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数字全息中利用图像拼接测量大物体的三维形貌 被引量:13
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作者 冯忠耀 贾昉 +1 位作者 周景会 忽满利 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2017-2021,共5页
为扩大数字全息的测量视场,使数字全息可以应用于大物体三维形貌的测量,利用菲涅耳离轴数字全息,让照明光依次照明物体的各个区域并分别记录全息图,利用精密电控旋转台精确控制参考光的入射角以保证每次记录时物参角不变,通过参考光入... 为扩大数字全息的测量视场,使数字全息可以应用于大物体三维形貌的测量,利用菲涅耳离轴数字全息,让照明光依次照明物体的各个区域并分别记录全息图,利用精密电控旋转台精确控制参考光的入射角以保证每次记录时物参角不变,通过参考光入射角的变化量确定物体不同被照明区域之间的位置关系,对获得的物体去包裹的相位图进行拼接,进而得到整个物体的三维形貌。利用该方法测量了大小为11 cm×19 cm的石膏嘴的三维形貌,图像拼接的绝对拼接误差远小于1.14 mm,高度测量误差约为0.5 mm,实验结果说明这种测量方法能够有效地扩大数字全息测量物体三维形貌的视场并且具有和横向分辨率相当的拼接精度。 展开更多
关键词 信息光学 形貌测量 数字全息 图像拼接 视场
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数字刀口检测技术 被引量:9
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作者 张均 董军 +2 位作者 张艳 张蓉竹 蔡邦维 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期65-68,共4页
为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术,把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪。采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息。对125mm和150mm口径的球面镜进行检... 为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术,把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪。采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息。对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12λ(λ=532nm)。通过与干涉仪测得P-V值0.057λ相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据。 展开更多
关键词 检测技术 刀口 数字 大口径光学元件 计算机辅助计算 图像采集处理 定量检测 图像处理 频域信息 面形分布 检测精度 像差分析 CCD PSD 球面镜 干涉仪 传统 V值 阈值 数据
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一种实用化的三维测量系统 被引量:9
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作者 田丰 陈文艺 +2 位作者 赵宏 周剑 谭玉山 《光电工程》 CAS CSCD 1996年第5期64-68,共5页
提出了一种实用化的三维测量系统——交叉光轴投影光栅系统。该系统结构简单,方便实用。本文中详细论述了该系统的相位测量原理、物体面形与所求相位之间的关系。
关键词 面形测量仪器 三维测量 相位测量 正弦光栅 光轴
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硬性结构面表面起伏形态测量及其尺寸效应研究 被引量:12
4
作者 吉锋 石豫川 《水文地质工程地质》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期63-68,共6页
