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超薄基区SiGe HBT基区渡越时间能量传输模型 被引量:2
1
作者 蔡瑞仁 李垚 刘嵘侃 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期618-621,共4页
通过求解玻尔兹曼能量平衡方程,得出基区的电子温度分布,建立了考虑电子温度变化,适用于超薄基区SiGe HBT的基区渡越时间模型。该模型考虑了电子温度对迁移率的影响,基区重掺杂和Ge引起的禁带变窄效应及速度饱和效应。比较了用能量传模... 通过求解玻尔兹曼能量平衡方程,得出基区的电子温度分布,建立了考虑电子温度变化,适用于超薄基区SiGe HBT的基区渡越时间模型。该模型考虑了电子温度对迁移率的影响,基区重掺杂和Ge引起的禁带变窄效应及速度饱和效应。比较了用能量传模型与漂移扩散模型计算的截止频率,利用器件模拟软件ATLAS进行了模拟,结果与能量传输模型计算结果吻合。 展开更多
关键词 锗硅异质结双极晶体管 超薄基区 能量传输模型 基区渡越时间 速度饱和效应
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γ辐照对SiGe HBT特性的影响 被引量:2
2
作者 杨晨 刘轮才 +5 位作者 龚敏 蒲林 程兴华 谭开州 王健安 石瑞英 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期587-590,共4页
对室温下γ射线辐照对SiGe异质双极晶体管(HBT)直流特性的影响进行了研究.结果表明,γ辐照后SiGe HBT的集电极电流和基极电流都有不同程度的增加,直流电流增益减少.并对γ辐照后引起SiGe HBT集电极电流净增加的原因进行了探讨.这可能有... 对室温下γ射线辐照对SiGe异质双极晶体管(HBT)直流特性的影响进行了研究.结果表明,γ辐照后SiGe HBT的集电极电流和基极电流都有不同程度的增加,直流电流增益减少.并对γ辐照后引起SiGe HBT集电极电流净增加的原因进行了探讨.这可能有助于其抗辐照模型的建立. 展开更多
关键词 sigeHBT 基极电流 集电极电流 Γ辐照
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一种采用BiCMOS工艺的SiGeHBT基区生长方法
3
作者 杨洪东 李竞春 +3 位作者 于奇 周谦 谭开州 张静 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期589-592,共4页
为抑制SiGeHBT基区生长过程中岛状物生成,降低位错密度,基于渐变温度控制方法和图形外延技术,结合BiCMOS工艺,研发了在Si衬底上制备高质量Si1-xGex基区的外延生长方法。通过原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线双晶衍射(XRD... 为抑制SiGeHBT基区生长过程中岛状物生成,降低位错密度,基于渐变温度控制方法和图形外延技术,结合BiCMOS工艺,研发了在Si衬底上制备高质量Si1-xGex基区的外延生长方法。通过原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线双晶衍射(XRD)测试,显示所生长的Si1,Gex基区表面粗糙度为0.45nm,穿透位错密度是0.3×103~1.2×103cm-2。,在窗口边界与基区表面未发现位错堆积与岛状物。结果表明,该方法适宜生长高质量的SiGeHBT基区,可望应用于SiGeBiCMOS工艺中HBT的制备。 展开更多
关键词 锗硅基区 渐变温度控制 图形外延 锗硅BiCMOS
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双极器件中硅基区和锗硅基区的禁带变窄量
4
作者 金海岩 张利春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期456-459,共4页
采用一种新的方法计算双极器件中离子注 B硅基区和原位掺 B的锗硅基区禁带变窄量 .在器件基区的少子迁移率、多子迁移率和方块电阻已知的情况下 ,应用这种方法只需测量室温和液氮温度下的电学特性就可以获得禁带变窄量 .这种方法从双极... 采用一种新的方法计算双极器件中离子注 B硅基区和原位掺 B的锗硅基区禁带变窄量 .在器件基区的少子迁移率、多子迁移率和方块电阻已知的情况下 ,应用这种方法只需测量室温和液氮温度下的电学特性就可以获得禁带变窄量 .这种方法从双极晶体管的集电极电流公式出发 ,利用 VBE做自变量 ,在室温和液氮温度下测量器件的Gum mel图 ,选取 ln IC随 VBE变化最为线性的一部分读出 VBE及相应的 IC数值 ,获得两条 VBE- ln IC直线 ,通过求解两条直线的交点可以计算出基区的禁带变窄量ΔEG.利用这种方法测试了硅双极器件和锗硅基区双极器件 ,其基区禁带变窄量分别为 41me V和 12 5 me V,这个测量结果与文献中的数值符合较好 . 展开更多
关键词 双极晶体管 锗硅基区 禁带变窄量 硅基区 双极器件
