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基于数字微镜器件的共焦显微镜的设计与实验 被引量：7
1
作者 张运波 侯文玫 句爱松 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2108-2113,共6页
单点式共焦显微镜由于扫描速度低,光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替。现有的并行扫描方式同样存在一些缺点,限制了测量精度的进一步提高。本文研究了基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的多路并行共焦显微镜... 单点式共焦显微镜由于扫描速度低,光能利用率不高逐渐被多点并行的扫描方式代替。现有的并行扫描方式同样存在一些缺点,限制了测量精度的进一步提高。本文研究了基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的多路并行共焦显微镜。利用计算机程序控制DMD芯片上微镜的偏转状态,从而对光源进行调制,形成多路光束,其作用相当于可以控制的虚拟针孔阵列。设计了基于DMD的共焦检测光路,采用分光片的方法解决了由于分光棱镜内表面反射造成的重像干扰问题。对所搭建的光路进行了深度响应曲线测试实验,并且建立了基于DMD的共焦显微镜样机。样机的测量实验结果表明:基于DMD的共焦显微镜不仅具有较高的分辨率,并且具有扫描速度快、测量范围大的优点。 展开更多
关键词 共焦检测 数字微镜器件 并行扫描 重像干扰 分光片
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采用数字微镜的共焦显微镜的研制 被引量：4
2
作者 张运波 侯文玫 +1 位作者 郑继红 官志超 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期65-70,共6页
研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式。采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分... 研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式。采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分辨率的前提下,大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性,能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题。设计了DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验,取得了系统的深度响应曲线,并且成功还原了被测物表面的微结构。 展开更多
关键词 共焦检测 数字微镜器件 虚拟针孔阵列 并行扫描
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差动共焦显微边缘轮廓检测与定位方法 被引量：5
3
作者 刘大礼 王允 +1 位作者 邱丽荣 赵维谦 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期181-187,共7页
为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓,提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法,并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性,该方法可以实时得到样品二值... 为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓,提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法,并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性,该方法可以实时得到样品二值化边缘轮廓图像,极大地提高了边缘轮廓检测效率。理论分析和仿真表明,该方法边缘定位准确,不受边缘形状、方向和样品有效反射率的影响,可以有效抑制噪声和干扰。5μm周期台阶标准样品周期测量对比实验表明,该方法所得边缘轮廓能够实现高精度的横向尺寸测量,因此能够用于微结构的快速工业边缘轮廓成像检测。 展开更多
关键词 测量 边缘检测与定位 差动共焦显微术 过零触发 微结构检测
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基于波导结构的集成式太赫兹共焦成像系统 被引量：4
4
作者 高翔 刘晓庆 +2 位作者 戴子杰 李帅 刘伟伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第S2期104-108,共5页
太赫兹成像技术广泛应用于无损检测、生物医学、国防安全等领域。介绍了一种基于波导结构的太赫兹共焦成像系统。首先,搭建了一套集成的连续太赫兹波反射式成像系统,用金属刀片验证成像效果,结果表明该系统能实现接近波长量级(3 mm)的... 太赫兹成像技术广泛应用于无损检测、生物医学、国防安全等领域。介绍了一种基于波导结构的太赫兹共焦成像系统。首先,搭建了一套集成的连续太赫兹波反射式成像系统,用金属刀片验证成像效果,结果表明该系统能实现接近波长量级(3 mm)的空间分辨率;其次,对混凝土进行太赫兹成像,能够清晰地呈现出混凝土中的钢筋结构。在此基础上,通过在太赫兹探测器端引入金属针孔,构建太赫兹共焦成像系统,并将其用于泡沫中两根钢钉的空间分布检测,实现了样品的三维信息提取,准确测得两钢钉的空间距离(24 mm)。结果表明:文中提出的基于波导结构的太赫兹共焦成像系统具有结构紧凑,便携集成等优势,特别适合于实际工程化应用。 展开更多
关键词 太赫兹 太赫兹共焦成像 无损检测
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共聚焦显微内镜检查术的护理研究
5
作者 孙璟怡 吴巍 +5 位作者 马文芳 蒋慧 陆玮 徐贝黎 孙琦 吴云林 《护理研究（下旬版）》 2010年第10期2740-2741,共2页
[目的]为使病人顺利完成共聚焦显微内镜的检查,保障安全性、有效性,减少荧光素钠对比剂的不良反应及检查后的不良反应而提供有效的护理措施。[方法]对我院143例共聚焦显微内镜检查病人进行护理,分析各项处理对术后并发症的影响。[结果]... [目的]为使病人顺利完成共聚焦显微内镜的检查,保障安全性、有效性,减少荧光素钠对比剂的不良反应及检查后的不良反应而提供有效的护理措施。[方法]对我院143例共聚焦显微内镜检查病人进行护理,分析各项处理对术后并发症的影响。[结果]143例病人全部完成共聚焦显微内镜检查,病人术前血压与术后血压比较,差异有统计学意义(P<0.01)。病人原有过敏史及检查前空腹时间的长短对产生药物不良反应有一定影响,差异有统计学意义(P<0.01),检查后不良反应发生率为21.7%。[结论]术前采取适当的禁食时间,加强解释及做好预见性护理工作,术中给予正确、有效的操作配合及严密的病情观察,是完成共聚焦显微内镜检查的有效保证,也是减少检查并发症的护理关键。 展开更多
关键词 共聚焦显微内镜 检查 护理
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