结构面表面形态与其力学性质密切相关,对结构面表面形态进行精细测量是研究结构面变形和强度等力学机理的基础。在分析国内外结构面测量仪器优缺点基础上,利用自主研制的新型便携式测量仪器———接触打孔器对硬性结构面进行机械化精细... 结构面表面形态与其力学性质密切相关,对结构面表面形态进行精细测量是研究结构面变形和强度等力学机理的基础。在分析国内外结构面测量仪器优缺点基础上,利用自主研制的新型便携式测量仪器———接触打孔器对硬性结构面进行机械化精细测量,应用效果表明:由接触打孔器获得的结构面粗糙度JRC值与结构面表面实际的JRC值十分接近。在此基础上,对硬性结构面进行尺寸效应分析,获得了结构面表面JRC值的统计方差随测量长度逐渐衰减的规律,并且计算分析了粗糙度对结构面剪切强度影响的极限长度,最后通过强风化粉砂岩节理、新鲜砂岩层面、泥岩层面进行了分析。结果表明,对于研究区强风化粉砂岩构造节理,当取样长度大于50cm时,可以消除剪切方向上起伏粗糙度尺寸效应;对于平直新鲜泥岩层面、平直的新鲜砂岩层面,当取样长度大于5cm时,可以消除剪切方向上起伏粗糙度尺寸效应。 展开更多
关键词 结构面 表面形态 测量工具 接触打孔器 强度尺寸效应
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基于偏折原理的太阳能槽式聚光器面形快速检测方法 被引量:9
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作者 肖君 魏秀东 +2 位作者 卢振武 任兰旭 申振锋 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期185-191,共7页
针对槽式太阳能热发电对聚光器面形检测的需求,在详细调研了太阳能聚光器面形检测现状的基础上,提出了一种基于偏折原理的太阳能槽式聚光器面形快速检测方法。采用一种自迭代算法进行曲面重建并且引入摄影法对被测镜位置进行快速定位,... 针对槽式太阳能热发电对聚光器面形检测的需求,在详细调研了太阳能聚光器面形检测现状的基础上,提出了一种基于偏折原理的太阳能槽式聚光器面形快速检测方法。采用一种自迭代算法进行曲面重建并且引入摄影法对被测镜位置进行快速定位,使操作更简单,测量速度更快,以适用于在线检测。详细阐述了该方法的测量原理,搭建了相应的实验平台,测量了一面槽式抛物镜的面形。实验结果表明该方法能快速、定性地给出被测镜的面形数据,验证了该方法的正确性和可行性。 展开更多
关键词 测量 太阳能热发电 太阳能聚光器 面形检测 偏折法
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大口径光学件误差均化拼接技术 被引量:6
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作者 程刚 蒋世磊 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期118-120,129,共4页
运用子孔径检测及拼接的方法可完成大口径光学件面形的干涉测量。为了能够减少子孔径拼接的误差累积与数据处理算法带来的精度影响,运用子孔径拼接的误差拼接算法,并通过对实验检测数据的处理,得到拼接结果与全孔径检测结果比较,面形波... 运用子孔径检测及拼接的方法可完成大口径光学件面形的干涉测量。为了能够减少子孔径拼接的误差累积与数据处理算法带来的精度影响,运用子孔径拼接的误差拼接算法,并通过对实验检测数据的处理,得到拼接结果与全孔径检测结果比较,面形波面峰谷值相差0.084,均方根值相差0.01,误差在Veeco光学干涉测量仪器的公差范围内。实验结果验证了误差均化算法可有效减少误差的传递与累积,实现子孔径拼接技术对大口径光学件的正确检测。 展开更多
关键词 子孔径拼接 大口径光学件 误差均化法 面形测量
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位相测量轮廓术中相移误差和最佳相移次数的研究 被引量:5
7
作者 梁晓萍 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期68-72,共5页
位相测量轮廓术是三维面形测量的一种重要方法。它采用的离散相移技术要求精确的相移,在实际系统中不可避免地存在着相移误差,它将导致计算位相和重建面形的误差。本文利用已建立的三维面形仿真系统,定量研究了在不同线性相移误差下... 位相测量轮廓术是三维面形测量的一种重要方法。它采用的离散相移技术要求精确的相移,在实际系统中不可避免地存在着相移误差,它将导致计算位相和重建面形的误差。本文利用已建立的三维面形仿真系统,定量研究了在不同线性相移误差下所引起的位相误差和面形误差大小。本文还讨论了应如何选取最佳的相移次数。本文的工作可为实际测量系统的校准提供理论数据,对实际测量工作具有指导意义。 展开更多
关键词 面形测量 轮廓测量 三维测量 相位测量 相移
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用功率谱密度函数评价光学面形中频误差特性 被引量:4
8
作者 徐芳 魏全忠 伍凡 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第S1期139-143,共5页
采用二维PSD功率谱密度函数来评价光学元件面形中频波前.而这部分波前误差在传统的分析中被表示为"残余量".它们产生的散射会严重地影响光学系统的成象质量。简要叙述了PSD的计算方法及实验结果。
