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分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
被引量：
1
1
作者
于淼
《黑龙江科学》
2017年第20期38-39,共2页
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜...
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜实现了微纳线栅结构的表征。分焦平面偏振成像克服了偏振成像中不能同时成像、系统不稳定的缺陷,能够很好的适应多种复杂的探测环境。
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关键词
分焦平面
像素偏振片
电子束曝光
反应离子束刻蚀
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职称材料
分焦平面偏振图像传感器偏振主轴方向的标定
被引量：
9
2
作者
白杨
赵开春
尤政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期31-37,共7页
分焦平面偏振图像传感器的偏振主轴方向对后续使用斯托克斯矢量进行偏振参数解算的结果准确性有重要影响。为了标定该类型传感器,提出一种基于测量分焦平面偏振图像传感器中各偏振主轴方向像素输出平均值所拟合曲线相位差的方法,并对该...
分焦平面偏振图像传感器的偏振主轴方向对后续使用斯托克斯矢量进行偏振参数解算的结果准确性有重要影响。为了标定该类型传感器,提出一种基于测量分焦平面偏振图像传感器中各偏振主轴方向像素输出平均值所拟合曲线相位差的方法,并对该方法进行了仿真与实际测试。控制照射到传感器表面的线偏振光,按照设定步长旋转若干周期,传感器同时拍摄图片。选定图片的感兴趣区域,并对该区域内同偏振主轴方向的像素值求平均,获得各偏振主轴方向像素平均值随旋转角度变化的序列。使用傅里叶级数拟合法对各序列进行拟合,获得像素输出值随旋转角度变化的表达式。选定一个偏振主轴方向为基准方向,其他偏振主轴方向为该方向表达式与基准方向表达式的相位差。实际测试结果表明:标定值与名义值相差不超过0.1°。该方法的标定精度高、可操作性好,能够较好地完成分焦平面偏振图像传感器偏振主轴方向的标定任务。
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关键词
测试计量技术及仪器
分焦平面
偏振图像传感器
超像素
偏振主轴
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职称材料
题名
分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
被引量：
1
1
作者
于淼
机构
长春理工大学
出处
《黑龙江科学》
2017年第20期38-39,共2页
文摘
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜实现了微纳线栅结构的表征。分焦平面偏振成像克服了偏振成像中不能同时成像、系统不稳定的缺陷,能够很好的适应多种复杂的探测环境。
关键词
分焦平面
像素偏振片
电子束曝光
反应离子束刻蚀
Keywords
sub
-
focal
plane
Polarizing
plate
Electron
beam
exposure
Reactive
ion
beam
etching
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
分焦平面偏振图像传感器偏振主轴方向的标定
被引量：
9
2
作者
白杨
赵开春
尤政
机构
清华大学精密仪器系
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期31-37,共7页
基金
教育部联合基金资助项目(No.6141A02022606)。
文摘
分焦平面偏振图像传感器的偏振主轴方向对后续使用斯托克斯矢量进行偏振参数解算的结果准确性有重要影响。为了标定该类型传感器,提出一种基于测量分焦平面偏振图像传感器中各偏振主轴方向像素输出平均值所拟合曲线相位差的方法,并对该方法进行了仿真与实际测试。控制照射到传感器表面的线偏振光,按照设定步长旋转若干周期,传感器同时拍摄图片。选定图片的感兴趣区域,并对该区域内同偏振主轴方向的像素值求平均,获得各偏振主轴方向像素平均值随旋转角度变化的序列。使用傅里叶级数拟合法对各序列进行拟合,获得像素输出值随旋转角度变化的表达式。选定一个偏振主轴方向为基准方向,其他偏振主轴方向为该方向表达式与基准方向表达式的相位差。实际测试结果表明:标定值与名义值相差不超过0.1°。该方法的标定精度高、可操作性好,能够较好地完成分焦平面偏振图像传感器偏振主轴方向的标定任务。
关键词
测试计量技术及仪器
分焦平面
偏振图像传感器
超像素
偏振主轴
Keywords
measurement
technology
and
instrument
sub
focal
plane
polarization
image
sensor
super
pixel
polarization
axis
分类号
TM930.12 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN06 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
于淼
《黑龙江科学》
2017
1
下载PDF
职称材料
2
分焦平面偏振图像传感器偏振主轴方向的标定
白杨
赵开春
尤政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
9
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职称材料
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