摘要
阐述单晶外延片制造企业的生产管理特点,提出完善单晶外延片制造企业生产设备中的安全装置、建立完善良好的应急管理体系、完善监督管理机制的策略。
This paper describes the production management characteristics of single crystal epitaxial wafer manufacturing enterprises,proposes strategies to improve the safety devices in the production equipment of single crystal epitaxial wafer manufacturing enterprises,establish a sound emergency management system,and improve the supervision and management mechanism.
作者
冀大选
董兆清
丁成
冯啸桐
JI Daxuan;DONG Zhaoqing;DING Cheng;FENG Xiaotong(Tianjin Zhonghuan Leading Materials Technology Co.,Ltd.,Tianjin 300384,China)
出处
《集成电路应用》
2023年第10期44-45,共2页
Application of IC
基金
中环领先半导体外延线项目。
关键词
半导体制造
单晶外延片
应急管理体系
semiconductor manufacturing
single crystal epitaxial wafers
emergency management system
