摘要
介绍了TDR - 70型单晶炉的性能参数及工作原理 ,结合拉制单晶的特殊工艺要求 ,分析了其主要结构及特点。
The paper introduces the design characteristic and principium of the puller TDR-70.According to the special technics of crystal growing,interprets main structure and characteristic of the puller TDR-70.
出处
《电子工业专用设备》
2001年第2期45-48,共4页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
