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Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
被引量：
4
1
作者
武素梅
薛钰芝
苏梦
《真空》
CAS
北大核心
2007年第4期29-32,共4页
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前...
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌。
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关键词
ti
/
tio
2
多层
膜
真空蒸发
类负阻效应
光电性能
下载PDF
职称材料
低红外发射率TiO_2/Ag_xCu_(1-x)/Ti/TiO_2纳米多层膜
被引量：
2
2
作者
刘海鹰
刁训刚
+3 位作者
王丽玲
杨盟
武哲
舒远杰
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期7-12,共6页
利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电...
利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150℃大气下热处理30min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5W/□增加至18W/□,红外发射率由0.17增加到0.69。AgCu合金薄膜性质未发生明显变化。方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250℃大气下热处理40min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加。
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关键词
tio
2
/AgxCu-1x/
ti
/
tio
2
纳米
多层
膜
低红外发射率
磁控溅射
原文传递
题名
Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
被引量：
4
1
作者
武素梅
薛钰芝
苏梦
机构
大连交通大学材料科学与工程学院
出处
《真空》
CAS
北大核心
2007年第4期29-32,共4页
文摘
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌。
关键词
ti
/
tio
2
多层
膜
真空蒸发
类负阻效应
光电性能
Keywords
ti
/
tio
2
mul
ti
layer film
vacuum evapora
tio
n
near nega
ti
ve resistance effect
op
ti
cal and electrical proper
ti
es
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
低红外发射率TiO_2/Ag_xCu_(1-x)/Ti/TiO_2纳米多层膜
被引量：
2
2
作者
刘海鹰
刁训刚
王丽玲
杨盟
武哲
舒远杰
机构
北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心
北京航空航天大学航空科学与技术学院
中国工程物理研究院化工材料研究所
出处
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期7-12,共6页
基金
国家自然科学基金项目(No.90305026)
中国工程物理研究院双百人才基金(No.2005R0504)资助
文摘
利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150℃大气下热处理30min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5W/□增加至18W/□,红外发射率由0.17增加到0.69。AgCu合金薄膜性质未发生明显变化。方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250℃大气下热处理40min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加。
关键词
tio
2
/AgxCu-1x/
ti
/
tio
2
纳米
多层
膜
低红外发射率
磁控溅射
Keywords
tio
2
／AgxCu-1x／
ti
／
tio
2
nano - muhilayer films
low - emissivity
magnetron sputtering
分类号
O47 [理学—半导体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
武素梅
薛钰芝
苏梦
《真空》
CAS
北大核心
2007
4
下载PDF
职称材料
2
低红外发射率TiO_2/Ag_xCu_(1-x)/Ti/TiO_2纳米多层膜
刘海鹰
刁训刚
王丽玲
杨盟
武哲
舒远杰
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
原文传递
已选择
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参考文献
引证文献
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