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Si薄膜在预结构基底上生长的动力学蒙特卡罗模拟 被引量：1
1
作者 陈书汉 卜寿亮 《暨南大学学报（自然科学与医学版）》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期201-204,共4页
通过引入周期性排列波浪形预结构基底,建立了Si薄膜生长的三维动力学Monte Carlo模型.利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Si薄膜,研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律.通过计算机模拟,论证了在正常沉积条件... 通过引入周期性排列波浪形预结构基底,建立了Si薄膜生长的三维动力学Monte Carlo模型.利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Si薄膜,研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律.通过计算机模拟,论证了在正常沉积条件下薄膜呈均匀生长模式,而在大角度倾斜沉积条件下,薄膜生长呈各向异性非均匀生长模式. 展开更多
关键词 si雕塑薄膜 动力学蒙特卡罗方法 波浪形预结构
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