用ZEMAX模拟五棱镜误差对平行度检测的影响 被引量：16

1

作者 闫亚东 何俊华 +1 位作者 仓玉萍 陈良益 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第5期649-653,共5页

介绍了用五棱镜法检测大口径光束平行度的原理。分析了五棱镜加工的角度误差及面形误差对检测结果的影响,得出了五棱镜角度误差不影响检测结果,2个折射面的面形误差对检测结果的影响较小,2个反射面的面形误差对检测结果影响最大的结论... 介绍了用五棱镜法检测大口径光束平行度的原理。分析了五棱镜加工的角度误差及面形误差对检测结果的影响,得出了五棱镜角度误差不影响检测结果,2个折射面的面形误差对检测结果的影响较小,2个反射面的面形误差对检测结果影响最大的结论。介绍了选择五棱镜的方法和减小面形误差影响的方法。最后,给出了用五棱镜法检测单星模拟器出射光束平行度的应用实例。 展开更多

关键词 五棱镜法 平行度检测 zemax模拟 角度误差 面形误差

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可调微流控光学变焦透镜 被引量：15

2

作者 吴雯婷 梁忠诚 仉乐 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期718-723,共6页

设计了一种可调微流控光学变焦透镜,采用液压控制,主要结构包括微流道和微流体腔,由聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料结合软光刻工艺制成。利用COMSOL仿真软件展示了不同液压下微流体腔变形形成的双凸透镜和双凹透镜。利用ZEMAX进行光学仿真,... 设计了一种可调微流控光学变焦透镜,采用液压控制,主要结构包括微流道和微流体腔,由聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料结合软光刻工艺制成。利用COMSOL仿真软件展示了不同液压下微流体腔变形形成的双凸透镜和双凹透镜。利用ZEMAX进行光学仿真,得到各种透镜的焦距及光路图。提出了一种校正双凸透镜球差的方法。 展开更多

关键词 变焦透镜 微流控光学 仿真 COMSOL zemax

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基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法 被引量：12

3

作者 陈洪芳 汤亮 +2 位作者 石照耀 宋辉旭 孙衍强 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期232-239,共8页

提出了一种基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的ZEMAX仿真分析方法。利用光学器件对偏振光的变换特性来建立系统的能量模型,建立了基于ZEMAX软件的光学系统模型,分析了光学系统中非理想的光学元件性能对干涉条纹对比度的影... 提出了一种基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的ZEMAX仿真分析方法。利用光学器件对偏振光的变换特性来建立系统的能量模型,建立了基于ZEMAX软件的光学系统模型,分析了光学系统中非理想的光学元件性能对干涉条纹对比度的影响。仿真分析结果表明,当光学系统分光部分、追踪部分和接收部分的分光镜的分光比分别为2…8、6…4和5…5时,条纹对比度达到0.99,光学系统的干涉效果最好。光学系统中的偏振分光镜在非理想条件下,对干涉信号的条纹对比度的影响较小。 展开更多

关键词 测量 空气折射率补偿 激光追踪仪 zemax仿真 能量分析 高精度测量

原文传递

高速线扫描OCT的可行性与光学成像特性的研究 被引量：6

4

作者 李刚 任钊 +2 位作者 林凌 吴开杰 郑羽 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期89-93,共5页

光学相干层析成像(OCT)是一种迅速发展的非侵入式、高分辨率医学层析成像技术。由于传统时域点扫描方式的OCT系统的成像速度慢,难以用于活体的实时成像。介绍了基于线扫描方式的时域OCT系统,这种扫描方式可以无需横向扫描直接得到二维... 光学相干层析成像(OCT)是一种迅速发展的非侵入式、高分辨率医学层析成像技术。由于传统时域点扫描方式的OCT系统的成像速度慢,难以用于活体的实时成像。介绍了基于线扫描方式的时域OCT系统,这种扫描方式可以无需横向扫描直接得到二维层析图像。为验证基于线扫描方式的时域OCT系统的可行性及得到其设计基本参数,借助Zemax光学设计软件模拟该系统的干涉效果,分析线扫描时域OCT的成像特性。研究表明,这种线扫描OCT在3mm的横向扫描宽度时,可以比传统点扫描方式快二百余倍。 展开更多

