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Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
被引量：
4
1
作者
武素梅
薛钰芝
苏梦
《真空》
CAS
北大核心
2007年第4期29-32,共4页
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前...
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌。
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关键词
ti
/
tio
2
多层膜
真空蒸发
类负阻效应
光电性能
下载PDF
职称材料
题名
Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
被引量：
4
1
作者
武素梅
薛钰芝
苏梦
机构
大连交通大学材料科学与工程学院
出处
《真空》
CAS
北大核心
2007年第4期29-32,共4页
文摘
用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌。
关键词
ti
/
tio
2
多层膜
真空蒸发
类负阻效应
光电性能
Keywords
ti
/
tio
2
multilayer
film
vacuum
evapora
tio
n
near
nega
ti
ve
resistance
effect
op
ti
cal
and
electrical
proper
ti
es
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究
武素梅
薛钰芝
苏梦
《真空》
CAS
北大核心
2007
4
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职称材料
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