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Al含量对TiAlN涂层热稳定性能的影响 被引量:20
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作者 张雨萌 朱丽慧 +1 位作者 倪旺阳 刘一雄 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期2696-2701,共6页
采用阴极电弧蒸镀在WC-Co硬质合金基体上沉积Ti1-xAlxN涂层(x=0.5、0.55和0.6),并对涂层试样在900℃下真空退火0.5-4 h。采用X线衍射仪(XRD)和显微维氏硬度计分析比较退火前后TiAlN涂层物相及硬度,研究Al含量对涂层结构、硬度和热... 采用阴极电弧蒸镀在WC-Co硬质合金基体上沉积Ti1-xAlxN涂层(x=0.5、0.55和0.6),并对涂层试样在900℃下真空退火0.5-4 h。采用X线衍射仪(XRD)和显微维氏硬度计分析比较退火前后TiAlN涂层物相及硬度,研究Al含量对涂层结构、硬度和热稳定性能的影响。研究结果表明:Ti0.5Al0.5N和Ti0.45Al0.55N为单相面心立方结构,Ti0.4Al0.6N为面心立方(fcc)TiAlN和密排六方(hcp)AlN双相结构。涂层退火时发生分解,先析出介稳相fcc-AlN,再转变为稳定相hcp-AlN和fcc-TiN,硬度逐渐下降。Ti0.45Al0.55N涂层高温下能保持较长时间的稳定,退火后仍具有最高的硬度,表现出优异的热稳定性;而Ti0.4Al0.6N涂层中因存在hcp-AlN硬度略低,分解最早,热稳定性最差。当x=0.55时为最佳涂层成分。 展开更多
关键词 tialn涂层 阴极电弧蒸镀 热稳定性 相结构 硬度
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基体偏压对TiAlN涂层性能的影响 被引量:17
2
作者 张皓扬 周兰英 田建朝 《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第6期15-16,45,共3页
基体偏压是多弧离子镀沉积TiA lN涂层工艺中的一个重要参数,它对涂层的结构以及涂层生长速度有重要影响。通过改变沉积过程中的基体偏压,发现TiA lN涂层表面熔滴的密度和直径随基体负偏压的增加而减小,涂层的显微硬度随着基体负偏压的... 基体偏压是多弧离子镀沉积TiA lN涂层工艺中的一个重要参数,它对涂层的结构以及涂层生长速度有重要影响。通过改变沉积过程中的基体偏压,发现TiA lN涂层表面熔滴的密度和直径随基体负偏压的增加而减小,涂层的显微硬度随着基体负偏压的增加而增加,孔隙率随着基体负偏压的升高而降低。 展开更多
关键词 基体偏压 多弧离子镀 tialn涂层
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Al含量对电弧离子镀共沉积Ti_(1-x)Al_xN涂层性能的影响 被引量:15
3
作者 王海东 童洪辉 +2 位作者 沈丽如 金凡亚 徐桂东 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2006年第8期4-6,共3页
利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、磨损实验仪等,研究了不同铝含量的Ti1-xAlxN涂层性能。结果表明:当铝含量约为52%时,经涂层处理试样的显微硬度、摩擦磨损性能都得到了很大的提高,能达到使用钛铝合金靶离子镀Ti1-xAlxN... 利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、磨损实验仪等,研究了不同铝含量的Ti1-xAlxN涂层性能。结果表明:当铝含量约为52%时,经涂层处理试样的显微硬度、摩擦磨损性能都得到了很大的提高,能达到使用钛铝合金靶离子镀Ti1-xAlxN涂层的相应性能,而从经济性来说,利用独立钛、铝靶比钛铝合金靶制备Ti1-xAlxN涂层的成本要低得多,从而具有降低生产成本,提高生产效益的优势。 展开更多
关键词 电弧离子镀 高速钢 tialn涂层
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脉冲偏压占空比对电弧离子镀TiAlN涂层的影响 被引量:9
4
作者 付志强 苗志玲 +4 位作者 岳文 王成彪 康嘉杰 朱丽娜 彭志坚 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期3482-3486,共5页