关键词 光学相干层析成像 线扫描 柱面镜 zemax模拟

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基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析 被引量：8

5

作者 陈洪芳 汤亮 +2 位作者 孙衍强 石照耀 赵晓飞 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期177-184,共8页

为满足精密测量领域精度高、可靠性强、实时性好的测量要求,提出一种基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法。根据激光追踪测量光学系统原理,建立激光追踪测量光学系统能量模型,利用Zemax仿真分析非理想光学元件对光学系统... 为满足精密测量领域精度高、可靠性强、实时性好的测量要求,提出一种基于Zemax仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法。根据激光追踪测量光学系统原理,建立激光追踪测量光学系统能量模型,利用Zemax仿真分析非理想光学元件对光学系统能量的影响。仿真结果表明,干涉分光镜的分光比为5…5且追踪分光镜的分光比为7…3时,四路干涉信号能量接近,条纹对比度达到0.89,干涉效果最好。偏振分光镜反射率在非理想条件下,四路干涉信号的条纹对比度会下降。偏振分光镜透射率在非理想条件下不影响四路干涉信号的条纹对比度。该研究对激光追踪测量系统的精度提升、可靠性评估、光学系统设计和光学元件选择具有指导意义。 展开更多

关键词 测量 激光追踪测量 zemax仿真 能量分析 高精度测量

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凝视型红外成像系统中冷像的仿真分析 被引量：7

6

作者 刘志祥 马冬梅 +1 位作者 胡明鹏 马磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期702-705,共4页

在凝视型红外成像系统中,虽然焦平面阵列的非均匀性校正可以消除冷像的影响,但是校正后工作条件发生改变时,冷像变化的影响会显现出来,因此,在设计凝视型红外成像系统时冷像的分析显得很重要。通过分析红外光学系统中冷像形成的原因,根... 在凝视型红外成像系统中,虽然焦平面阵列的非均匀性校正可以消除冷像的影响,但是校正后工作条件发生改变时,冷像变化的影响会显现出来,因此,在设计凝视型红外成像系统时冷像的分析显得很重要。通过分析红外光学系统中冷像形成的原因,根据辐射学原理分析各表面的冷像贡献,并建立了冷像等效温差(NITD)的数学模型。以该数学模型和动态数据交换接口(DDE)技术为基础,运用光学软件ZEMAX及仿真软件MATLAB进行联合仿真,实现了凝视型红外成像光学系统的冷像等效温差的计算和分析,并给出了焦平面阵列上冷像的效果图。实现了在凝视型红外成像系统光学设计过程中对冷像的评估。 展开更多

关键词 凝视型红外成像系统 冷像等效温差 zemax MATLAB仿真

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基于ZEMAX的激光光束整形技术试验研究 被引量：7

7

作者 叶锦函 郝晓剑 周汉昌 《工程与试验》 2010年第3期46-48,共3页

由于半导体激光器的发散角较大且输出的光束光斑是椭圆形,因此需要对其输出的光束进行空间整形,形成一个近似圆形的激光光斑。激光扩束镜就是一种比较简单且非常方便的激光光束整形器件,本文将激光扩束镜作为一个激光整形系统与半导体... 由于半导体激光器的发散角较大且输出的光束光斑是椭圆形,因此需要对其输出的光束进行空间整形,形成一个近似圆形的激光光斑。激光扩束镜就是一种比较简单且非常方便的激光光束整形器件,本文将激光扩束镜作为一个激光整形系统与半导体激光器耦合,形成一个完整的激光光束整形系统。利用ZEMAX光学仿真,并进行室外试验验证,最后对试验结果进行了分析。 展开更多

