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电弧离子镀制备TiAlN膜工艺研究 被引量:9
1
作者 吕树国 李玉海 +3 位作者 张罡 姚俊 毕鉴智 金光 《沈阳理工大学学报》 CAS 2006年第1期78-82,共5页
采用阴极电弧离子镀技术在1Cr18N i9Ti不锈钢基材上制备TiA lN膜层,镀膜装置为俄罗斯科学院UVN 0.5D2 I电弧离子镀膜机,该设备由一个大功率的气体离子源和两个金属蒸发源组成.气体离子源具有气体离子轰击和辅助沉积的特点.研究了电弧电... 采用阴极电弧离子镀技术在1Cr18N i9Ti不锈钢基材上制备TiA lN膜层,镀膜装置为俄罗斯科学院UVN 0.5D2 I电弧离子镀膜机,该设备由一个大功率的气体离子源和两个金属蒸发源组成.气体离子源具有气体离子轰击和辅助沉积的特点.研究了电弧电流、负偏压和气体离子源功率等工艺参数对膜层的影响规律.实验结果表明:气体离子源具有明显的细化金属颗粒的作用.提出了制备TiA lN膜层的最佳工艺,得到了厚度为5~10μm、相结构为Ti0.5A l0.5N、显微硬度为1200HV0.01的TiA lN膜层. 展开更多
关键词 电弧离子镀 TiAlN膜层 偏压 抗氧化性 气体离子源
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溅射工艺参数对TiAlN薄膜力学性能及结构成分的影响 被引量:7
2
作者 陈蓓蓓 蔡珣 周滔 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期15-17,22,共4页
采用反应磁控溅射法和钛-铝镶嵌靶制备TiAlN薄膜;运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和能谱仪、X射线衍射仪等对薄膜进行表征;研究了制备工艺参数对薄膜力学性能、薄膜成分及组织结构的影响。结果表明:随着氮气分压增大,薄膜厚度降低,薄膜(... 采用反应磁控溅射法和钛-铝镶嵌靶制备TiAlN薄膜;运用纳米压入硬度测试仪、划痕仪和能谱仪、X射线衍射仪等对薄膜进行表征;研究了制备工艺参数对薄膜力学性能、薄膜成分及组织结构的影响。结果表明:随着氮气分压增大,薄膜厚度降低,薄膜(111)取向减弱,(220)和(311)取向增强,薄膜中的氮原子含量逐渐增多,而钛、铝原子含量逐渐减少;随着基体偏压增大,薄膜纳米硬度和膜/基界面临界载荷均逐渐增大,纳米硬度最高可达48.73 GPa,膜/基界面临界载荷最高可达40 N。 展开更多
关键词 tiain薄膜 磁控溅射 力学性能 工艺参数
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Tribological properties of TiAlN-coated cermets 被引量:5
3
作者 ZHENG Liyun ZHAO Lixin XIONG Weihao 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第1期57-62,共6页
Ti(C,N)-based cermets were coated with TiAlN using multi-arc ion plating technology. Sliding wear tests were performed on the coated cermets. The microstructure and morphologies of the coated cermets before and afte... Ti(C,N)-based cermets were coated with TiAlN using multi-arc ion plating technology. Sliding wear tests were performed on the coated cermets. The microstructure and morphologies of the coated cermets before and after friction and wear tests were characterized. The results show that the TiAlN coating surface was smooth and its root mean square roughness was 16.6 nm. The hardness (HK) of TiAlN coating layers reached approximately 3200 and the critical load (Lc) under which the coating failure occurred was 59 N. The sliding wear test results show that the friction coefficients of the TiAlN-coated cermets were lower than that of the cermets without any coating. Under the same load, the adhesion phenomenon of the counterpart materials on the specimens was improved