出用这台设备已经作出的一些掩模图形的样品。
关键词 激光直写 掩模 二元光学 激光光刻机
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衍射微透镜列阵的研究与应用 被引量:6
8
作者 杜春雷 周礼书 +3 位作者 邱传凯 白临波 王永茹 邓启凌 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第3期17-19,22,共4页
本文研究了衍射微透镜列阵的设计与制作工艺方法,在此基础上研制出一系列衍射微透镜列阵,衍射效率均大于85%,在深紫外、可见及红外波前传感器中得到了成功应用。
关键词 衍射透镜 衍射效率 激光直写 刻蚀 微透镜列阵
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喷头流道结构参数对高黏度含能材料直写成型3D打印挤出过程稳定性影响
9
作者 丁治豪 杨伟涛 +3 位作者 高宇晨 杨建兴 孔新 杨斌 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期377-386,共10页
为了研究直写成型技术(DIW)中挤出系统的喷头流道结构参数(锥角角度、出口直径、成型段长度)对含能材料挤出过程的流体流动影响,研究建立了基于Polyfow Extrusion模块的高黏度含能材料挤出模型,并采用直写成型3D打印工况的挤出实验对其... 为了研究直写成型技术(DIW)中挤出系统的喷头流道结构参数(锥角角度、出口直径、成型段长度)对含能材料挤出过程的流体流动影响,研究建立了基于Polyfow Extrusion模块的高黏度含能材料挤出模型,并采用直写成型3D打印工况的挤出实验对其进行了验证。研究通过所建立的模型分析了锥角角度范围90°~130°,出口直径0.75~2 mm以及成型段长度5~20 mm对高黏度含能材料挤出过程的影响。结果表明:采用Polyflow Extrusion模块可以较准确地模拟复合含能材料的流动行为,同时发现锥角为100°、喷头出口直径为1.5~1.75 mm时挤出成型过程相对稳定、挤出膨胀较小,且成型段的增长会在增大所需入口压强的同时减小出口膨胀效应。 展开更多
关键词 直写成型(DIW) 黏弹性浆料 挤出装置 流道结构 挤出膨胀
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激光直写系统制作掩模和器件的工艺 被引量:4
10
作者 侯德胜 冯伯儒 +2 位作者 张锦 杜春雷 邱传凯 《微细加工技术》 EI 1999年第1期55-61,共7页
激光直写系统是国际上90年代制作集成电路光刻掩模版的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室从加拿大引进了国内第一台激光直写系统。利用这台系统,通过高精度激光束在光致抗蚀剂上扫描曝光,将设计图形直接转移到掩模或硅... 激光直写系统是国际上90年代制作集成电路光刻掩模版的新型专用设备。微细加工光学技术国家重点实验室从加拿大引进了国内第一台激光直写系统。利用这台系统,通过高精度激光束在光致抗蚀剂上扫描曝光,将设计图形直接转移到掩模或硅片上。激光直写系统的应用,可以分成一次曝光制作光刻掩模和多次套刻曝光制作器件两个方面。介绍使用激光直写系统制作光刻掩模和套刻器件的具体工艺。 展开更多
关键词 激光直写 光刻掩模 半导体器件 微电子工艺
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直写ASIC技术的新发展 被引量:3
11
作者 万达 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期161-163,168,共4页
采用直写ASIC技术能缩短产品的研制周期,降低研制成本,无风险地进行批量生产,加快ASIC投放市场的速度。分析了直写ASIC技术的特点,介绍了激光直写机的原理,展望了此项技术的应用前景。
关键词 ASIC 半导体工艺 激光直写技术
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石墨烯/卟啉复合气凝胶的制备与性能研究
12
作者 王健阳 马颖 +6 位作者 李思仪 李天微 王秀梅 万晔 郜思同 郭惠琳 韦杰 《材料导报》 CSCD 北大核心 2023年第16期242-246,共5页
石墨烯气凝胶既有石墨烯材料固有的柔性及优异的电学、力学性能,同时又具有高比表面积、低密度、大孔隙率等特点,其独特的三维结构有利于引入其他功能材料,从而赋予复合材料更为优异的性能。原卟啉分子具有高度共轭结构,并且与金属离子... 石墨烯气凝胶既有石墨烯材料固有的柔性及优异的电学、力学性能,同时又具有高比表面积、低密度、大孔隙率等特点,其独特的三维结构有利于引入其他功能材料,从而赋予复合材料更为优异的性能。原卟啉分子具有高度共轭结构,并且与金属离子配位结合后可发挥催化功能。鉴于此,本工作利用原卟啉分子与石墨烯片层的π-π相互作用,在石墨烯气凝胶上组装一定浓度的原卟啉分子,从而制备了石墨烯/卟啉复合气凝胶材料。该方法工艺简单,容易操作。本工作分析了复合气凝胶材料的微观形貌和成分组成,研究了原卟啉分子的组装对石墨烯气凝胶导电性能的影响,以及石墨烯/卟啉复合气凝胶对硝酸根离子(NO_(3)^(-))的检测作用。研究结果表明所制备的复合材料具有均匀的三维多孔结构,原卟啉分子的引入可以显著降低石墨烯气凝胶的电阻,而三维气凝胶结构可以有效地实现原卟啉与石墨烯的复合并实现对NO3-的灵敏检测。 展开更多