关键词 面形测量 光学器件 功率谱密度函数 傅里叶分析
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全视场外差长腔干涉测量技术 被引量:6
9
作者 伍洲 李杨 +4 位作者 相里斌 张文喜 孔新新 尚万祺 吕彤 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期189-194,共6页
提出了一种适用于长焦光学镜片面形测量的新型激光干涉仪。利用全视场外差移相技术能有效抑制振动和大气等环境因素对长腔干涉测量的影响,采用Twyman-Green干涉仪结构,实现测量波面和参考波面的外差相干测量。搭建了实验验证系统,实验... 提出了一种适用于长焦光学镜片面形测量的新型激光干涉仪。利用全视场外差移相技术能有效抑制振动和大气等环境因素对长腔干涉测量的影响,采用Twyman-Green干涉仪结构,实现测量波面和参考波面的外差相干测量。搭建了实验验证系统,实验证明该方案能较好地抑制外界振动和大气湍流对测量精度的影响,实现了较高精度的长腔干涉测量,仪器的RMS(Root Mean Square)重复测量精度达到0.45‰λ。该技术可以作为长腔干涉测量的可选方案之一。 展开更多
关键词 测量 全视场外差 长腔干涉 面形检测 低差频移相
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大口径天线主反射面面形快速摄影测量方法研究
10
作者 古丽加依娜·哈再孜汗 王娜 +1 位作者 许谦 薛飞 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2024年第1期65-74,共10页
本文针对110 m口径全可动射电望远镜(QiTai Radio Telescope, QTT)全工况下主反射面面形快速高精度测量问题提出了一种基于图像传感器的快速摄影测量方法.该方法将天线主反射面分成16个测量单元,通过每个测量单元的不同焦距的两台相机... 本文针对110 m口径全可动射电望远镜(QiTai Radio Telescope, QTT)全工况下主反射面面形快速高精度测量问题提出了一种基于图像传感器的快速摄影测量方法.该方法将天线主反射面分成16个测量单元,通过每个测量单元的不同焦距的两台相机测量反射面上固定靶标点的像素偏移量,并根据像素偏移量与天线反射面法向偏差之间的关系计算出反射面的变形量.通过优化确定了每个测量单元靶标点的数目,分析了面形测量精度影响因素,确定了每个测量单元上不同焦距的两个相机的安装位置和焦距等关键参数.该方法可以提高测量效率和精度,为大口径天线反射面快速测量提供了一种新的解决方案. 展开更多
关键词 QTT 大口径射电望远镜 面形测量 摄影测量
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用于曲面轮廓测量的结构光视觉技术研究 被引量:5
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作者 洪华杰 甘子豪 +1 位作者 何科延 顾海鹏 《自动化仪表》 CAS 2021年第7期1-5,共5页
复杂曲面零件在高新技术领域具有重要的应用价值,其面形测量技术逐渐成为制约这类零件制造性能的关键因素。结构光法属于一类非接触式三维测量方法,目前已成为机器视觉测量领域的重要分支:针对结构光法测量曲面轮廓涉及的关键技术问题,... 复杂曲面零件在高新技术领域具有重要的应用价值,其面形测量技术逐渐成为制约这类零件制造性能的关键因素。结构光法属于一类非接触式三维测量方法,目前已成为机器视觉测量领域的重要分支:针对结构光法测量曲面轮廓涉及的关键技术问题,开展了国内外研究现状分析J剩述了结构光视觉系统装置的优化设计理念,分析了各类结构光编码算法的应用特点;论述了结构光系统标定方法的研究成果,总结了基于结构光法实现曲面轮廓重构的科研动态。结合研究现状与技术特点的分析,提出将结构光三维测量法应用于自由曲面等复杂面形测量,有望克服三坐标测量法、零位补偿干涉检测法等传统方法存在的不足之处。最后,对结构光法测量三维面形的发展趋势进行了预测。 展开更多
关键词 复杂曲面 面形测量 结构光 三维测量 机器视觉 编码算法 系统标定 轮廓重构
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光学自由曲面测量与误差评估技术研究进展 被引量:1
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作者 王施相 孔令豹 吕昊宇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期235-254,共20页