and the mean friction coefficient increased with increasing sliding velocity. When the sliding velocity was 0.26 m·s^-1, the mass of the coated cermets reduced. At the same sliding velocity, the average friction coefficient of the TiAlN-coated cerrnets was lower under a higher load. The wear mechanisms of the TiAlN-coated cermets were mainly adhesive and abrasive wear. 展开更多
关键词 cermets tribological properties WEAR tiain coating
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溅射靶材对TiAlN涂层形貌、结构和力学性能的影响 被引量:7
4
作者 梁俊才 周武平 +2 位作者 张凤戈 穆健刚 赵海波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期714-719,共6页
采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性... 采用粉末冶金和真空熔炼方法制备了原子比为Ti50Al50的合金靶材,利用磁控溅射工艺在同一工艺参数下制备了TiAlN涂层,借助扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、纳米压痕和结合强度实验,研究了溅射靶材对TiAlN涂层的形貌、结构和力学性能的影响。结果表明:粉末靶材中Ti和Al以单质相存在,Ti镶嵌于Al基体周围,熔炼靶材中形成了TiAl和Ti3Al合金化片层组织;由于两种靶材在组织结构和导热性能上的不同导致其溅射产额、靶材温度和溅射金属离子能量等都出现了明显的差异;对涂层的影响表现为,相比于熔炼靶材涂层,粉末靶材涂层的沉积速率高44%,表面粗糙度低24%,涂层表面熔滴数目和尺寸较小;粉末靶材涂层呈现Ti2AlN相等轴晶生长方式,熔炼靶材涂层由于沉积温度较高表现为Ti2AlN相和TiN相,以等轴晶和柱状晶混合生长;相结构的不同导致涂层的硬度和结合强度出现差异,粉末靶材涂层硬度为25.69 GPa,结合强度属于HF-3,熔炼靶材涂层的硬度为28.22 GPa,结合强度属于HF-5。 展开更多
关键词 溅射靶材 TIALN涂层 形貌 结构 硬度 结合强度
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TiAlN/Cu Nanocomposite Coatings Deposited by Filtered Cathodic Arc Ion Plating 被引量:3
5
作者 Lei Chen Zhiliang Pei +2 位作者 Jinquan Xiao Jun Gong Chao Sun 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期111-116,共6页
TiAIN]Cu nanocomposite coatings with Cu concentration of 0-1.4 at.% were deposited on the high- speed steel (HSS) substrates by filtered cathodic arc ion plating technique. The chemical composition, microstructure, ... TiAIN]Cu nanocomposite coatings with Cu concentration of 0-1.4 at.% were deposited on the high- speed steel (HSS) substrates by filtered cathodic arc ion plating technique. The chemical composition, microstructure, morphology, adhesion strength, mechanical and tribological properties of the TiAIN/Cu coatings were characterized and analyzed. The results reveal that the coating structure and properties depend on not only the Cu concentration, hut also the deposition condition. The addition of Cu significantly decreases the grain size and weakens the texture in the TiAlN/Cu coatings. With increasing the Cu concentration, the coating hardness decreases slightly from 30.7 GPa of the pure TiAlN coating to 28.5 GPa of the TiAlN/Cu coating with 1.4 at,% Cu. All the TiAlN/Cu coatings present sufficient adhesion strength. In addition, the existing state of additive Cu in the TiAlN/Cu coatings is also investigated. 展开更多
