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半导体制造系统改进Petri网模型的建立及优化调度 被引量:8
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作者 苏国军 汪雄海 《系统工程理论与实践》 EI CSSCI CSCD 北大核心 2011年第7期1372-1377,共6页
为了更有效优化半导体制造系统生产资源调度,提出了基于分层着色时间Petri网模型的分时段优化调度方案.通过增强基本Petri网的描述能力和引入分层Petri网的思想,根据半导体制造系统的结构建立其改进Petri网模型-分层着色时间Petri网模型... 为了更有效优化半导体制造系统生产资源调度,提出了基于分层着色时间Petri网模型的分时段优化调度方案.通过增强基本Petri网的描述能力和引入分层Petri网的思想,根据半导体制造系统的结构建立其改进Petri网模型-分层着色时间Petri网模型,并在模型中引入调度库所将调度算法嵌入到模型中,该模型能有效地克服基本Petri网模型规模膨胀的缺陷;同时将每一生产周期分成若干时间段,利用遗传算法来寻找各时间段内调度规则组合来优化半导体制造系统的动态性能,实现分时段优化调度,编码时,根据机器组的利用率来选择部分机器组为瓶颈机器组,重点调度瓶颈机器组,提高算法的搜索效率;仿真实验结果验证了该调度方案的优越性. 展开更多
关键词 半导体制造系统 PETRI网模型 遗传算法 分时段优化调度
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Novel slack-based robust scheduling rule for a semiconductor manufacturing system with uncertain processing time 被引量:5
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作者 Juan LIU Fei QIAO +1 位作者 Yumin MA Weichang KONG 《Frontiers of Engineering Management》 2018年第4期507-514,共8页
The NP-hard scheduling problems of semiconductor manufacturing systems(SMSs) are further complicated by stochastic uncertainties. Reactive scheduling is a common dynamic scheduling approach where the scheduling scheme... The NP-hard scheduling problems of semiconductor manufacturing systems(SMSs) are further complicated by stochastic uncertainties. Reactive scheduling is a common dynamic scheduling approach where the scheduling scheme is refreshed in response to real-time uncertainties. The scheduling scheme is overly sensitive to the emergence of uncertainties because the optimization of performance(such as minimum make-span) and the system robustness cannot be achieved simultaneously by conventional reactive scheduling methods. To improve the robustness of the scheduling scheme, we propose a novel slack-based robust scheduling rule(SR) based on the analysis of robustness measurement for SMS with uncertain processing time. The decision in the SR is made in real time given the robustness. The proposed SR is verified under different scenarios, and the results are compared with the existing heuristic rules. Simulation results show that the proposed SR can effectively improve the robustness of the scheduling scheme with a slight performance loss. 展开更多
关键词 semiconductor manufacturing system uncertain processing time dynamic SCHEDULING slack-based ROBUST SCHEDULING rule
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半导体晶圆制造中组合设备运行和控制综述 被引量:5
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作者 闵雁 伍乃骐 《工业工程》 北大核心 2012年第2期1-15,共15页
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行... 作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用。使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低。由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难。目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作。本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点。基于这些分析,指出了进一步的研究方向。 展开更多