通过优化电弧离子镀工艺参数改善TiAlN涂层结构及性能对TiAlN涂层应用具有重要的实用价值。本研究利用脉冲偏压电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了偏压占空比对TiAlN涂层结构及性能的影响,结果发现:随着占空比增加,涂层表面缺陷密度和表... 通过优化电弧离子镀工艺参数改善TiAlN涂层结构及性能对TiAlN涂层应用具有重要的实用价值。本研究利用脉冲偏压电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了偏压占空比对TiAlN涂层结构及性能的影响,结果发现:随着占空比增加,涂层表面缺陷密度和表面粗糙度先降低后增大,占空比为70%时,制备的涂层表面缺陷密度和表面粗糙度最低。随着占空比增加,涂层的硬度和耐磨性得到明显改善,但占空比超过50%后继续增加占空比反而降低了涂层的硬度和耐磨性。TiAlN涂层与Si_3N_4球对磨时的主要磨损机制为黏着磨损和氧化磨损。 展开更多
关键词 电弧离子镀 脉冲偏压 占空比 tialn涂层
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(Ti_(1-x)Al_x)N硬质涂层的研究进展 被引量:9
5
作者 张飞 闫鹏勋 +3 位作者 陈江涛 苗彬彬 李冠斌 王君 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期699-704,691,共7页
TiAlN作为一种三元复合纳米涂层材料,具有非常好的性能。该涂层克服了TiN涂层所存在的一些缺陷,其硬度远远高于TiN涂层,最高可达47GPa,并且具有很好的热稳定性,在700℃高温下仍很稳定,而TiN涂层在500℃时就已被氧化。TiAlN涂层还具有抗... TiAlN作为一种三元复合纳米涂层材料,具有非常好的性能。该涂层克服了TiN涂层所存在的一些缺陷,其硬度远远高于TiN涂层,最高可达47GPa,并且具有很好的热稳定性,在700℃高温下仍很稳定,而TiN涂层在500℃时就已被氧化。TiAlN涂层还具有抗磨损,摩擦系数小,热膨胀系数及热传导系数低等特性,这些特性与涂层中Al含量的多少有关,Al含量的改变会导致涂层微观结构的改变,从而使其性能发生变化。氮分压和基底温度对TiAlN涂层的性质有着极其重要影响。本文结合国内外对TiAlN涂层的最新研究进展,对TiAlN涂层的应用,制备方法,结构,抗氧化性及硬度作了简要论述。 展开更多
关键词 tialn涂层 晶体结构 抗氧化性 硬度 综述
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工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响 被引量:3
6
作者 周陶 袁军堂 +1 位作者 汪振华 黄雷 《机械制造与自动化》 2017年第5期15-19,共5页
为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(3~4)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合。结果表明:影响A... 为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(3~4)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合。结果表明:影响Al含量的因素按重要性排序依次是:腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流。影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是:弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压。 展开更多
关键词 多弧离子镀 tialn涂层 正交分析 AL含量 硬度
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TiAlVN涂层制备方法及V对TiAlVN涂层性能影响的研究现状 被引量:2
7
作者 金浩 王新 +2 位作者 常占河 刘高 鄢如明 《材料保护》 CSCD 北大核心 2017年第8期68-71,88,共5页
简述了TiAlN涂层的制备方法、研究进展及应用,主要介绍了元素V对TiAlVN涂层性能影响的研究现状,包括涂层的相结构、硬度、抗磨擦性能、抗氧化性能、抗腐蚀性能等领域。对其今后的发展做了展望,指出多元合金化和超硬纳米多层膜将成为今... 简述了TiAlN涂层的制备方法、研究进展及应用,主要介绍了元素V对TiAlVN涂层性能影响的研究现状,包括涂层的相结构、硬度、抗磨擦性能、抗氧化性能、抗腐蚀性能等领域。对其今后的发展做了展望,指出多元合金化和超硬纳米多层膜将成为今后的研究热点。 展开更多
关键词 tialn涂层 元素V TiAlVN涂层 相结构 硬度 抗氧化性能 抗腐蚀性能 展望
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硬质合金表面Ti系涂层退除后的界面性能研究 被引量:2
8
作者 鄢强 梁政 +2 位作者 宋慧瑾 吴涛 吴军 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1089-1093,共5页