关键词 TIALN tiain/Cu Nanocomposite coating Filtered cathodic arc ion plating CO-DEPOSITION
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Cr元素引入对TiAlN涂层性能影响的研究现状 被引量:2
6
作者 冯彬 彭如恕 《机械工程师》 2018年第3期36-38,共3页
总结了含Cr过渡层(CrN/Cr层)以及TiAlCrN涂层中Cr元素引入对TiAlN涂层相关性能的影响规律,为制备性能优异的(Ti,Al,Cr)N涂层提供参考。最后分析和展望了TiAlN基涂层的发展方向。
关键词 tiain涂层 CR元素 TiAICrN涂层 CrN/Cr过渡层
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不同厚度TiN和TiAlN涂层残留应力分析 被引量:3
7
作者 王海洋 曹传亮 +1 位作者 张祥林 肖祥芷 《模具工业》 2011年第11期64-69,共6页
TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度。结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取... TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度。结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取向,涂层残留应力分布在-2 347~-1 920MPa,基体残留应力分布在-154.9~-69.21 MPa,均随厚度增加而减小;TiAlN涂层主要相成分为Ti3Al3N2,且(107)晶面存在择优取向,基体残留应力分布在-123.7~469.5 MPa,主要呈拉应力状态,且随厚度增加而增大,对模具寿命有较大影响;TiN和TiAlN涂层显微硬度随厚度增加而增大。 展开更多
关键词 TIN TIALN XRD 残留应力 涂层厚度 精冲模
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溅射功率对TiAlN涂层组织结构与性能的影响 被引量:2
8
作者 左伟峰 赵广彬 程玺儒 《工具技术》 2018年第4期76-78,共3页
采用钛铝合金比为7∶3的靶,通过非平衡磁控溅射离子镀制备TiAlN涂层。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和MFT-4000多功能材料表面性能试验机对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行测试分析,分析溅射功率对TiAlN涂层组织和结构的影响。测... 采用钛铝合金比为7∶3的靶,通过非平衡磁控溅射离子镀制备TiAlN涂层。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和MFT-4000多功能材料表面性能试验机对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行测试分析,分析溅射功率对TiAlN涂层组织和结构的影响。测试结果表明:随着溅射功率的减小,膜层晶粒结构变得更稀疏,结合力减弱,Al/Ti比值变小。 展开更多
关键词 TIALN涂层 离子镀 溅射功率 断口形貌
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新型工具钢GDL-4的TiAlN涂层的制备及性能的研究
9
作者 梁益龙 罗来马 +1 位作者 邵丽娟 凌敏 《贵州工业大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第6期13-17,共5页
采用非平衡磁控溅射离子镀在GDL-4型合金工具钢表面进行TiAlN涂层,并与M2钢表面TiAlN涂层做对比性分析。用压入法测量涂层的结合强度、用显微硬度计以不同的载荷测量涂层硬度。结果表明,该钢经PVDTiAlN涂层后,结合强度达到HF1,膜厚为4.5... 采用非平衡磁控溅射离子镀在GDL-4型合金工具钢表面进行TiAlN涂层,并与M2钢表面TiAlN涂层做对比性分析。用压入法测量涂层的结合强度、用显微硬度计以不同的载荷测量涂层硬度。结果表明,该钢经PVDTiAlN涂层后,结合强度达到HF1,膜厚为4.5-5.0μm,显微硬度为HV2360-2576,与M2钢为基体相比,在相同条件下进行表面TiAlN涂层,其结合强度、膜厚、显微硬度测量,结果都很相近。以廉价合金为主加元素的GDL-4型合金工具钢,可以替代价格昂贵的传统高速钢以降低工具钢成本。并采用维氏压头测量断裂韧性KIC和通过扫描电子显微镜观察压痕形貌来评定涂层的韧性。 展开更多