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SiGe HBT基区渡越时间模型 被引量:11
5
作者 林大松 张鹤鸣 +2 位作者 戴显英 孙建诚 何林 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期456-461,共6页
建立了SiGeHBT基区渡越时间模型 .该模型考虑了电流密度及基区掺杂和Ge组分所引起的各种物理效应 ,适用于基区掺杂和Ge组分为均匀和非均匀分布 ,以及器件在小电流到大电流密度下的应用 .模拟结果表明 ,基区集电结边界处载流子浓度引起... 建立了SiGeHBT基区渡越时间模型 .该模型考虑了电流密度及基区掺杂和Ge组分所引起的各种物理效应 ,适用于基区掺杂和Ge组分为均匀和非均匀分布 ,以及器件在小电流到大电流密度下的应用 .模拟结果表明 ,基区集电结边界处载流子浓度引起的基区附加延时对基区渡越时间有较大的影响 . 展开更多
关键词 异质结双极晶体管 锗化硅 HBT 基区渡越时间模型
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SiGe HBT基区渡越时间与基区Ge组分剖面优化 被引量:9
6
作者 张鹤鸣 戴显英 +2 位作者 林大松 孙建诚 何林 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期305-308,共4页
建立了SiGeHBT基区渡越时间与基区Ge组分任意剖面分布的分析模型 ,模拟分析了它们之间的关系 ,得到了获得最小基区渡越时间的基区Ge组分剖面函数 .结果表明 ,优化的Ge组分剖面在基区从发射结处正比于 xα 增加 ,到x0 点时 ,Ge组分达峰... 建立了SiGeHBT基区渡越时间与基区Ge组分任意剖面分布的分析模型 ,模拟分析了它们之间的关系 ,得到了获得最小基区渡越时间的基区Ge组分剖面函数 .结果表明 ,优化的Ge组分剖面在基区从发射结处正比于 xα 增加 ,到x0 点时 ,Ge组分达峰值 ,并保持到收集结处 .α是大于 1的数 ,随基区中收集结侧相对发射结侧禁带变化量的增加而减小 ,x0 展开更多
关键词 HBT 组分剖面 基区渡越时间 锗化硅
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SiGe HBT大电流密度下的基区渡越时间模型 被引量:7
7
作者 戴显英 吕懿 +3 位作者 张鹤鸣 何林 胡永贵 胡辉勇 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期86-89,共4页
 在考虑基区扩展效应及载流子浓度分布的基础上,建立了SiGeHBT的基区渡越时间模型。该模型既适合产生基区扩展的大电流密度,又适合未产生基区扩展的小电流密度。模拟分析结果表明,与SiBJT相比,SiGeHBT基区渡越时间显著减小,同时表明,...  在考虑基区扩展效应及载流子浓度分布的基础上,建立了SiGeHBT的基区渡越时间模型。该模型既适合产生基区扩展的大电流密度,又适合未产生基区扩展的小电流密度。模拟分析结果表明,与SiBJT相比,SiGeHBT基区渡越时间显著减小,同时表明,载流子浓度分布对基区渡越时间有较大影响。 展开更多
关键词 sige-HBT 大电流密度 基区渡越时间模型 载流子浓度分布 迁移率 锗化硅
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SiGe异质结双极晶体管基区渡越时间分析 被引量:4
8
作者 苏文勇 李蕊 邵彬 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期522-525,共4页
对SiGe异质结双极晶体管(HBT)的基区渡越时间进行了计算和分析,考虑了基区掺杂和Ge组分分布对本征载流子浓度和电子迁移率的影响,以及大电流密度下产生的感应基区(CIB)的渡越时间.结果表明,Ge组分为转折点X1/Wb≈0.12的矩形-三角形分布... 对SiGe异质结双极晶体管(HBT)的基区渡越时间进行了计算和分析,考虑了基区掺杂和Ge组分分布对本征载流子浓度和电子迁移率的影响,以及大电流密度下产生的感应基区(CIB)的渡越时间.结果表明,Ge组分为转折点X1/Wb≈0.12的矩形-三角形分布时,可得到最小的基区渡越时间;Ge分布对SiGe和Si的有效态密度之比的影响很小,但对迁移率的影响较大;基区掺杂为指数分布或高斯分布对基区渡越时间影响很小. 展开更多
关键词 sige异质结双极晶体管 基区渡越时间 Ge分布
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温度、Ge含量和掺杂浓度对Si_(1-x)Ge_x禁带宽度的影响 被引量:4
9
作者 金海岩 张利春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1122-1126,共5页
提出了锗硅材料禁带宽度随锗含量、温度及掺杂浓度变化的经验公式 ,改善了以往经验公式局限性较大的缺点 ,拓宽了公式的使用范围 .分析并计算了不同温度、掺杂浓度以及不同材料的禁带变窄量 ,与实验数据进行了对比 ,两者符合得很好 .
