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用扫描声学显微镜进行塑封器件的封装分层分析 被引量:13
1
作者 古关华 《电子产品可靠性与环境试验》 2004年第2期14-16,共3页
在塑封IC器件中,封装分层往往会产生电和封装的可靠性问题。由过电应力(EOS)和再流焊中的水汽膨胀引起的分层会显示出不同的失效模式。扫描声学显微镜可以用来检测封装分层,能在失效分析的早期阶段快速地鉴别失效原因。
关键词 扫描声学显微镜 分层 过电应力
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超声显微检测系统在涂层检测中的应用研究 被引量:8
2
作者 吴时红 陈颖 何双起 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期55-57,共3页
主要介绍了超声显微检测系统的组成及原理,采用超声显微检测系统对特种涂层的内部质量进行了超声检测的应用研究。结果表明:该系统能检测出涂层内部的裂纹、气孔、涂层与基体脱粘等缺陷。采用超声瑞利波声透镜,可有效检测出涂层表面及... 主要介绍了超声显微检测系统的组成及原理,采用超声显微检测系统对特种涂层的内部质量进行了超声检测的应用研究。结果表明:该系统能检测出涂层内部的裂纹、气孔、涂层与基体脱粘等缺陷。采用超声瑞利波声透镜,可有效检测出涂层表面及亚表面的缺陷。检测过程中实时显示被测样品的A、B、C三种扫描图像,缺陷检测结果直观。 展开更多
关键词 涂层检测 超声显微检测系统 工作原理 工作模式 裂纹检测 涂层材料
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用超声显微镜检测表面裂纹 被引量:3
3
作者 周艳华 刘德镇 李强 《无损检测》 2001年第4期157-158,166,共3页
利用超声显微镜 (SAM )对表面裂纹进行了C扫描成象检测 ,并对其检测结果进行了分析。结果证明 ,SAM的C扫描成象能够提供大量的缺陷信息 。
关键词 超声显微镜 表面裂纹 CT扫描成象检测 无损检测
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材料磨损机理的超声显微镜研究 被引量:2
4
作者 彭海涛 金元生 杨业元 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期294-298,共5页
利用超声显微镜(Acoustic m icroscope)观察了大气等离子喷涂Al2O3-40% ZrO2 涂层的磨损过程,研究了塑性材料和脆性材料在磨损机理方面的差别,并通过扫描电子显微镜对其结果加以验证.
关键词 超声显微镜 微裂纹 缺陷 磨损机理 材料
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锆合金多层复合材料包壳厚度超声扫描显微检测方法研究 被引量:5
5
作者 任俊波 唐月明 +2 位作者 许贵平 王学权 柴玉琨 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期44-47,共4页
锆合金多层复合材料采用多层结构,最外层为锆合金包壳,厚度约为0.3~0.6 mm,中间层为某种金属粉末的轧制物。轧制工艺需要精确测量各复合层在轧制后的厚度以对轧制过程进行质量控制;常规超声波测厚技术由于灵敏度和分辨率的限制无法满足... 锆合金多层复合材料采用多层结构,最外层为锆合金包壳,厚度约为0.3~0.6 mm,中间层为某种金属粉末的轧制物。轧制工艺需要精确测量各复合层在轧制后的厚度以对轧制过程进行质量控制;常规超声波测厚技术由于灵敏度和分辨率的限制无法满足包壳测厚要求。本文提出将超声扫描显微(SAM)测厚技术用于锆合金包壳的厚度测量,并对其测厚机理进行理论分析,开展SAM测厚技术的实验验证。结果表明,采用SAM技术可以有效对厚度约为0.3~0.6 mm的锆合金多层复合材料包壳进行厚度测量。 展开更多
关键词 超声扫描显微 锆合金 包壳测厚 超声测厚
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声学扫描显微镜检查标准研究 被引量:4
6
作者 李昕昕 党炜 +1 位作者 李永正 张泽明 《电子产品可靠性与环境试验》 2018年第5期72-76,共5页
塑封器件由于具有成本低、性能高等优势,而逐渐地应用于高可靠领域。声学扫描显微镜检查在高可靠领域已经广泛地应用于塑封器件的无损检测中,主要用于发现塑封器件的分层、空洞和裂纹等缺陷。但是,目前国内外关于声学扫描显微镜检测的... 塑封器件由于具有成本低、性能高等优势,而逐渐地应用于高可靠领域。声学扫描显微镜检查在高可靠领域已经广泛地应用于塑封器件的无损检测中,主要用于发现塑封器件的分层、空洞和裂纹等缺陷。但是,目前国内外关于声学扫描显微镜检测的标准存在差异,相同的缺陷表征,依据不同的规范进行判定可能会得到截然相反的结论。因此,分析了国内外应用得较为普遍的声学扫描显微镜检测标准的差异,对于这些标准在塑封器件检测中的合理应用具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 声学扫描显微镜 塑封器件 检测标准
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超声显微镜在塑封器件内部缺陷检测中的应用 被引量:4
7
作者 夏雷 邹治旻 张浩 《电子产品可靠性与环境试验》 2020年第3期34-39,共6页