关键词 zemax 仿真 光束整形 扩束镜

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低畸变机器视觉镜头的仿真设计

8

作者 姜禹豪 杨亮亮 +1 位作者 陈慧妍 叶雨荫 《大学物理实验》 2024年第3期90-93,共4页

为了实现电子芯片等小尺寸零部件的定位识别和精密检测,利用Zemax软件设计了两种可以用于机器视觉的低畸变光学镜头。系统焦距为28.5 mm,物方视场为10 mm。通过仿真优化设计得到由六片透镜组成的全球面折射式镜头,总长为90 mm,在空间频... 为了实现电子芯片等小尺寸零部件的定位识别和精密检测,利用Zemax软件设计了两种可以用于机器视觉的低畸变光学镜头。系统焦距为28.5 mm,物方视场为10 mm。通过仿真优化设计得到由六片透镜组成的全球面折射式镜头,总长为90 mm,在空间频率100 lps/mm处,所有视场的MTF都高于0.5,最大畸变为-0.078%。在此基础上,进一步优化设计得到折衍射混合镜头,共有四片透镜,总长为75 mm,相同空间频率处MTF高于0.55,最大畸变为0.071%。考虑衍射面的衍射效率对系统MTF的影响,混合系统的MTF仍然高于0.52。通过仿真设计,既可以让学生了解机器视觉镜头的设计特点,还可以锻炼学生的创新能力。 展开更多

关键词 仿真实验 机器视觉 畸变 zemax软件

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基于双激光视觉成像与BP算法的微小位移测量

9

作者 李世雯 路恩会 +1 位作者 郭耀村 朱兴龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期542-549,共8页

针对现有单激光视觉微位移测量方法中利用的图像特征信息不丰富,导致测量结果不精确的问题,本文提出了一种直射与斜射结合的双激光微小位移测量方法,配合BP(Back Propagation)神经网络实现位移的高精度测量。论文采用透镜成像和小孔成... 针对现有单激光视觉微位移测量方法中利用的图像特征信息不丰富,导致测量结果不精确的问题,本文提出了一种直射与斜射结合的双激光微小位移测量方法,配合BP(Back Propagation)神经网络实现位移的高精度测量。论文采用透镜成像和小孔成像的原理对双激光模型进行理论分析,使用ZEMAX对测距模型进行数值模拟,以验证所提方法的理论可行性与优越性;其次,根据数值模拟结果设计并搭建实验平台进行图像采集实验,提取一系列图像特征作为BP网络的输入,以位移参数为输出,构建位移预测模型。实验结果表明,相比单激光模型,本文提出的双激光位移模型有更高的测量精度,引入BP神经网络后,测量准确度达到99以上。本文为微小位移高精度测量提供了新方法与新思路。 展开更多

关键词 双激光测距 位移测量 zemax仿真 BP神经网络

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基于ZEMAX的柚果内部品质光谱无损检测光路仿真与试验

10

作者 陈鑫 徐赛 +1 位作者 陆华忠 梁鑫 《华南农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期618-623,共6页

[目的]解决柚果Citrus maxima在无损检测中采集的光谱信息较弱、柚果内部品质检测不准确的问题。[方法]采用ZEMAX软件对光谱无损检测光路进行光学仿真,并搭建实物装置进行测试与验证。为进一步验证该光路对柚果内部品质的无损检测效果,... [目的]解决柚果Citrus maxima在无损检测中采集的光谱信息较弱、柚果内部品质检测不准确的问题。[方法]采用ZEMAX软件对光谱无损检测光路进行光学仿真,并搭建实物装置进行测试与验证。为进一步验证该光路对柚果内部品质的无损检测效果,采集400~1 100 nm波段132个柚果光谱数据,理化测定其可溶性固形物含量并进行训练建模和测试验证。[结果]最优光路参数为:灯珠数量为7、柚果与光源间距为2 cm,探测器与柚果间距为0.5 cm。通过Savitzky-Golay (SG)平滑和标准正态变换(Standard normal variate,SNV)预处理,竞争自适应重加权采样(Competitive adaptive reweighted sampling,CARS)特征选择,建立柚果糖度偏最小二乘回归(Partial least squares regression,PLSR)预测模型,训练集R2和RMSE分别为0.81和0.85,测试集R2和RMSE分别为0.81和0.89。[结论]本研究得到的柚果光谱无损检测光路参数可用于柚果内部品质的无损检测,检测效果较好,也为其他大尺寸水果内部无损检测提供了参考。 展开更多