关键词 tiain涂层 结合强度 磁控溅射 膜厚 显微硬度 断裂韧性KIC
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高强度合金硼铸铁组织成分与切削性能研究 被引量:1
10
作者 安庆龙 牛秋林 +1 位作者 明伟伟 陈明 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1049-1053,1058,共6页
合金硼铸铁具有高硬度、高强度以及良好的耐磨性和耐热性,是高速机车柴油机气缸套的主流材料.文中对气缸套合金硼铸铁的显微组织结构、化学成分和车削加工性能进行了分析评估.结果表明:合金硼铸铁的石墨形态以高强度A型石墨为主;与非涂... 合金硼铸铁具有高硬度、高强度以及良好的耐磨性和耐热性,是高速机车柴油机气缸套的主流材料.文中对气缸套合金硼铸铁的显微组织结构、化学成分和车削加工性能进行了分析评估.结果表明:合金硼铸铁的石墨形态以高强度A型石墨为主;与非涂层和氮铝钛涂层硬质合金刀具相比,赛隆(Sialon)陶瓷刀具具有更优良的性能,可以实现合金硼铸铁气缸套的高效加工. 展开更多
关键词 合金硼铸铁 车削 刀具磨损 氮铝钛涂层 赛隆陶瓷
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TiAlN涂层刀具的高温摩擦应力仿真分析 被引量:1
11
作者 刘爱华 刘文清 苗秋华 《制造技术与机床》 北大核心 2014年第4期60-63,共4页
TiAlN涂层是目前应用广泛的三元氮化物刀具涂层。针对TiAlN涂层目前常用的球-盘高温摩擦方式中的高温摩擦应力进行仿真研究,揭示高温摩擦过程中涂层的受力状态。结果表明:在涂层与基体的结合面上,温度对径向应力σx的影响较大,对结合面... TiAlN涂层是目前应用广泛的三元氮化物刀具涂层。针对TiAlN涂层目前常用的球-盘高温摩擦方式中的高温摩擦应力进行仿真研究,揭示高温摩擦过程中涂层的受力状态。结果表明:在涂层与基体的结合面上,温度对径向应力σx的影响较大,对结合面上的轴向应力σz和剪切应力τxz的影响不大;沿深度方向,力的加载中心处的σx、力的加载边缘处的τxz在涂层与基体的接合面上均存在突变,且随温度的升高,突变程度增加,涂层易发生翘曲脱落。 展开更多
关键词 tiain 涂层刀具 高温 摩擦应力 仿真分析
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多弧离子镀制备TiAlN涂层的工艺研究 被引量:1
12
作者 李相阳 《机械工程师》 2016年第12期95-96,共2页
介绍了TiAlN涂层和多弧离子镀的特点及应用。总结了多弧离子镀的主要工艺参数及其他影响因素对TiAlN涂层性能的影响规律,为TiAlN涂层的工艺设计提供参考。最后分析和展望了TiAlN涂层的发展方向。
关键词 TIALN涂层 多弧离子镀 工艺参数 其他因素
全文增补中
纳秒、皮秒和飞秒激光脉冲对材料表面的改性(英文) 被引量:18
13
作者 TRTICAM S GAKOVIC B M +7 位作者 RADAK B B BATANI D TARASENKO V F PETROVIC S STASIC J MILOVANOVIC D KRMPOT A JELENKOVIC B 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期221-227,共7页
对基体材料镉镍铁合金600和多层TiAlN/TiN涂层的激光表面改性在基础研究和实际应用中有着很好的前景。本文观察了由超短脉冲(fs和ns)和短脉冲(ns)激光器引起的镉镍铁合金600和TiAlN/TiN镀层的表面变化。结果显示,3种激光都能使靶面发生... 对基体材料镉镍铁合金600和多层TiAlN/TiN涂层的激光表面改性在基础研究和实际应用中有着很好的前景。本文观察了由超短脉冲(fs和ns)和短脉冲(ns)激光器引起的镉镍铁合金600和TiAlN/TiN镀层的表面变化。结果显示,3种激光都能使靶面发生形态改变,超短脉冲的破坏轮廓更为清晰。与ps激光脉冲相比,fs激光脉冲能产生更严重的破坏。与产生半球体形状的ps激光束相反,fs激光脉冲产生的破坏斑是圆锥形的。另外,ns脉冲辐照时热效应占支配地位,且所有的辐照都伴随着等离子体。 展开更多
关键词 纳秒脉冲 皮秒脉冲 飞秒脉冲 Inconel 600镀层 TiAlN/TiN镀层 激光改性
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Microstructural and tribological behavior of TiAlN/MoS_2-Ti coatings 被引量:10
14
作者 LI Yongliang KIM Sunkyu 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第4期326-330,共5页