光学自由曲面是现代精密光学领域的重大变革,因其优异的光学、力学性能而有望进一步推进光学系统实现微型化、轻量化、集成化。随着光学自由曲面的面形复杂度不断提升,光学自由曲面的检测技术已成为制约其制造水平的关键因素。回顾了近... 光学自由曲面是现代精密光学领域的重大变革,因其优异的光学、力学性能而有望进一步推进光学系统实现微型化、轻量化、集成化。随着光学自由曲面的面形复杂度不断提升,光学自由曲面的检测技术已成为制约其制造水平的关键因素。回顾了近年来光学自由曲面测量与误差评估的关键技术,包括点线式扫描、全口径光学测量方法以及面形误差评估方法,结合各种技术的优缺点,展望了该领域未来发展的新趋势,并介绍了一种结合多传感器实现共体自由曲面的测量及误差评估的新方法。 展开更多
关键词 光学设计 光学自由曲面 精密测量 面形测量 误差评估 误差参数
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一种用于光学平面面形误差绝对测量的新方法 被引量:5
13
作者 赵华伟 王军 《应用光学》 CAS CSCD 1991年第2期53-55,共3页
本文探讨了一种可绝对测量光学平面面形误差的新方法,利用该方法可以消除或修正干涉仪测量光学平面面形误差时所存在的固有系统误差和参考光学平面本身的面形误差,同时也对干涉仪进行了绝对校准。
关键词 光学平面 面形误差 测量
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基于条纹光流的物体面形测量技术 被引量:4
14
作者 代晴 孙平 +1 位作者 类智方 唐钰欣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期192-198,共7页
提出一种运用条纹光流实现物体面形测量的新技术。介绍光流法测量面形的原理,从光流的视角分析投影条纹的变化,建立平行投影条件下光流与被测面形高度及相位分布之间的理论关系。对建立的球冠几何模型进行数值模拟,验证光流法直接计算... 提出一种运用条纹光流实现物体面形测量的新技术。介绍光流法测量面形的原理,从光流的视角分析投影条纹的变化,建立平行投影条件下光流与被测面形高度及相位分布之间的理论关系。对建立的球冠几何模型进行数值模拟,验证光流法直接计算面形高度的可行性;对实际物体面形的测量与相移法测量结果对比,证明光流法能够准确恢复物面相位,并且对物面空洞区引入的噪声有较好的稳健性。不同于传统的面形测量技术,光流法仅需要二帧图像就可精确恢复高度分布或相位分布。由于光流法方法本身含有时间因子,且仅需两幅图像就能直接得到面形分布,所以比相移法更适合动态测量。 展开更多
关键词 测量 面形测量 投影条纹 相移 条纹光流
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液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定 被引量:3
15
作者 马致遥 陈磊 +4 位作者 郑东晖 马海颖 李若琨 黄晨 胡晨辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第2期440-449,共10页
在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基... 在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定。针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准。通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25。为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性。 展开更多
关键词 干涉测量 液面基准 表面形状测量 系统误差
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显示器面形对拼接偏折术测量精度的影响研究
16
作者 陈飞 李大海 +1 位作者 张新伟 王瑞阳 《光学与光电技术》 2023年第4期15-25,共11页
偏折术作为一种高精度的面形检测方法,其测量精度不仅依赖于系统参数的标定精度,还受到显示器面形的影响,尤其是对于常用的基于平面镜反射模型实现系统标定的偏折术测量系统,显示器面形还会直接影响系统参数的标定精度。为了研究显示器... 偏折术作为一种高精度的面形检测方法,其测量精度不仅依赖于系统参数的标定精度,还受到显示器面形的影响,尤其是对于常用的基于平面镜反射模型实现系统标定的偏折术测量系统,显示器面形还会直接影响系统参数的标定精度。为了研究显示器面形对拼接偏折术测量精度的影响,首先预设了不同形变量的显示器面形,再依据提出的计算方法分析了其对系统标定精度以及测量精度的影响,结果证明显示器面形不仅会降低系统参数的标定精度,还会在待测元件的面形测量结果中引入较大的低阶项及高阶项误差。最后通过与实验结果对比,进一步验证了所提出方法的正确性,该研究为拼接偏折术检测系统的测量误差提供了一种定量计算分析方法。 展开更多
关键词 拼接偏折术 显示器面形 相机标定 低高阶误差 测量精度
