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PZT-NiTi铁电-铁弹多层膜的制备及表征 被引量:2
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作者 程晋荣 徐东 +1 位作者 金承钰 孟中岩 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1999年第4期255-261,共7页
用溶胶- 凝胶法制备了PZT压电薄膜,研制了Au/PZT/PT/TiO2/NiTi/Si(100) 多层膜结构,用XRD、AFM、TEM- EDX和SAD 技术考察了薄膜的表面形貌、相结构演化、以及剖面的元素分布特性。结... 用溶胶- 凝胶法制备了PZT压电薄膜,研制了Au/PZT/PT/TiO2/NiTi/Si(100) 多层膜结构,用XRD、AFM、TEM- EDX和SAD 技术考察了薄膜的表面形貌、相结构演化、以及剖面的元素分布特性。结果表明:PZT膜与NiTi 合金膜的结合良好、稳定;PT层的引入,使无定型PZT薄膜在550℃退火后,转变为钙钛矿结构,降低了晶化温度,并有效地抑制焦碌石相的形成;NiTi 薄膜结晶良好;TiO2 过渡层显著改善了PZT膜与NiTi 合金膜的结合性能;多层结构界面Ni 元素的扩散明显。介电、铁电性能测试结果表明PZT薄膜仍保持了较高的介电常数、低损耗、低漏电流密度,PZT- NiTi 结构呈现电滞回线。PZT与NiTi 的复合在工艺和性能上是可以兼容的。 展开更多
关键词 PZT-NiTi 多层膜 合成 微结构 介电 铁电性能
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电介质材料介电、铁电性能研究的计算机模拟新手段
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作者 刘英 曹晓珑 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2004年第4期31-37,共7页
通过构造双势垒模型以及蒙特卡洛方法的应用,成功地再现了材料的许多介电、铁电性能,这是目前国外研究电介质材料介电、铁电性能的一种有效的计算机模拟方法。将这种方法应用到具体的非晶相绝缘体中,以材料的实际结构来构造双势垒模型,... 通过构造双势垒模型以及蒙特卡洛方法的应用,成功地再现了材料的许多介电、铁电性能,这是目前国外研究电介质材料介电、铁电性能的一种有效的计算机模拟方法。将这种方法应用到具体的非晶相绝缘体中,以材料的实际结构来构造双势垒模型,得到的结果与实验相吻合。此外,该方法预期还能用以模拟界面、缺陷等等,并且极有可能发现某些目前通过试验还未被发现的现象,从而指导试验的方向。 展开更多
关键词 计算机模拟 双势垒模型 蒙特卡洛方法 电介质材料 Or电、铁电性能
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纳米结构铁电膜的制备和物性及微结构表征
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作者 朱信华 宋晔 +3 位作者 杭启明 朱健民 周顺华 刘治国 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期966-970,共5页
采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸25nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了纳米结构的BaTiO3铁电膜(膜厚25nm),并对其铁电和介电性能以及微结构进行了表征.结果表明,BaTiO3铁电纳米膜的介电常... 采用脉冲激光淀积法在硅基氧化铝纳米有序孔膜版介质上(膜版孔径平均尺寸25nm,内生长Pt纳米线作为底电极一部分)制备了纳米结构的BaTiO3铁电膜(膜厚25nm),并对其铁电和介电性能以及微结构进行了表征.结果表明,BaTiO3铁电纳米膜的介电常数随着测量频率的增加(103~106Hz)从196缓慢下降到190;介电损耗在低频区域(103~105Hz)从0.005缓慢增加到0.007,而在高频率区域(>105Hz)快速增加到0.013.薄膜的剩余极化强度约为5μC/cm2,矫顽场强约为680kV/cm.剖面(S)TEM像表明,BaTiO3铁电纳米膜与Pt纳米线(底电极)直接相连,它们之间的界面具有一定程度的弯曲.为兼顾氧化铝纳米有序孔膜版内的金属纳米线有序分布及BaTiO3纳米膜的结晶度,选择合适的退火温度是制备工艺中的关键因素. 展开更多
关键词 BATIO3 纳米结构铁电膜 介电和铁电性能 微结构
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