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用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
1
作者
唐宇
罗谦
+2 位作者
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期180-188,共9页
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结...
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结果表明,多晶硅光源发光特征峰为635 nm、700 nm和785 nm,该特征峰作为波导入射光源时,设计的全硅波导检测结构能够实现检测目的。
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关键词
单片集成
硅基光源
氮化硅波导
生物传感器
折射率传感
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职称材料
硅基光电子学的最新进展
被引量:
28
2
作者
王兴军
苏昭棠
周治平
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2015年第1期1-31,共31页
随着人们对信息容量、速度以及成本的迫切要求,低成本、高度集成的硅基光电子学蓬勃发展,成为光通信、高速计算机等领域的研究热点和非常有前景的关键技术.硅基光电子学是一种可以用硅基集成电路上的投资、设施、经验以及技术来设计、...
随着人们对信息容量、速度以及成本的迫切要求,低成本、高度集成的硅基光电子学蓬勃发展,成为光通信、高速计算机等领域的研究热点和非常有前景的关键技术.硅基光电子学是一种可以用硅基集成电路上的投资、设施、经验以及技术来设计、制造、封装光器件和光电集成电路,在集成度、可制造性和扩展性方面达到集成电路的水平,从而在成本、功耗、尺寸上取得突破的一种技术.最近几年,硅基光电子集成技术已经发展到了一个崭新的阶段,各个关键的硅基光电子器件都已经达到商用化的标准,部分性能甚至超过目前的商用器件,引起了产业界的广泛关注.本文从硅基光电子学的几个关键器件入手,包括波导、光栅、偏振分束器、混频器、滤波器、调制器、探测器和激光器,详细介绍了该方向的研究进展,特别是最近5年的重大突破;随后介绍了硅基光电子学在光互连、光通信、光传感、太阳能电池等几方面的重大应用;最后提出硅基光电子学未来发展方向和目前面临的主要挑战.
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关键词
硅基光电子学
硅基发光
硅基调制器
锗探测器
无源器件
原文传递
题名
用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
1
作者
唐宇
罗谦
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件全国重点实验室
东南大学国家ASIC工程中心
南非大学电子工程系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期180-188,共9页
基金
国家自然科学基金(No.62174018)
四川省科技厅重点研发项目(No.2023YFG0141)。
文摘
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结果表明,多晶硅光源发光特征峰为635 nm、700 nm和785 nm,该特征峰作为波导入射光源时,设计的全硅波导检测结构能够实现检测目的。
关键词
单片集成
硅基光源
氮化硅波导
生物传感器
折射率传感
Keywords
Monolithic
integrated
silicon
-
based
light
source
silicon
nitride
waveguide
Biosensor
Refractive
index
sensing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
硅基光电子学的最新进展
被引量:
28
2
作者
王兴军
苏昭棠
周治平
机构
北京大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家实验室
出处
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2015年第1期1-31,共31页
基金
国家高技术研究发展计划(编号:2011AA010302)
国家自然科学基金(批准号:61036011
+2 种基金
61377056
61120106012)
教育部新世纪优秀人才计划资助项目
文摘
随着人们对信息容量、速度以及成本的迫切要求,低成本、高度集成的硅基光电子学蓬勃发展,成为光通信、高速计算机等领域的研究热点和非常有前景的关键技术.硅基光电子学是一种可以用硅基集成电路上的投资、设施、经验以及技术来设计、制造、封装光器件和光电集成电路,在集成度、可制造性和扩展性方面达到集成电路的水平,从而在成本、功耗、尺寸上取得突破的一种技术.最近几年,硅基光电子集成技术已经发展到了一个崭新的阶段,各个关键的硅基光电子器件都已经达到商用化的标准,部分性能甚至超过目前的商用器件,引起了产业界的广泛关注.本文从硅基光电子学的几个关键器件入手,包括波导、光栅、偏振分束器、混频器、滤波器、调制器、探测器和激光器,详细介绍了该方向的研究进展,特别是最近5年的重大突破;随后介绍了硅基光电子学在光互连、光通信、光传感、太阳能电池等几方面的重大应用;最后提出硅基光电子学未来发展方向和目前面临的主要挑战.
关键词
硅基光电子学
硅基发光
硅基调制器
锗探测器
无源器件
Keywords
silicon
photonics,
silicon
based
light
source
,
silicon
modulator,
germanium
detector,
passive
device
分类号
O431 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
唐宇
罗谦
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
硅基光电子学的最新进展
王兴军
苏昭棠
周治平
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2015
28
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