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基于L-K局域光流的空间视线坐标法面形测量技术 被引量:3
17
作者 孙平 范超 +3 位作者 代晴 唐钰欣 类智方 胡春华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期160-167,共8页
提出了一种基于L-K局域光流的空间视线面形测量技术.测量系统由一个投影仪和一个CCD摄像机组成,采用小投影角度的投影方式.通过投影光线与视线(观测光线)的交点坐标,直接计算得出被测物体三维面形高度分布,其中条纹图中观察位置的变化由... 提出了一种基于L-K局域光流的空间视线面形测量技术.测量系统由一个投影仪和一个CCD摄像机组成,采用小投影角度的投影方式.通过投影光线与视线(观测光线)的交点坐标,直接计算得出被测物体三维面形高度分布,其中条纹图中观察位置的变化由L-K光流算法计算得到.建立了在点光源投影条件下投影光线与视线交点坐标、光流与被测物体面形高度之间的关系.模拟与实验结果证明该方法能够准确恢复被测物体高度.与传统面形测量方法不同,视线光流面形测量技术不需要采集多幅条纹图像,也无需计算条纹频率和物体相位值,只需两幅条纹图即可恢复物体面形高度分布. 展开更多
关键词 面形测量 光流 视线 投影线 坐标法
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动态傅里叶变换轮廓术实现路面形变快速检测 被引量:3
18
作者 付林 贺安之 +1 位作者 李振华 杨庆 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期115-118,共4页
公路表面的三维结构对于判断公路路面破损状况具有重要的意义。基于光栅投影的傅里叶变换轮廓术将物体的高度信息编码在投影到待测物面上的正弦条纹的形变信息中,可以实现对物体的垂直测量。探讨了傅里叶变换轮廓术在高速公路路面面形测... 公路表面的三维结构对于判断公路路面破损状况具有重要的意义。基于光栅投影的傅里叶变换轮廓术将物体的高度信息编码在投影到待测物面上的正弦条纹的形变信息中,可以实现对物体的垂直测量。探讨了傅里叶变换轮廓术在高速公路路面面形测量-动态实时系统中的应用,提出了利用自适应标准模版匹配,基于特征图像识别的方法,分选破损的公路路面,从而实现对高速公路路面形变的快速实时检测。 展开更多
关键词 傅里叶变换 轮廓术 面形测量 公路
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基于Brox光流估计的物体面形测量新方法 被引量:2
19
作者 唐钰欣 孙平 +2 位作者 代晴 范超 类智方 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第17期112-122,共11页
提出了一种利用光流场原理测量物体面形的新方法。测量系统由投影仪、被测物体以及CCD摄像机组成。将光栅条纹以小角度投影到参考平面上,分别采集被测物体加入前后的两幅条纹图像。对测量系统的空间几何结构进行分析,以参考面为参照系,... 提出了一种利用光流场原理测量物体面形的新方法。测量系统由投影仪、被测物体以及CCD摄像机组成。将光栅条纹以小角度投影到参考平面上,分别采集被测物体加入前后的两幅条纹图像。对测量系统的空间几何结构进行分析,以参考面为参照系,建立了投影仪、摄像机、观测点三者的位移与物面高度的空间关系,其中,观测点的位移是基于Brox光流算法通过估计两帧图像间的光流分布得到的。针对测量系统导致的测量结果与实际形状不一致的问题,结合球冠几何模型的数值模拟结果,分析了误差产生的原因,提出了修正方法。理论模拟结果和实际测量结果验证了所提方法的可行性。与傅里叶变换法进行了比较,证实了所提方法仅用两帧图像即可精确地恢复物体的高度信息,实验过程简单,有效缩短了测量时间,且适用于动态测量。 展开更多
关键词 测量 面形测量 傅里叶变换 Brox光流法 误差修正
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国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势(考察报告) 被引量:2
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作者 姚汉民 刘业异 +1 位作者 赵佩云 杨中山 《光电工程》 CAS CSCD 1994年第5期51-62,共12页
讲述了参观Semicon/west94′展览会及考察美国和西德的5个公司、1所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。
关键词 投影式光刻机 电子束曝光机 面形测量 透镜
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