超声扫描显微镜是广泛应用于半导体及电子行业中的一种无损检测的仪器。在半导体塑封行业中,其主要用来检测塑封产品内部的分层、空洞等缺陷,相对于其他检测设备,其在这方面具有无可比拟的优势。首先,阐述了超声显微镜的检测原理;然后,... 超声扫描显微镜是广泛应用于半导体及电子行业中的一种无损检测的仪器。在半导体塑封行业中,其主要用来检测塑封产品内部的分层、空洞等缺陷,相对于其他检测设备,其在这方面具有无可比拟的优势。首先,阐述了超声显微镜的检测原理;然后,对塑封产品的检测做了具体的分析;最后,介绍了塑封器件超声扫描检查的相关标准,以期为相关工作人员更好地掌握超声显微境的工作原理和使用方法,从而提高塑封器件的可靠性有所帮助。 展开更多
关键词 超声显微镜 塑封 内部缺陷 检测 技术原理 标准
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复合材料超声显微层析成像检测研究
8
作者 杨增冲 项靖凯 +3 位作者 周瑜 张学聪 刘迪 刘云飞 《电声技术》 2024年第7期150-153,共4页
利用超声波扫描显微镜,搭载25 MHz超声显微换能器对碳纤维层压复合材料板进行内部层析成像检测。研究结果表明,超声显微技术可以很好地检测出复合材料内部的分层、变形、孔洞等缺陷,以及纤维层不均等结构性问题。通过多层层析成像,可以... 利用超声波扫描显微镜,搭载25 MHz超声显微换能器对碳纤维层压复合材料板进行内部层析成像检测。研究结果表明,超声显微技术可以很好地检测出复合材料内部的分层、变形、孔洞等缺陷,以及纤维层不均等结构性问题。通过多层层析成像,可以有效对缺陷、材料不均位置进行三维定位。 展开更多
关键词 复合材料 无损检测 超声扫描显微镜 分层缺陷
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Application of Scanning Acoustic Microscopy for Detection of Dental Caries Lesion
9
作者 Yukihiro Naganuma Kouki Hatori +7 位作者 Masahiro Iikubo Masatoshi Takahashi Yoshihiro Hagiwara Kazuto Kobayashi Atsushi Takahashi Kumi Hoshi Yoshifumi Saijo Keiichi Sasaki 《Open Journal of Stomatology》 2023年第1期12-24,共13页
Introduction: A scanning acoustic microscope (SAM) is an apparatus for imaging acoustic properties. This apparatus can non-invasively and rapidly evaluate the hardness of materials in the elastic region. This device s... Introduction: A scanning acoustic microscope (SAM) is an apparatus for imaging acoustic properties. This apparatus can non-invasively and rapidly evaluate the hardness of materials in the elastic region. This device shows great potential for the diagnosis of dental caries in the clinical setting. However, since the tissue elastic modulus measured using a SAM is a property of the elastic region and the Knoop hardness is a property of the plastic region, the hardness properties differ completely. Therefore, we investigated whether the acoustic impedance measured using a SAM is related to the Knoop hardness, which is used as the standard for removal of carious dentin. Method: Polished sections were prepared from 20 extracted carious wisdom teeth. The acoustic impedance and Knoop hardness were measured for each section. In addition to comparing carious and healthy dentin in SAM images, we evaluated the difference between the carious and healthy dentin in terms of the acoustic impedance and Knoop hardness. We also evaluated the correlation between the Knoop hardness and acoustic impedance. Results: The SAM images were visualized as two-dimensional color images based on the acoustic impedance