关键词 掺杂浓度 温度 锗硅材料 禁带宽度
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A novel approach for justification of box-triangular germanium profile in SiGe HBTs 被引量:1
10
作者 Gagan Khanduri Brishbhan Panwar 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第2期48-55,共8页
This work presents a unique and robust approach for validation of using the box-triangular germanium profile in the base of SiGe heterojunction bipolar transistors, where the methodology considers the simultaneous opt... This work presents a unique and robust approach for validation of using the box-triangular germanium profile in the base of SiGe heterojunction bipolar transistors, where the methodology considers the simultaneous optimization of the p-type base doping profile in conjunction with the germanium profile in the base. The study analyses the electron motion across the SiGe base in SiGe HBTs, owing to different accelerating electric fields. The analysis first presents a figure of merit, to achieve the minimum electron transit time across the base in conjunction with the increased current gain in n-p-n-SiGe HBTs, which shows a general trend vis-a-vis the advantage of a trapezoid germanium profile, but with additional accuracy as we considered simultaneously optimized p-type base doping. The effect of minority carrier velocity saturation is then included to make the study more detailed. The analysis then investigates the shifted germanium profile in the base to further minimize the base transit time. Finally, it is shown that a shifted germanium profile eventually evolves into a box-triangular Ge-profile in the SiGe base, which could simultaneously minimize the base transit time and reduce emitter delay by virtue of the high current gain. The analysis verifies that for an average Ge-dose of 7.5% Ge across the base, a box-triangular germanium profile in conjunction with an optimum base doping profile has an approximately identical base transit time and a 30% higher current gain, in comparison with an optimum base doping and triangular Ge-profile across the whole base. 展开更多
关键词 sige HBTs base transit time optimum base doping shifted Ge profile box-triangular germanium profile
原文传递
Ge组分分布对基区杂质非均匀分布的SiGe HBT温度特性的影响 被引量:2
11
作者 张瑜洁 张万荣 +5 位作者 金冬月 陈亮 付强 郭振杰 邢光辉 路志义 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期192-198,共7页
众所周知,双极型晶体管的设计主要是基区的设计.一般而言,基区的杂质分布是非均匀的.本文首先研究了非均匀的杂质高斯分布对器件温度分布、增益和截止频率的温度特性的影响,发现增益和截止频率具有正温度系数,体内温度较高.随后研究了基... 众所周知,双极型晶体管的设计主要是基区的设计.一般而言,基区的杂质分布是非均匀的.本文首先研究了非均匀的杂质高斯分布对器件温度分布、增益和截止频率的温度特性的影响,发现增益和截止频率具有正温度系数,体内温度较高.随后研究了基区Ge组分分布对这些器件参数的影响.均匀Ge组分分布和梯形Ge组分分布的SiGe异质结双极型晶体管增益和截止频率具有负温度系数,具有较好的体内温度分布.进一步的研究表明,具有梯形Ge组分分布的SiGe异质结双极型晶体管,由于Ge组分缓变引入了少子加速电场,不但使它的增益和截止频率具有较高的值,而且保持了较弱的温度敏感性,在增益、特征频率大小及其温度敏感性、体内温度分布达到了很好的折中. 展开更多
关键词 sige异质结双极型晶体管 温度特性 基区杂质分布 GE组分分布
原文传递
SiGe HBT基区渡越时间研究 被引量:1
12
