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题名非接触式压力微传感器的设计
被引量：2
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作者
褚丹雷
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机构
厦门大学机电工程系
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第2期34-37,共4页
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文摘
非接触式压力传感器利用特殊的机械结构,大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小,线性度较差等问题,使压力传感器在高载荷条件下,由小扰度向大扰度过渡时,不产生非线性跳变,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。
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关键词
非接触式压力微传感器
MEMS
扰度
硅梁
设计
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Keywords
untouched-mode pressure micro sensor
MEMS
distortion,silicic girder
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分类号
TP212.12
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名非接触式压力微传感器的设计
- 2
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作者
褚丹雷
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机构
厦门大学机电工程系
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2001年第12期4-6,共3页
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文摘
就如何利用MEMS技术 ,实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构 ,大大改善了传统接触式压力传感器 ,工作区域狭小 ,线性度较差等问题 ,使压力传感器在高载荷条件下 ,由小扰度向大扰度过渡时 ,不产生非线性跳变 ,从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。
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关键词
压力微传感器
MEMS
扰度
硅梁
设计
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Keywords
Untouched-Mode Pressure Micro Sensor
MEMS
silicic girder
Distortion
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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