A TIA1N/MoS2-Ti coating was developed to improve the tribological characteristics of a single TiAlN coating. The MoS2-Ti layer was deposited by a DC magnetron sputtering system on the hard TiAIN coated SKD-11 steel su... A TIA1N/MoS2-Ti coating was developed to improve the tribological characteristics of a single TiAlN coating. The MoS2-Ti layer was deposited by a DC magnetron sputtering system on the hard TiAIN coated SKD-11 steel substrate. The titanium content in the MoS2-Ti layer was 11.3 at.% determined by EPMA. The surface morphology was observed by FE-SEM. The TiAlN layer exhibited excellent adhesion and hardness. However, the deposition of an MoS2-Zi layer on the TRAIN led to a significant improvement in tribological properties without affecting the adhesion to the substrate. The MoS2-Ti layer significantly decreased the friction coefficient of the TiAIN coating, and the drop was 48% after MoS2-Ti deposition. Also, the MoS2-Ti layer remarkably decreased the wear rate of the TtA1N coating. 展开更多
关键词 tiain/MoS2-Ti coating surface morphology tribological properties HARDNESS
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TiN/TiAlN涂层Ti(C,N)基金属陶瓷刀具的切削性能 被引量:8
15
作者 赵立新 郑立允 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期18-20,共3页
采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN多层涂层,通过扫描电镜、涂层附着力自动划痕仪对其显微组织形貌和涂层的结合强度进行了分析,并对涂层和未涂层金属陶瓷铣刀以及硬质合金铣刀进行了切削0Cr18Ni9钢的试验。... 采用多弧离子镀技术在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上沉积了TiN/TiAlN多层涂层,通过扫描电镜、涂层附着力自动划痕仪对其显微组织形貌和涂层的结合强度进行了分析,并对涂层和未涂层金属陶瓷铣刀以及硬质合金铣刀进行了切削0Cr18Ni9钢的试验。结果表明,多弧离子镀TiN/TiAlN涂层均匀,TiN/TiAlN多层涂层与金属陶瓷之间的结合强度高达57.52N。TiN/TiAlN涂层金属陶瓷的切削性能明显优于未涂层金属陶瓷和硬质合金YW2,其平均寿命为硬质合金刀具的2倍。TiN/TiAlN涂层金属陶瓷刀具的失效形式主要是磨损和崩刃,没有涂层剥落现象,TiN/TiAlN涂层与基体的结合强度很好。未涂层金属陶瓷刀具的磨损形式主要是磨损和粘着。 展开更多
关键词 金属陶瓷 TiN/TiAlN涂层 刀具 切削性能 多弧离子镀
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高能量密度脉冲等离子枪在硬质合金刀具上沉积高硬耐磨涂层研究
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作者 苗赫濯 彭志坚 +2 位作者 杨思泽 刘赤子 齐龙浩 《陶瓷科学与艺术》 CAS 2003年第5期4-8,22,共6页
用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜。在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27 GPa、50 GPa和 38 GPa;杨氏模量分别... 用高能量密度脉冲等离子体枪,于室温下在硬质合金刀具基体上分别成功沉积了硬度高、耐磨损、膜基结合力强的TiN、TiCN和TiAlN薄膜。在优化的工艺条件下,所得TiN、TiCN、TiAlN薄膜纳米硬度分别可达27 GPa、50 GPa和 38 GPa;杨氏模量分别可达 450 GPa、550 GPa、650 GPa。纳米划痕实验临界载荷分别达 90 mN、110 mN和100 mN以上。切削实验表明,涂层刀具可用于高速切削,刀具后面磨损明显减小。刀具力学性能的改善归因于更优异力学性能涂层的沉积、良好的膜基结合力以及徐层特殊的显微结构。 展开更多
关键词 高能量密度脉冲等离子体 硬质合金 刀具 沉积 TIN涂层 TiCN涂层 TIALN涂层 纳米硬度 杨氏模量
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