作者 戴广豪 王生荣 +2 位作者 李文杰 李竞春 杨谟华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期608-610,614,共4页
对基于SiGe HBT基区本征载流子浓度和电子迁移率依赖于掺杂、基区Ge组分分布和速度饱和效应的基区渡越时间进行了研究。结果表明,相同Ge组分条件下,基区渡越时间bτ随WB由100 nm减薄到50 nm,降低了74.9%;相同WB,Ge组分为0.15比0.1 Ge组... 对基于SiGe HBT基区本征载流子浓度和电子迁移率依赖于掺杂、基区Ge组分分布和速度饱和效应的基区渡越时间进行了研究。结果表明,相同Ge组分条件下,基区渡越时间bτ随WB由100 nm减薄到50 nm,降低了74.9%;相同WB,Ge组分为0.15比0.1 Ge组分的bτ减小了33.7%。该研究与其他文献的结果相吻合,可为SiGe HBT基区设计提供一定的理论指导。 展开更多
关键词 sige HBT 基区渡越时间 速度饱和
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SiGe异质结双极晶体管的基区优化 被引量:1
13
作者 刘冬华 石晶 钱文生 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期431-434,共4页
对应用于高频微波功率放大器的SiGe异质结双极晶体管(HBT)的基区进行了优化。研究发现,器件对基区Ge组分以及掺杂浓度十分敏感。采用重掺杂基区,适当提高Ge组分并形成合适的浓度分布,可以有效地改进SiGe HBT的直流特性,同时能够提高器... 对应用于高频微波功率放大器的SiGe异质结双极晶体管(HBT)的基区进行了优化。研究发现,器件对基区Ge组分以及掺杂浓度十分敏感。采用重掺杂基区,适当提高Ge组分并形成合适的浓度分布,可以有效地改进SiGe HBT的直流特性,同时能够提高器件的特征频率。晶体管主要性能的提高使SiGe HBT技术在微波射频等高频电子领域得到更加广泛的应用。 展开更多
关键词 sige 异质结双极晶体管 基区优化 Ge组分 掺杂浓度
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采用新结构与新工艺降低SiGe HBT基区串联电阻 被引量:2
14
作者 史辰 杨维明 +2 位作者 刘素娟 徐晨 陈建新 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期255-259,共5页
采用新型调制掺杂量子阱基区结构和掩埋金属自对准工艺方法,在器件的纵向结构和制备手段上同时进行改进,使超薄基区小尺寸SiGeHBT的基区横向电阻和接触电阻分别降低42%和55%以上,有效解决了基区串联电阻的问题。
关键词 锗硅异质结双极晶体管 基区串联电阻 调制掺杂量子阱 掩埋金属自对准
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超薄基区SiGe HBT基区渡越时间模型
15
作者 李垚 廖小平 +2 位作者 吴晓洁 魏同立 许居衍 《应用科学学报》 CAS CSCD 2000年第3期259-262,共4页
通过分析SiGe HBT超薄基区中非平衡效应对载流子温度,扩散系数等参量的影响,建立了超薄SiGeHBT基区渡越时间模型。
关键词 sige 异质结双极晶体管 超薄基区 HBT
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Analytical Modeling of Base Transit Time of SiGe HBTS Including Concentration Dependent Bandgap Narrowing Effect
16
作者 Sukla Basu 《Journal of Electronic Science and Technology》 CAS 2010年第2期140-143,共4页
Heterojunction Bipolar Transistors with SiGe base and Si emitter and collector have increasingly become important in high speed applications in electronics due to better performance of these devices with a modest incr... Heterojunction Bipolar Transistors with SiGe base and Si emitter and collector have increasingly become important in high speed applications in electronics due to better performance of these devices with a modest increase in complexity of fabrication process. Speed of these devices is mainly determined by transit time of minority carriers across the device. Base transit time is the most important component of the total transit time. An analytical model is developed here to predict the variation of base transit time with Ge content, base doping concentration, temperature, and other device parameters. Studies have been made for both uniform and exponential doping distributions with different Ge profiles in the base region. Band gap narrowing effect due to high doping concentration is also taken into account in the model. 展开更多
关键词 Index Terms---base transit time bipolar transistor (HBT) sige heterojunction.