关键词 柚果 zemax 光路优化 光学仿真 无损检测 建模识别

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叶尖粗糙度与倾角对光纤传感器输出特性影响 被引量：5

11

作者 吴冰 张小栋 谢思莹 《航空发动机》 2017年第2期75-80,共6页

航空发动机涡轮叶片叶尖间隙变化影响发动机效率也蕴含丰富的发动机健康状态信息。实际叶尖间隙变化表现为3维变化,且叶尖表面受高温气流剥蚀等影响表面粗糙度发生变化。为探究其对光纤传感器测量叶尖间隙精度的影响,利用ZEMAX光学仿真... 航空发动机涡轮叶片叶尖间隙变化影响发动机效率也蕴含丰富的发动机健康状态信息。实际叶尖间隙变化表现为3维变化,且叶尖表面受高温气流剥蚀等影响表面粗糙度发生变化。为探究其对光纤传感器测量叶尖间隙精度的影响,利用ZEMAX光学仿真软件分析了双圈同轴式光纤传感器在叶尖表面粗糙度变化和倾角变化影响下的输出特性,并搭建3维叶尖间隙静态标定平台对上述影响进行试验。结果表明:粗糙度和倾角增大均导致传感器灵敏度降低、零点位置后移。该结果为实现叶尖间隙变化的3维精确测量提供理论和试验依据。 展开更多

关键词 叶尖间隙测量 zemax仿真 表面倾角 漫反射 光纤传感器 涡轮 航空发动机

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基于Zemax软件的仿真实验--微光夜视物镜的设计 被引量：1

12

作者 陈妍妮 杨亮亮 +1 位作者 江亦心 刘好 《大学物理实验》 2023年第4期69-71,129,共4页

利用Zemax软件进行了微光夜视物镜的仿真实验。介绍了微光夜视物镜的轻量化设计需求,给出了设计方案。基于双高斯型物镜结构,利用Zemax软件优化设计得到了全球面物镜和折衍射混合物镜两种结构。通过对比分析两个物镜系统的总长、重量、... 利用Zemax软件进行了微光夜视物镜的仿真实验。介绍了微光夜视物镜的轻量化设计需求,给出了设计方案。基于双高斯型物镜结构,利用Zemax软件优化设计得到了全球面物镜和折衍射混合物镜两种结构。通过对比分析两个物镜系统的总长、重量、成像质量等参数,结果显示两种结构的物镜都可以工作在对轻化程度要求较高的场合。通过基于Zemax软件的物镜系统仿真设计,可以使学生深刻地理解几何光学和光的衍射等相关理论知识。 展开更多

关键词 仿真实验 物镜 衍射面 zemax软件

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光电互联电路中激光器与光纤间接耦合仿真分析 被引量：4

13

作者 毛久兵 杨伟 +4 位作者 冯晓娟 吴圣陶 杨平 刘恒 杨剑 《电子机械工程》 2019年第1期50-54,共5页

随着大数据、云计算、5G通信等新兴产业的蓬勃发展,数据中心的信息量成指数增长。光电互联电路可实现数据中心服务器内部板间、组件之间、芯片之间的高速、高带宽、高密度、低功耗、低损耗的信息传输,可有效解决高速电互联技术的传输瓶... 随着大数据、云计算、5G通信等新兴产业的蓬勃发展,数据中心的信息量成指数增长。光电互联电路可实现数据中心服务器内部板间、组件之间、芯片之间的高速、高带宽、高密度、低功耗、低损耗的信息传输,可有效解决高速电互联技术的传输瓶颈。采用光纤作为传输介质可有效降低光电互联电路的制作成本,激光器与光纤的耦合对准技术则是实现光电互联电路的关键技术之一。文中利用ZEMAX光学软件建立了激光器与光纤间接耦合模型,仿真分析了激光器纵向偏移误差、横向偏移误差、角度偏移误差和45°耦合机构倾斜角角度加工误差对耦合效率的影响。仿真结果可为光电互联电路的设计与制造提供指导。 展开更多

关键词 大数据 云计算 光电互联电路 45°耦合机构 间接耦合 zemax仿真 垂直腔面发射激光器

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ZEMAX模拟中子相衬成像研究 被引量：4

14

作者 吴洋 唐彬 +1 位作者 霍合勇 代君龙 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期290-293,共4页