values. The mean acoustic impedance of carious dentin was significantly lower than that of healthy dentin, showing a similar trend as Knoop hardness. A strong correlation was observed between the two. Discussion: The acoustic impedance values obtained through acoustic microscopy differed significantly between carious and sound dentin. Both types of dentins were visualized using two-dimensional color images. A strong correlation was observed between the acoustic impedance value, which indicates the hardness of the elastic region, and the Knoop hardness, which indicates the hardness of the plastic region. The results of the present study indicate that acoustic impedance accurately reflects the hardness of dentin. 展开更多
关键词 scanning acoustic microscope acoustic Impedance CARIES Knoop Hardness
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半导体激光器结温的测试及分析(英文) 被引量:2
10
作者 杨扬 于果蕾 +2 位作者 李沛旭 夏伟 徐现刚 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第1期157-163,共7页
结温/热阻是反映激光器器件散热能力的综合参数,与封装焊料层的烧结质量关系密切。本文分别通过正向电压法和波长漂移法,测试计算得到激光器的工作结温,利用扫描声学显微镜分析了激光器焊料层中空洞分布;验证了结温测试方法的可行性,并... 结温/热阻是反映激光器器件散热能力的综合参数,与封装焊料层的烧结质量关系密切。本文分别通过正向电压法和波长漂移法,测试计算得到激光器的工作结温,利用扫描声学显微镜分析了激光器焊料层中空洞分布;验证了结温测试方法的可行性,并确认了激光器结温与焊料层烧结质量之间的对应关系,相关结果将指导半导体激光器的研制改进和器件分筛。 展开更多
关键词 激光器 结温 热阻 扫描声学显微镜
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超声波扫描显微镜发展及应用综述 被引量:1
11
作者 高媛 杨敬 +1 位作者 李立 胡志臣 《计算机测量与控制》 2023年第8期1-9,共9页
超声波扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,相对于传统的破坏性检测,超声显微镜不会对样品造成损伤;主要介绍了超声波显微镜的发展现状、关键技术现状、应用领域和未来发展方向等内容;关键技术主要包括纳秒级窄脉... 超声波扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,相对于传统的破坏性检测,超声显微镜不会对样品造成损伤;主要介绍了超声波显微镜的发展现状、关键技术现状、应用领域和未来发展方向等内容;关键技术主要包括纳秒级窄脉冲产生技术、高频信号调理技术、高频聚焦式换能器研制技术和超声C扫描成像技术;应用领域主要从材料科学检测行业、半导体测试行业、新能源行业进行了详细描述;最后,对超声波扫描显微镜的发展进行了展望;随着超声波技术的发展,声频会越来越高,超声显微镜的能力将越来越大;可以预料,它与其他尖端技术结合,将会发挥出更大、更独特的作用。 展开更多
关键词 超声波扫描显微镜 半导体测试 超声波 探头
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铁电畴的扫描探针声学显微术 被引量:1
12
作者 余寒峰 殷庆瑞 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S1期105-107,共3页
一种新的表征技术——扫描探针声学显微成像技术(Scanning Probe Acooustic Mi-croscopy)已在我们实验室建立起来,可以用它来直接观察PMN-PT弛豫铁电单晶、透明PLZT陶瓷、无铅Bi4(Ti,Nb)3O12陶瓷等材料的纳米极性微区和弹性作用区,并显... 一种新的表征技术——扫描探针声学显微成像技术(Scanning Probe Acooustic Mi-croscopy)已在我们实验室建立起来,可以用它来直接观察PMN-PT弛豫铁电单晶、透明PLZT陶瓷、无铅Bi4(Ti,Nb)3O12陶瓷等材料的纳米极性微区和弹性作用区,并显示了在低频工作状态下可以达到10nm的分辨率. 展开更多
关键词 扫描探针 声学显微术 铁电畴
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超声扫描显微镜的厚度测量方法 被引量:1
13
作者 魏鹏 张继静 《电子工业专用设备》 2013年第1期30-33,共4页
