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TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析
被引量：
2
1
作者
李留臣
杨润
《电子工业专用设备》
2003年第1期51-56,共6页
随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大...
随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。
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关键词
tdr
-
70
A
型
单晶炉
维护
人工晶体
故障维修
硅单晶生产设备
下载PDF
职称材料
TDR-70型单晶炉的研制
被引量：
6
2
作者
杨润
李留臣
《电子工业专用设备》
2001年第2期45-48,共4页
介绍了TDR - 70型单晶炉的性能参数及工作原理 ,结合拉制单晶的特殊工艺要求 ,分析了其主要结构及特点。
关键词
单晶炉
结构
磁流体密封
翻板阀
tdr
-
70
型
单晶控制
下载PDF
职称材料
题名
TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析
被引量：
2
1
作者
李留臣
杨润
机构
西安理工大学
出处
《电子工业专用设备》
2003年第1期51-56,共6页
文摘
随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。
关键词
tdr
-
70
A
型
单晶炉
维护
人工晶体
故障维修
硅单晶生产设备
Keywords
Crystal growth equipment
manual crystal
silicon crystal
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
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职称材料
题名
TDR-70型单晶炉的研制
被引量：
6
2
作者
杨润
李留臣
机构
西安理工大学
出处
《电子工业专用设备》
2001年第2期45-48,共4页
文摘
介绍了TDR - 70型单晶炉的性能参数及工作原理 ,结合拉制单晶的特殊工艺要求 ,分析了其主要结构及特点。
关键词
单晶炉
结构
磁流体密封
翻板阀
tdr
-
70
型
单晶控制
Keywords
Puller
Structure
Ferrofluidics
Isolation Valve
分类号
TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
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职称材料
题名
作者
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1
TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析
李留臣
杨润
《电子工业专用设备》
2003
2
下载PDF
职称材料
2
TDR-70型单晶炉的研制
杨润
李留臣
《电子工业专用设备》
2001
6
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职称材料
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