相衬成像是中子成像领域内的前沿技术,它的成像机理基于中子束的波动性。进行中子相衬成像研究,有必要对这一过程进行仿真计算,但目前尚无模拟中子波动行为的程序出现,本文探讨了利用光学仿真软件ZEMAX对热中子相衬成像过程进行模拟的... 相衬成像是中子成像领域内的前沿技术,它的成像机理基于中子束的波动性。进行中子相衬成像研究,有必要对这一过程进行仿真计算,但目前尚无模拟中子波动行为的程序出现,本文探讨了利用光学仿真软件ZEMAX对热中子相衬成像过程进行模拟的可行性,介绍了具体的模拟过程和结果,研究了不同的物源距离、物屏距离、点中子源尺寸以及样品尺寸对最终成像结果的影响。仿真结果和理论较为接近,这表明使用该软件模拟中子相衬成像是具有一定的可行性的。 展开更多

关键词 相衬 中子照相 zemax 模拟

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基于Zemax仿真的红外光场成像技术

15

作者 朱斐越 李艳红 杨扬 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期945-953,共9页

光场成像作为计算摄影学的研究方向之一,可以通过单次拍摄得到目标的四维全光信息,包括空间两维以及角度两维信息,由此可以通过多视角立体匹配原理实现三维成像。目前光场成像集中应用于可见光领域,用于其他光学成像波段的情况较为少见... 光场成像作为计算摄影学的研究方向之一,可以通过单次拍摄得到目标的四维全光信息,包括空间两维以及角度两维信息,由此可以通过多视角立体匹配原理实现三维成像。目前光场成像集中应用于可见光领域,用于其他光学成像波段的情况较为少见。本文提出基于Zemax仿真的红外光场成像技术,将光场成像系统与长波红外成像系统相结合,从光场成像原理以及长波红外成像特性出发,对长波红外光场成像系统结构设计进行了深入研究,同时为了提升三维成像的效果,分析了红外光场成像系统光学参数对深度分辨率的影响,得出深度分辨率主要由微透镜成像关系、微透镜工作F数、主透镜焦距、物距以及探测器像素尺寸确定。针对长波红外探测器像素数较少的情况选择了聚焦型光场成像系统,根据设计结果,使用Zemax仿真验证了长波红外系统与光场成像系统相结合的可行性以及理论设计的正确性。 展开更多

关键词 聚焦型光场相机 长波红外成像系统 深度分辨率 zemax仿真

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915 nm半导体激光器的光纤耦合优化研究 被引量：3

16

作者 岳鹏远 高欣 《工业技术与职业教育》 2022年第5期15-18,共4页

为了提高半导体激光器光纤耦合系统精度,基于半导体激光器光纤耦合装置对波长为915 nm的激光进行耦合成为研究对象,对快慢轴准直部分进行了优化改进,将三支半导体激光器经耦合装置耦合进105μm(NA为0.22)多模光纤中,相较于主流的耦合装... 为了提高半导体激光器光纤耦合系统精度,基于半导体激光器光纤耦合装置对波长为915 nm的激光进行耦合成为研究对象,对快慢轴准直部分进行了优化改进,将三支半导体激光器经耦合装置耦合进105μm(NA为0.22)多模光纤中,相较于主流的耦合装置,功率有所提高,可获得功率为2.59 W,亮度为11.2 MW/(cm^(2)·str),实现了耦合效率为86.3%。 展开更多

关键词 915nm半导体激光器 快慢轴准直 光纤耦合 zemax仿真 合束技术

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基于虚拟仿真的“现代工程光学”教学内容的探索

17

作者 孔梅梅 《物理与工程》 2023年第5期81-86,118,共7页

为培养光电领域的专业学位硕士研究生能够掌握扎实的专业基本理论,并具有一定的工程实践能力以及有关光电系统的设计能力,笔者基于理论与实践相结合的理念,在“现代工程光学”课程的教学内容设计方面作了一定的探索。在本课程中通过引... 为培养光电领域的专业学位硕士研究生能够掌握扎实的专业基本理论,并具有一定的工程实践能力以及有关光电系统的设计能力,笔者基于理论与实践相结合的理念,在“现代工程光学”课程的教学内容设计方面作了一定的探索。在本课程中通过引入虚拟软件Zemax的仿真,结合当代科技发展的最新动态分析,可以在理论教学中更直观形象地使学生掌握好相关的基础知识,在上机实践教学中更直接地锻炼学生的设计能力和综合素质,对培养研究生满足新时代科技发展的人才要求具有一定的教学参考价值。 展开更多