采用电弧离子镀技术(AIP)在YW2合金基体表面制备了TiAlN涂层,通过化学方法退除基体上的涂层,分析了硬质合金表面退除涂层后和镀覆涂层前成分和元素存在形态的变化。发现当样品在30%H2O2、草酸钾COOK(1.5mol·L-1)、缓蚀剂葡萄糖酸... 采用电弧离子镀技术(AIP)在YW2合金基体表面制备了TiAlN涂层,通过化学方法退除基体上的涂层,分析了硬质合金表面退除涂层后和镀覆涂层前成分和元素存在形态的变化。发现当样品在30%H2O2、草酸钾COOK(1.5mol·L-1)、缓蚀剂葡萄糖酸钠GA和NaOH,VNaOH溶液∶V30%H2O2∶VCOOK溶液=1∶1∶1,45℃时,45min可以退除涂层,肉眼未观察到基体表面受腐蚀。涂层退除后样品表面光亮,呈现合金未镀覆涂层前颜色。通过对退镀后YW2基体和基体镀覆涂层前的表面XPS定性及定量分析发现,退除涂层后,基体表面W元素结合能和N元素主峰结合能与XPS结合能与参照表上对应结合能变化很小,元素的价态没有发生变化;镀覆TiAlN涂层时扩散到合金浅表层的Al,Ti,N元素,造成表面Al,Ti,N元素含量较镀覆涂层前增加,结合能位置偏移,形成AlN和TiN,有利于重新镀覆的涂层与合金基体的结合。 展开更多
关键词 退镀液 tialn涂层 硬质合金 能谱研究
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脉冲N离子束轰击对TiAlN膜层显微硬度影响的研究 被引量:2
9
作者 吕树国 张罡 +1 位作者 李玉海 金光 《沈阳理工大学学报》 CAS 2012年第1期5-8,共4页
采用俄罗斯UVN 0.5D2I脉冲离子束辅助电弧离子镀沉积设备,在高速钢W18Cr4V基材上沉积TiAlN膜层。研究了膜层沉积之前N离子束轰击基材以及膜层沉积过程中N离子束辅助轰击对TiAlN膜层显微硬度的影响。结果表明:膜层沉积之前,N离子轰击得... 采用俄罗斯UVN 0.5D2I脉冲离子束辅助电弧离子镀沉积设备,在高速钢W18Cr4V基材上沉积TiAlN膜层。研究了膜层沉积之前N离子束轰击基材以及膜层沉积过程中N离子束辅助轰击对TiAlN膜层显微硬度的影响。结果表明:膜层沉积之前,N离子轰击得到高度洁净的表面,使基材的显微硬度由原来的900HV0.01提高到1230HV0.01。膜层沉积过程中,脉冲N离子束轰击,消除了膜层中的硬度"软点"及阴影效应,增加(Ti,Al)N相的含量,膜层的内部产生了压应力,这些因素显著提高了膜层的硬度,膜层的最高硬度为2530HV0.01。但轰击能量不能过高,否则会降低膜层的显微硬度。 展开更多
关键词 电弧离子镀 tialn膜层 离子束 显微硬度
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硬质合金表面TiAlN涂层在不同切削液中的摩擦腐蚀性能
10
作者 林云根 魏宇惠 王谦之 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1-7,22,共8页
TiAlN涂层刀具已被广泛应用,其切削性能与切削液种类紧密相关。通过研究TiAlN涂层在全合成切削液、绿色水基切削液和乳化液中的摩擦及耐腐蚀性能,进而优化切削液种类。结果表明:制备TiAlN涂层的硬质合金在全合成切削液中的耐腐蚀性要弱... TiAlN涂层刀具已被广泛应用,其切削性能与切削液种类紧密相关。通过研究TiAlN涂层在全合成切削液、绿色水基切削液和乳化液中的摩擦及耐腐蚀性能,进而优化切削液种类。结果表明:制备TiAlN涂层的硬质合金在全合成切削液中的耐腐蚀性要弱于硬质合金,而在绿色水基切削液性和乳化液中的耐腐蚀性和摩擦学性能均要优于硬质合金;以腐蚀电流密度和摩擦系数为指标进一步确定,乳化液为TiAlN涂层较适用的切削液。 展开更多
关键词 硬质合金 tialn涂层 切削液 摩擦学性能 耐腐蚀性能
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TiAlN-MoS_2/TiAlN硬质润滑膜研究 被引量:11
11
作者 荆阳 庞思勤 +1 位作者 张学恒 徐承俊 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期457-459,468,共4页
在 NCU PP技术沉积的 Ti N- Mo S2 / Ti N复合膜中添加 A1元素并改变部分沉积工艺 ,可以在 1Cr18Ni9Ti基体上沉积出 Ti Al N - Mo S2 / Ti Al N硬质润滑膜 .利用 SEM,XPS等手段研究涂层的成分、微观结构等 .通过摩擦学试验测定其结合强... 在 NCU PP技术沉积的 Ti N- Mo S2 / Ti N复合膜中添加 A1元素并改变部分沉积工艺 ,可以在 1Cr18Ni9Ti基体上沉积出 Ti Al N - Mo S2 / Ti Al N硬质润滑膜 .利用 SEM,XPS等手段研究涂层的成分、微观结构等 .通过摩擦学试验测定其结合强度等性能 .结果表明 ,在钻头上沉积 Ti Al N- Mo S2 / Ti Al N硬质膜 ,可使其在钻削过程中具有优异的耐磨、减摩和耐高温等性能 。 展开更多