关键词 半导体制造 组合设备 生产调度 系统建模和分析
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基于RBF神经网络预测模型的VLSI生产线智能控制算法 被引量:4
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作者 王令群 郑应平 潘石柱 《控制与决策》 EI CSCD 北大核心 2006年第3期336-338,351,共4页
为了对半导体生产线进行预测控制,首先研究了利用RBF神经网络对半导体生产线建立预测模型的方法;然后利用马氏决策过程递阶方法的思路,将系统状态分成若干互不相交的区间,系统状态所属区间改变时,根据预测模型的输出,即预测的系统状态,... 为了对半导体生产线进行预测控制,首先研究了利用RBF神经网络对半导体生产线建立预测模型的方法;然后利用马氏决策过程递阶方法的思路,将系统状态分成若干互不相交的区间,系统状态所属区间改变时,根据预测模型的输出,即预测的系统状态,利用所提出的智能控制算法确定将要采取的投料策略和调度策略组合对生产线进行控制.实验表明,该算法的总体性能优于若干其他常用算法. 展开更多
关键词 半导体生产线 RBF神经网络 递阶方法 遗传算法
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单晶外延片生产中的应急风险管理分析
5
作者 冀大选 董兆清 +1 位作者 丁成 冯啸桐 《集成电路应用》 2023年第10期44-45,共2页
阐述单晶外延片制造企业的生产管理特点,提出完善单晶外延片制造企业生产设备中的安全装置、建立完善良好的应急管理体系、完善监督管理机制的策略。
关键词 半导体制造 单晶外延片 应急管理体系
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Interbay物料运输系统实时调度方法 被引量:2
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作者 夏蓓鑫 高雅 +1 位作者 曹建斌 陈甜甜 《计量与测试技术》 2019年第5期65-67,共3页
自动物料运输系统(AMHS)的运行效率对晶圆制造系统有影响。本文提出了一种有效的多目标动态调度方法。首先,建立多目标成本模型,并提出了一种基于模糊理论的改进方法,动态调整成本模型中的权值。采用匈牙利算法对模型进行求解。仿真实... 自动物料运输系统(AMHS)的运行效率对晶圆制造系统有影响。本文提出了一种有效的多目标动态调度方法。首先,建立多目标成本模型,并提出了一种基于模糊理论的改进方法,动态调整成本模型中的权值。采用匈牙利算法对模型进行求解。仿真实验结果表明,与其他调度方法相比,该方法具有更好的综合性能。 展开更多
关键词 半导体制造系统 AMHS 模糊理论
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基于Kohonen神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法 被引量:1
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作者 蒋舒宇 周炳海 潘尔顺 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1788-1793,共6页
由于半导体晶圆制造过程的复杂性,使得实时控制过程难于实施.针对光刻区的不同状态,提出一种基于Kohonen神经网络的多策略实时调度方法,以适应生产过程中的复杂变化.仿真结果表明,该调度方法是有效可行的.
关键词 半导体晶圆制造系统 光刻 KOHONEN网络 动态调度
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半导体制造设备自动化作业系统设计与实现
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作者 黄浩 杨勇 周时宇 《中国集成电路》 2024年第4期82-85,93,共5页
本文针对半导体计算机集成制造系统中的设备自动化环节,设计了一套通用的设备自动化系统框架模型,并通过了实际生产验证。该框架模型包含底层通信驱动(SECS/GEM)、SML解析、基于状态机的业务逻辑控制、外围系统接口、异常处理&日志... 本文针对半导体计算机集成制造系统中的设备自动化环节,设计了一套通用的设备自动化系统框架模型,并通过了实际生产验证。该框架模型包含底层通信驱动(SECS/GEM)、SML解析、基于状态机的业务逻辑控制、外围系统接口、异常处理&日志、消息总线、UI终端等模块,通过设备自动化系统的应用可以有效地解决生产线程的误操作问题、数据收集问题、大数据分析问题,通过联动生产制造环节中的各个子系统,显著地提高了生产效率及产品良率。 展开更多
关键词 半导体制造设备自动化 SECS/GEM 有限状态机 CIM系统
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基于瓶颈设备处理时间波动的WIP估计方法 被引量:1
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作者 蒋舒宇 周炳海 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1953-1957,共5页
针对半导体晶圆制造系统缩短制造周期(CT)和提高产出率(TH)两个目标,考虑了瓶颈设备偏离其正常和可预测处理时间的情况(即瓶颈设备处理时间波动),结合CONWIP投料规则和G/G/m排队网络模型,开发了一种确定半导体晶圆制造系统中合理在制品(... 针对半导体晶圆制造系统缩短制造周期(CT)和提高产出率(TH)两个目标,考虑了瓶颈设备偏离其正常和可预测处理时间的情况(即瓶颈设备处理时间波动),结合CONWIP投料规则和G/G/m排队网络模型,开发了一种确定半导体晶圆制造系统中合理在制品(WIP)水平的启发式算法.仿真实验结果表明,在系统中保持该算法所计算出的WIP水平,在一定的瓶颈设备处理时间波动范围内可以取得合理的TH和CT. 展开更多
关键词 在制品 波动 瓶颈 半导体晶圆制造系统
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