关键词 虚拟仿真 教学内容设计 实践教学 zemax软件

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基于Zemax的钢轨轮廓测量系统仿真模型研究 被引量：4

18

作者 王乐 方玥 +5 位作者 王胜春 王昊 黎国清 任盛伟 戴鹏 谭峭峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期91-103,共13页

近年来,线结构光轮廓测量技术已成为钢轨廓形检测的重要手段。为了满足钢轨轮廓高精度的测量要求,提出了基于Zemax软件的线结构光钢轨轮廓测量系统仿真模型。将线结构光钢轨轮廓测量系统分解为图像采集模块、系统标定模块和轮廓测量模块... 近年来,线结构光轮廓测量技术已成为钢轨廓形检测的重要手段。为了满足钢轨轮廓高精度的测量要求,提出了基于Zemax软件的线结构光钢轨轮廓测量系统仿真模型。将线结构光钢轨轮廓测量系统分解为图像采集模块、系统标定模块和轮廓测量模块,在Zemax非序列模式下依次对三个模块进行建模,得到钢轨轮廓测量系统仿真模型。对比实验表明,系统仿真模型与实际系统的测量结果较为接近,模拟测量结果符合实际情况,仿真模型能够实现对钢轨轮廓测量过程的准确模拟。该仿真模型为线结构光钢轨轮廓测量相关问题研究提供了一种新的分析方法,对光学系统设计、光学元件选型和测量精度提升具有指导意义。 展开更多

关键词 测量 线结构光 zemax 钢轨轮廓 仿真模型

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基于ZEMAX二氧化硫荧光采集光路的设计仿真 被引量：3

19

作者 刘杰辉 李鑫 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期221-225,共5页

为了实现二氧化硫分析仪精确连续地检测空气中低含量SO 2,针对传统二氧化硫检测仪在荧光汇聚时存在光线汇聚效果弱、像差大且由于透镜的焦距长增大了荧光采集光路长度等问题,在传统仪器的基础上对荧光采集光路重新进行了设计优化。采用... 为了实现二氧化硫分析仪精确连续地检测空气中低含量SO 2,针对传统二氧化硫检测仪在荧光汇聚时存在光线汇聚效果弱、像差大且由于透镜的焦距长增大了荧光采集光路长度等问题,在传统仪器的基础上对荧光采集光路重新进行了设计优化。采用分解光焦度的方法改善系统的球差问题,进行了理论分析和实验验证。改进后对其进行ZEMAX仿真并运用正交法对新光路进行修正。通过仿真两种光路的非序列结构阴影模型图、探测查看器的光照图以及点列图,取得了光强以及光斑直径的实验数据。结果表明,优化后的光路系统峰辐强度达到了219.41W/cm 2,弥散斑直径减少了17%。该方案能够有效解决传统光路中的不足之处,成像质量效果更佳。 展开更多

关键词 大气光学 zemax仿真 荧光光路 成像质量 正交法

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充液型可调双焦微透镜的设计与仿真 被引量：3

20

作者 王春水 张斌珍 +2 位作者 龚珊 杨潞霞 毛静 《电子器件》 CAS 北大核心 2013年第5期608-611,共4页

可调双焦微透镜由底部的含有内外薄膜的PDMS主体结构和包含出入液口的PDMS盖片组成。微透镜可以通过紫外光刻、软光刻工艺制得。使用ANSYS仿真得到PDMS内外薄膜在不同压强下的变形图,然后利用ZEMAX仿真得到透镜的内外焦距、焦距差和光... 可调双焦微透镜由底部的含有内外薄膜的PDMS主体结构和包含出入液口的PDMS盖片组成。微透镜可以通过紫外光刻、软光刻工艺制得。使用ANSYS仿真得到PDMS内外薄膜在不同压强下的变形图,然后利用ZEMAX仿真得到透镜的内外焦距、焦距差和光线追迹图、成像图。上述设计与仿真将为可调双焦微透镜的实际应用提供理论依据。由于微透镜的主光轴平行于基底,便于与其他光学器件集成,可广泛应用于微流检测、光镊等领域。 展开更多

关键词 微透镜 可调双焦 仿真 zemax

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