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论超高压汞灯特性和控制方式 被引量：4
1
作者 刘卫平 《电子工业专用设备》 2012年第8期35-39,共5页
分析了超高压汞灯的特性和对电源的控制要求,对各种控制方式进行了归纳和比较,提出了最佳的方案。
关键词 超高压汞灯 光强控制 传感器 光积分
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超高压汞灯功率控制研究 被引量：1
2
作者 刘卫平 葛劢冲 《电子工业专用设备》 2012年第4期40-42,共3页
介绍了一种光刻机超高压汞灯电源,采用模拟功率反馈控制,有效提高了光源稳定性;重点阐述了恒功率控制的原理和主要电路结构。
关键词 超高压汞灯 恒功率控制 模拟乘法器 传感器
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超高压汞灯电源高压大电流触发干扰分析与抑制措施研究
3
作者 刘卫平 刘金荣 《电子工业专用设备》 2012年第11期32-35,共4页
分析了超高压汞灯电源启动时高压大电流电磁干扰的产生机理,针对启动时高压大电流触发干扰,从频域,空域和时域方面,提出了抑制干扰的方法和措施。
关键词 超高压汞灯电磁干扰干扰抑制电磁兼容
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