关键词 tialn-MoS2/TiAl硬质润滑膜 X射线光电子能谱 非平衡纳米复合等离子体镀膜技术
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MICROSTRUCTURAL CHARACTERISTICSAND OXIDATION BEHAVIOR OFTi_(1-x)Al_xN PVD-COATINGS
12
作者 马中庭 倪瑞明 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 1995年第1期49+44-49,共7页
Recent research on microstructural characteristics and oxidation behavior of Ti(1-x)AlxN thin film were surveyed. The Ti(1-x)AlxN coatings have three different phase regions, Bl structure for lower x value, wurtzite s... Recent research on microstructural characteristics and oxidation behavior of Ti(1-x)AlxN thin film were surveyed. The Ti(1-x)AlxN coatings have three different phase regions, Bl structure for lower x value, wurtzite structure for higher x value and unidentified structure for medium x value. Based upon the selective oxidation mechanism the oxidation results of Ti(1-x)AlxN thin film with different Ti/Al ratio were predicated. 展开更多
关键词 crystal system oxidation/tialn coatings microstructural characteristic
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TiAlN涂层与无涂层刀具高速车削TC4钛合金的性能研究 被引量:5
13
作者 刘朋和 姜增辉 +2 位作者 王琳琳 王晓亮 吴月颖 《制造技术与机床》 北大核心 2014年第8期49-52,共4页
为研究TiAlN涂层和无涂层硬质合金刀具在高速车削钛合金时的性能,选用GC1105和H13A两种牌号的刀具进行了对比研究。观测了TiAlN涂层的厚度,并通过金相分析得到了硬质合金基体晶粒的微观形貌。在切削速度为95 m/min条件下进行了干式车削... 为研究TiAlN涂层和无涂层硬质合金刀具在高速车削钛合金时的性能,选用GC1105和H13A两种牌号的刀具进行了对比研究。观测了TiAlN涂层的厚度,并通过金相分析得到了硬质合金基体晶粒的微观形貌。在切削速度为95 m/min条件下进行了干式车削TC4钛合金试验。结果表明:在较高的切削速度下干式车削钛合金,TiAlN涂层并未提高硬质合金刀具的性能,反而加剧了刀具的磨损。 展开更多
关键词 tialn涂层 硬质合金 高速车削 TC4钛合金 刀具磨损
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TiAlN涂层硬质合金刀具车削钛合金螺纹试验 被引量:2
14
作者 李晓晓 吴昊荣 +3 位作者 龚一龙 王力 葛一楠 赵永鑫 《工具技术》 北大核心 2017年第1期37-40,共4页
为研究Ti Al N涂层硬质合金刀具车削钛合金螺纹的切削性能,采用Ti Al N涂层硬质合金螺纹刀片进行试验,得出了在进给量2.4mm/r、背吃刀量0.2mm时的最优切削速度为28m/min。在此条件下,验证了刀片前角较小时主切削力小,散热效率高;而前角... 为研究Ti Al N涂层硬质合金刀具车削钛合金螺纹的切削性能,采用Ti Al N涂层硬质合金螺纹刀片进行试验,得出了在进给量2.4mm/r、背吃刀量0.2mm时的最优切削速度为28m/min。在此条件下,验证了刀片前角较小时主切削力小,散热效率高;而前角较大时,切屑螺旋角小且切削长度较长,断屑效果不佳。当进给方向向左时,后刀面的磨损主要是在左后刀面,磨损相对右后刀面严重,较大的后角使得刀片右后刀面磨损宽度小,涂层剥落宽度也小,寿命更长。 展开更多
关键词 硬质合金 Ti Al N涂层 钛合金螺纹 前角 后角
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基于HSM的氮铝钛涂层刀具切削性能的研究 被引量:1
15
作者 钟启茂 《工具技术》 北大核心 2007年第9期37-39,共3页
通过对TiAlN涂层硬质合金刀具在淬硬模具钢高速数控切削中的切削力、刀具磨损及加工策略的分析,为模具材料的高速数控加工提供了实用依据。