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基区重掺杂对SiGe HBT热学性能的影响
17
作者 付强 张万荣 +3 位作者 金冬月 谢红云 赵昕 王任卿 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期261-264,共4页
相对于同质结晶体管,异质结双极晶体管(HBT)由于异质结的存在,电流增益不再主要由发射区和基区掺杂浓度比来决定,因此可以通过增加基区掺杂浓度来降低基区电阻,提高频率响应,降低噪声系数,但基区掺杂浓度对器件热特性影响的研究却很少... 相对于同质结晶体管,异质结双极晶体管(HBT)由于异质结的存在,电流增益不再主要由发射区和基区掺杂浓度比来决定,因此可以通过增加基区掺杂浓度来降低基区电阻,提高频率响应,降低噪声系数,但基区掺杂浓度对器件热特性影响的研究却很少。以多指SiGeHBT的热电反馈模型为基础,利用自洽迭代法分析了基区重掺杂对器件集电极电流密度和发射极指温度的影响。通过研究发现,随着基区浓度的增加,SiGe HBT将发生禁带宽度变窄,基区反向注入发射区的空穴电流增大;同时,基区少子俄歇复合增强,这些都将减小集电极电流密度,降低发射极指温度,从而抑制发射极指热电正反馈,提高器件的热稳定性。 展开更多
关键词 sige异质结双极晶体管 基区重掺杂 热电正反馈 热学性能 掺杂浓度
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电子温度对SiGe HBT基区渡越时间的影响
18
作者 李蕊 杨双健 +2 位作者 王宗满 彭波 陈海俊 《重庆工学院学报(自然科学版)》 2009年第12期176-178,共3页
讨论了采用能量传输模型时的SiGe HBT基区电子温度分布,以及电子温度对基区渡越时间的影响.计算结果表明:基区电子温度呈现明显的不均匀分布,从发射极侧到集电极侧逐渐增大;电子温度分布主要由基区Ge分布决定,而基区掺杂对电子温度的影... 讨论了采用能量传输模型时的SiGe HBT基区电子温度分布,以及电子温度对基区渡越时间的影响.计算结果表明:基区电子温度呈现明显的不均匀分布,从发射极侧到集电极侧逐渐增大;电子温度分布主要由基区Ge分布决定,而基区掺杂对电子温度的影响不大.考虑基区电子温度分布时基区渡越时间减小,在较大的Ge分布梯度下,电子温度对基区渡越时间的影响不可忽略. 展开更多
关键词 sige HBT 电子温度 基区渡越时间
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基于电子温度效应的SiGe、SiGeC异质结晶体管的基区渡越时间模型
19
作者 高树钦 李壵 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期168-171,共4页
提出了SiGe和SiGeC异质结晶体管基区渡越时间的一种闭式物理模型,该模型考虑了电子温度效应.计入薄基区内强电场(该电场源起于Ge,C元素的掺杂)引起的电子温度变化,得到的基区渡越时间值与漂移-扩散模型有所不同.随着Ge含量的增加,两者... 提出了SiGe和SiGeC异质结晶体管基区渡越时间的一种闭式物理模型,该模型考虑了电子温度效应.计入薄基区内强电场(该电场源起于Ge,C元素的掺杂)引起的电子温度变化,得到的基区渡越时间值与漂移-扩散模型有所不同.随着Ge含量的增加,两者的差别不能再忽略. 展开更多
关键词 电子温度效应 sige异质结晶体管 sigeC异质结晶体管 基区渡越时间
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势垒效应对SiGe HBT基区渡越时间的影响
20
作者 李蕊 《重庆工学院学报》 2007年第15期133-135,共3页
在已有的SiGe HBT基区渡越时间模型的基础上,考虑了势垒效应对其产生的影响以及与基区Ge分布的关系.结果表明:大电流密度下的势垒效应会增大基区渡越时间,基区Ge的不均匀分布并不能完全起到减小基区渡越时间的作用.
关键词 sige HBT 基区渡越时间 势垒效应
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