关键词 直写打印技术 石墨烯气凝胶 原卟啉 复合材料 硝酸根离子检测
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近场直写静电纺丝电场仿真与路径规划分析 被引量:4
13
作者 林灿然 王晗 +5 位作者 曾俊 朱自明 阳范文 张嘉荣 许伟亮 蓝银涛 《包装工程》 CAS 北大核心 2018年第15期146-152,共7页
目的由于在静电纺丝过程中射流的鞭动现象会严重影响纺丝的质量,无法实现图案的精准化沉积和高分辨率的喷墨打印,需要探究减小射流鞭动现象的方法。方法首先采用COMSOL Multiphysics多物理耦合场有限元仿真软件,对纺丝过程中有无添加辅... 目的由于在静电纺丝过程中射流的鞭动现象会严重影响纺丝的质量,无法实现图案的精准化沉积和高分辨率的喷墨打印,需要探究减小射流鞭动现象的方法。方法首先采用COMSOL Multiphysics多物理耦合场有限元仿真软件,对纺丝过程中有无添加辅助电极情况下的电场场强大小和分布进行模拟分析,随后通过实验进行对比验证,并根据结果设计一套适用于近场直写微纳喷印的纤维薄膜打印数控系统,实现纳米纤维的重复沉积,进行纤维薄膜的打印。结果实验采用质量分数为8%的聚氧化乙烯(PEO)溶液作为纺丝溶液,注射器及喷丝针头容量为2.5 m L,针头外径为0.6 mm,长度为12 mm,注射泵流量设置为0.5?L/min,2台高压电源设置的电压均为1.01 k V。实验结果表明,未添加辅助电极时,纤维容易出现卷曲,而添加辅助电极后,纤维细直不卷曲。结论利用平行辅助电极将工作电场集中在所需范围内,使电场尽可能实现垂直地从喷丝针头到接收基板,能有效减小纺丝射流的鞭动现象给稳定沉积带来的不良影响,可实现聚合物溶液高分辨率的喷墨印刷,能够实现图案的精准化沉积。 展开更多
关键词 静电纺丝 近场直写 电场分析 COMSOL Multiphysics仿真 纤维薄膜打印数控系统
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直写打印制备TiO_2三维结构及其光催化性能 被引量:3
14
作者 李亚运 李勃 +1 位作者 李龙土 周济 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期81-84,共4页
配制了固相含量42%(质量分数)的水基二氧化钛陶瓷浆料,并用此浆料通过直写打印成型技术制备微米级的三维木堆结构。流变学测试结果显示,浆料具有典型的剪切变稀行为。烧结后样品成瓷效果好,各向收缩均匀,整体无变形、开裂。通过X射线衍... 配制了固相含量42%(质量分数)的水基二氧化钛陶瓷浆料,并用此浆料通过直写打印成型技术制备微米级的三维木堆结构。流变学测试结果显示,浆料具有典型的剪切变稀行为。烧结后样品成瓷效果好,各向收缩均匀,整体无变形、开裂。通过X射线衍射仪、扫描电镜等设备对最终成型样品进行物相分析、结构分析,发现二氧化钛纳米粉是由金红石相与锐钛矿相组成的混晶相,烧结之后成为金红石相,颗粒团聚形成致密的陶瓷。三维二氧化钛器件具有光催化作用,能够加速亚甲基兰溶液的分解。直写打印成型技术具有结构可设计性强,成型速度快,成型精度高等优点,为光催化材料和器件的设计和应用提供了新的思路。 展开更多
关键词 直写打印 二氧化钛 光催化
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声光调制器在激光直接写入系统中的应用 被引量:1
15
作者 刘玉玲 徐国斌 杨国光 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期53-56,共4页
介绍了声光调制器的光强调制原理及声光调制器在激光直接写入设备中实现光强稳定、连续可调的理论和设计 .该声光调制器采用钼酸铅晶体作为声光介质 ,并给出了具体的结构参数 .该系统曝光所能达到的最小线宽为 0 .6
关键词 声光调制器 激光直接写入 衍射光学
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校正激光直写邻近效应的快速方法 被引量:2
16
作者 杜惊雷 郭永康 +4 位作者 黄奇忠 粟敬钦 高福华 邱传凯 崔铮 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第6期51-54,共4页
针对激光直写中的邻近效应的特点,提出通过直写曝光数据预补偿进行光学邻近效应校正的快速、有效方法,并获得了满意的实验结果。
关键词 激光直写 邻近效应 激光光刻
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熔体电纺直写技术的成型工艺精度 被引量:2
17