关键词 涂层氮铝钛 刀具 高速切削 加工策略
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Zr和Cr掺杂TiAlN涂层结构、力学和高温性能研究 被引量:8
16
作者 刘慧君 胡春 +1 位作者 刘喆人 陈利 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期3178-3186,共9页
采用阴极弧蒸发方法制备Ti0.55Al0.45N,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N涂层,并借助配备X射线能量色散谱仪(EDX)的扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、差示扫描量热仪(DSC)和纳米压痕仪对比研究了Zr和Cr掺杂对TiAlN涂层... 采用阴极弧蒸发方法制备Ti0.55Al0.45N,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N涂层,并借助配备X射线能量色散谱仪(EDX)的扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、差示扫描量热仪(DSC)和纳米压痕仪对比研究了Zr和Cr掺杂对TiAlN涂层结构、力学和高温性能的影响。研究结果表明:Ti0.55Al0.45N,Ti0.45Al0.48Zr0.07N和Ti0.45Al0.49Cr0.06N涂层均为单相面心立方结构,其硬度分别为(28.6±0.9)GPa、(31.9±0.9)GPa和(31.0±0.7)GPa;Zr的添加提高了TiAlN涂层的热稳定性,而Cr的添加降低了TiAlN涂层的热稳定性;在800℃氧化30 h,Zr降低了TiAlN涂层的抗氧化性能,Cr提高了TiAlN涂层的抗氧化性能;然而,在850℃氧化30 h,Ti0.45Al0.48Zr0.07N涂层却表现出最好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 tialn基涂层 硬度 热稳定性 抗氧化性能
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电弧离子镀TiN/TiAlN复合涂层摩擦磨损性能研究 被引量:8
17
作者 李志强 曾燮榕 +2 位作者 韩培刚 熊信柏 刘强 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2008年第1期103-106,共4页
利用阴极电弧离子镀技术,在硬质合金基体上制得5层和20层TiN/TiAlN复合涂层.研究表明,这两种涂层均为典型的B1-NaCl面心立方结构,且均呈(200)择优取向.两种涂层表面光滑平整,粗糙度分别为0.32和0.11,硬度为1 470HV和2 000HV.20层复合涂... 利用阴极电弧离子镀技术,在硬质合金基体上制得5层和20层TiN/TiAlN复合涂层.研究表明,这两种涂层均为典型的B1-NaCl面心立方结构,且均呈(200)择优取向.两种涂层表面光滑平整,粗糙度分别为0.32和0.11,硬度为1 470HV和2 000HV.20层复合涂层的摩擦系数和比磨损率低于5层,表明增加复合层数有利于提高涂层的耐磨损性能,涂层的磨损机理为磨粒磨损. 展开更多
关键词 电弧离子镀 TiN/tialn复合涂层 摩擦磨损性能
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TiAlN涂层刀具切削性能及磨损机理研究 被引量:7
18
作者 赵晟琪 刘雅荣 《机械设计与制造》 北大核心 2019年第3期91-93,97,共4页
为研究Ti Al N涂层刀具的切削性能和磨损机理,首先采用304不锈钢球对Ti Al N涂层进行摩擦磨损试验,对其磨损形态和摩擦系数进行分析比较。同时,釆用电弧离子镀技术基于YT15硬质合金刀具制备了YT15-TiAlN涂层刀具,并利用该刀具对40Cr钢... 为研究Ti Al N涂层刀具的切削性能和磨损机理,首先采用304不锈钢球对Ti Al N涂层进行摩擦磨损试验,对其磨损形态和摩擦系数进行分析比较。同时,釆用电弧离子镀技术基于YT15硬质合金刀具制备了YT15-TiAlN涂层刀具,并利用该刀具对40Cr钢进行了切削试验;同时,将涂层摩擦磨损特性、切削力以及刀具磨损机理作为衡量指标进行讨论研究,并与未涂层刀具进行对比。结果表明,YT15-TiAlN涂层刀具的切削性能大幅提高,Ti Al N涂层改善了刀具的摩擦特性,抗磨损能力大大增加,刀具的使用寿命提高了约1倍左右。 展开更多
关键词 tialn涂层刀具 切削试验 磨损机理 测试
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AFM Analysis of TiN, TiAlN, and TiAlSiN Coatings Prepared by Cathodic Arc Ion Plating 被引量:5
