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氟化钙(CaF_2)晶体研发进展 被引量：18
1
作者 董永军 周国清 +2 位作者 杨卫桥 苏良壁 徐军 《激光与光电子学进展》 CSCD 2003年第8期43-47,共5页
简述了氟化钙(CaF_2)晶体的发展历史,总结其光学特性,介绍了氟化钙晶体的生长新工艺技术和发展。综述了氟化钙晶体在现代信息技术中的应用,特别对氟化钙晶体在紫外波段激光或光刻系统中的应用和发展状况作了重点说明,同时进一步指出了... 简述了氟化钙(CaF_2)晶体的发展历史,总结其光学特性,介绍了氟化钙晶体的生长新工艺技术和发展。综述了氟化钙晶体在现代信息技术中的应用,特别对氟化钙晶体在紫外波段激光或光刻系统中的应用和发展状况作了重点说明,同时进一步指出了目前存在的问题,最后对氟化钙晶体的发展前景作了展望。 展开更多
关键词 氟化钙晶体 CAF2 晶体生长 紫外光刻 光学特性 信息技术
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温梯法生长CaF_2晶体中包裹物的研究 被引量：3
2
作者 董永军 周国清 +2 位作者 苏良碧 杨卫桥 徐军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期31-34,共4页
本文对温度梯度法生长的氟化钙(CaF2)晶体中的包裹物进行了研究,用光学显微镜和SEM观察了包裹物的形貌,对晶体中的包裹物和透明部分作了微区EDX成分分析,对包裹物所含的杂质进行了解释,提出了减小或消除包裹物的措施。分析结果表明:包... 本文对温度梯度法生长的氟化钙(CaF2)晶体中的包裹物进行了研究,用光学显微镜和SEM观察了包裹物的形貌,对晶体中的包裹物和透明部分作了微区EDX成分分析,对包裹物所含的杂质进行了解释,提出了减小或消除包裹物的措施。分析结果表明:包裹物的主要成分是碳和氧,碳来源于石墨坩埚和石墨发热体,而杂质氧则来源于原料中的含氧化合物和生长过程气氛中氧的进入。 展开更多
关键词 CaF2晶体 包裹物 温度梯度法 氟化钙 光学显微镜 SEM观察 微区EDX成分分析
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温度梯度法生长氟化钙晶体 被引量：3
3
作者 董永军 周国清 +2 位作者 苏良碧 杨卫桥 徐军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期601-604,共4页
用温度梯度法成功生长了直径75mm、完整、透明的氟化钙晶体,对晶体进行了TG-DTA测试分析,确定了其熔点为1413.5℃,并测试了晶体从190nm的紫外波段到40000nm的红外波段的透过率,发现从中紫外波段到红外波段氟化钙晶体的透过率已经能满足... 用温度梯度法成功生长了直径75mm、完整、透明的氟化钙晶体,对晶体进行了TG-DTA测试分析,确定了其熔点为1413.5℃,并测试了晶体从190nm的紫外波段到40000nm的红外波段的透过率,发现从中紫外波段到红外波段氟化钙晶体的透过率已经能满足各种应用的要求,但在远紫外波段和真空紫外波段(246nm以下)氟化钙晶体的透过率需要进一步提高。 展开更多
关键词 氟化钙晶体 温度梯度法 晶体生长 透过率
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