作者 雷文龙 张莉彦 +3 位作者 李轶 杨卫民 李好义 陈明军 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期58-62,共5页
有序沉积是许多微纳米纤维实现应用的前提条件,为了研究电场下纤维单层沉积的误差以及双层沉积的精度,使用生物可降解材料聚己内酯(PCL),采用自主设计的微纳三维可控成型设备进行直写电纺实验,考察了接收距离、纺丝电压对重复路径可控... 有序沉积是许多微纳米纤维实现应用的前提条件,为了研究电场下纤维单层沉积的误差以及双层沉积的精度,使用生物可降解材料聚己内酯(PCL),采用自主设计的微纳三维可控成型设备进行直写电纺实验,考察了接收距离、纺丝电压对重复路径可控成型精度的影响,以及纤维间距对熔体电纺并行路径可控成型误差的影响。结果表明,随着纺丝距离的增大,纤维的可控性下降,重复路径的偏移距离增大,当接收距离为7mm时,偏移距离达到1.1mm;随着电压的增加,纤维在重复路径上的偏移距离增加,电压为30kV时,偏移距离为0.6mm;此外,随着并行纤维设定距离的增大,纤维的沉积误差起初快速减小,随后下降速度大幅降低,并最终趋于平稳。 展开更多
关键词 电纺直写 三维平台 聚己内酯 精准沉积 误差
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溶剂对微控直写含能油墨的性能影响 被引量:2
18
作者 韩瑞山 张蕊 +2 位作者 张方 张蕾 王燕兰 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期18-21,共4页
以CL-20作为含能油墨炸药主体,采用硝化纤维素作为粘结剂,分别以丙酮和乙酸丁酯为溶剂配制含能油墨,研究了不同溶剂对含能油墨性能的影响。所得的两种含能油墨均可流畅书写,成型后光滑、无裂纹。经SEM、XRD表征和DSC分析,乙酸丁酯为溶... 以CL-20作为含能油墨炸药主体,采用硝化纤维素作为粘结剂,分别以丙酮和乙酸丁酯为溶剂配制含能油墨,研究了不同溶剂对含能油墨性能的影响。所得的两种含能油墨均可流畅书写,成型后光滑、无裂纹。经SEM、XRD表征和DSC分析,乙酸丁酯为溶剂的含能油墨在致密程度、晶型稳定性及组分相容性等方面均优于溶剂为丙酮的含能油墨。对两种溶剂的含能油墨进行固化时间测定,丙酮为溶剂的含能油墨的固化时间约为45min,乙酸丁酯为溶剂的含能油墨的固化时间为180min。通过靶线法测得丙酮为溶剂的含能油墨的平均爆速为5 499m/s,乙酸丁酯为溶剂的含能油墨的平均爆速为8 971m/s。 展开更多
关键词 CL-20 直写技术 含能油墨 MEMS火工品
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激光直写光刻工艺技术研究 被引量:2
19
作者 邱传凯 杜春雷 侯德胜 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期37-41,46,共6页
研究了利用激光直写技术制作微细图形的工艺方法,应用ISI-2802型激光直写系统,通过实验,分析了激光曝光机理以及提高实用分辨力的途径。得到了激光直写系统参数与处理工艺参数之间的匹配关系,实验数据对研究制作各种掩模版... 研究了利用激光直写技术制作微细图形的工艺方法,应用ISI-2802型激光直写系统,通过实验,分析了激光曝光机理以及提高实用分辨力的途径。得到了激光直写系统参数与处理工艺参数之间的匹配关系,实验数据对研究制作各种掩模版、衍射光学元件以及ASIC电路都有应用价值。 展开更多
关键词 激光直写 光刻工艺 激光光刻机 图形制备 曝光
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基于直写技术的微纳掩模制作技术研究进展 被引量:1
20
作者 章城 文东辉 杨兴 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第7期1-4,9,共5页
微纳掩模制作是进行刻蚀、沉积和改性等微纳加工工艺之前的主要工艺,是微纳米加工过程中的关键步骤和基础。高质量、柔性、低成本、高效的掩模制作对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)、微米纳米技术、微/纳电子芯片、半导体器件等领域的科研和... 微纳掩模制作是进行刻蚀、沉积和改性等微纳加工工艺之前的主要工艺,是微纳米加工过程中的关键步骤和基础。高质量、柔性、低成本、高效的掩模制作对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)、微米纳米技术、微/纳电子芯片、半导体器件等领域的科研和生产都具有非常重要的意义。目前,直写技术是一种可以不依赖掩模板和印模的掩模图案制造技术,其制作工艺较为简单,具有较高的掩模制作精度和柔性度,已成为微纳掩模制作的重要发展方向。综述了国内外各种主要的基于直写技术的微纳掩模制作技术,并归纳了其技术特点,展望了其发展趋势。 展开更多
关键词 直写技术 掩模制作 微纳米技术 图形化
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