19
作者 王文昌 ZHANG Ling 孔德军 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2016年第5期1093-1098,共6页
The TiN, TiAlN, and TiAlSiN coatings were prepared on YT14 cutting tool surface with CAIP(cathode arc ion plating), the surface morphologies and phases were analyzed with FESEM(field emission scanning electron micr... The TiN, TiAlN, and TiAlSiN coatings were prepared on YT14 cutting tool surface with CAIP(cathode arc ion plating), the surface morphologies and phases were analyzed with FESEM(field emission scanning electron microscopy), and XRD(X-ray diffraction), respectively, and the coating parameters such as 3D surface micro-topography, grain size, surface height, hierarchy, profile height, and power spectral density, etc, were measured with AFM(atomic force microscope). The results show that the phases of TiN, TiAlN, and TiAlSiN coatings are TiN, TiN+TiAlN, TiN+Si_3N_4+TiAlN, respectively, while the surface roughness Sa of TiN, TiAlN, and TiAlSiN coatings is 75.3, 98.9, and 42.1 nm, respectively, and the roughness depth Sk is 209, 389, and 54 nm, respectively, the sequence of average grain sizes is TiAlN〉TiN〉TiAlSiN. The surface bearing index Sbi of TiN, TiAlN, and TiAlSiN coatings is 0.884, 1.01, and 0.37, respectively, and the sequence of surface bearing capability is TiAlN〉TiN〉TiAlSiN. At the lower wavelength(102-103 nm), the power spectral densities have a certain correlation, and the sequence of TiN〉TiAlN〉TiAlSiN, while the correlation is low at the higher wavelength(〉103 nm). 展开更多
关键词 TiN tialn and TiAlSiN coatings AFM 3D surface micro-topography height analysis power spectral density
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离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响 被引量:4
20
作者 曹猛 李强 +1 位作者 邓湘云 李德军 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期627-631,共5页
使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的... 使用超高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰击对薄膜性能的影响.结果表明:离子辅助轰击使大部分ZrN/TiAlN多层膜的纳米硬度和弹性模量值高于两种个体材料硬度的平均值;离子的轰击和薄膜表面原子与轰击离子之间的动量传输提高了薄膜的致密度;当轰击能量为200 eV时,多层膜的硬度最高(30.6 GPa),弹性模量、表面粗糙度和摩擦系数等也明显改善. 展开更多
关键词 无机非金属材料 离子束辅助沉积(IBAD) ZrN/tialn纳米多层膜 硬度 辅助轰击能量
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