基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式。作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度。
关键词 超声扫描显微镜 厚度测量 扫描方式
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超声扫描显微镜检查在倒装器件检测中的应用 被引量:1
14
作者 潘凌宇 张吉 +2 位作者 杨城 马清桃 王伯淳 《电子与封装》 2014年第11期41-44,共4页
随着倒装器件在型号产品中使用越来越广泛,倒装器件在使用过程中也暴露出一些问题,如底充胶分层、焊点空洞以及裂纹等,这些缺陷均能导致倒装器件失效。总结了几种倒装器件超声扫描的缺陷,重点对底充胶以及焊点进行分析。同时,论述了倒... 随着倒装器件在型号产品中使用越来越广泛,倒装器件在使用过程中也暴露出一些问题,如底充胶分层、焊点空洞以及裂纹等,这些缺陷均能导致倒装器件失效。总结了几种倒装器件超声扫描的缺陷,重点对底充胶以及焊点进行分析。同时,论述了倒装器件超声检测中内部界面缺陷的辨别以及原理。 展开更多
关键词 倒装器件 超声扫描显微镜 底充胶
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基于超声扫描显微镜的外壳热沉镀层可靠性评价
15
作者 陈光耀 姜汝栋 +2 位作者 戴莹 吕栋 冯佳 《电子产品可靠性与环境试验》 2023年第2期1-5,共5页
外壳热沉是集成电路的重要组成部分,外壳镀层质量是影响可靠性的直接因素。目前主要通过目检法来检测镀层的裂纹等缺陷,但由于人员经验的差异,可能会导致检测结果存在差异,且该方法的结果追溯性较差。超声扫描显微镜是一种无损检测设备... 外壳热沉是集成电路的重要组成部分,外壳镀层质量是影响可靠性的直接因素。目前主要通过目检法来检测镀层的裂纹等缺陷,但由于人员经验的差异,可能会导致检测结果存在差异,且该方法的结果追溯性较差。超声扫描显微镜是一种无损检测设备,被广泛地用于检测塑封集成电路的分层、裂纹和空洞等缺陷,具有较高的分辨率。因此,基于超声扫描显微镜,对外壳热沉镀层的可靠性进行了评价。试验结果表明:超声扫描显微镜能够快速有效地检测出外壳热沉镀层缺陷,并保存检测图像,检测结果的可追溯性较强,可以为镀层缺陷的可靠性评价提供参考。 展开更多
关键词 超声扫描显微镜 外壳热沉 镀层 可靠性
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扫描声学显微镜对压电复合材料结构的研究
16
作者 张谦琳 库兹,阿 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期30-31,34,共3页
对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明,在垂直注入增强颗粒的情况下,由于重力的作用,恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布,N_max与颗粒大小和聚合... 对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明,在垂直注入增强颗粒的情况下,由于重力的作用,恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布,N_max与颗粒大小和聚合基体的力学性能有关。 展开更多
关键词 压电复合材料 扫描声学显微镜 增强颗粒分布
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激光扫描声学显微图像目标特征提取
17
作者 李凌杰 张晓东 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期306-310,共5页
激光扫描声学显微镜得到的显微图像噪声极强,目标特征提取困难,是目前该技术在实用中的主要障碍之一。文中利用图像随机分布特征和分维特征对其图像进行分析,能够在强噪声和图像灰度与被成像介质情况对应关系变化较大的情况下得到较... 激光扫描声学显微镜得到的显微图像噪声极强,目标特征提取困难,是目前该技术在实用中的主要障碍之一。文中利用图像随机分布特征和分维特征对其图像进行分析,能够在强噪声和图像灰度与被成像介质情况对应关系变化较大的情况下得到较准确的分析结果。此方法采用激光扫描声学显微镜真实成像图像得到了较好的处理结果。 展开更多
关键词 激光扫描 声学显微镜 分维分析 特征提取
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自动缺陷分类系统在超声扫描显微镜中的应用
18
作者 连军莉 魏鹏 《电子工业专用设备》 2011年第1期1-3,14,共4页
介绍了超声扫描显微镜中的一种自动缺陷分类系统。该系统采用连通区域标记技术,分析缺陷的具体特征,根据设定阈值将它们分类,由此可以判断哪些是可以接受的缺陷,哪些是需要检出的严重缺陷。系统自动分析的特征,减少了缺陷分析时间和主... 介绍了超声扫描显微镜中的一种自动缺陷分类系统。该系统采用连通区域标记技术,分析缺陷的具体特征,根据设定阈值将它们分类,由此可以判断哪些是可以接受的缺陷,哪些是需要检出的严重缺陷。系统自动分析的特征,减少了缺陷分析时间和主观性造成的缺陷分类错误,使得分析结果更加精确,重复性更高。 展开更多
关键词 超声扫描显微镜 缺陷 自动分类
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分离式超声波发射接收系统设计
19
作者 黄晓鹏 付纯鹤 《电子工业专用设备》 2015年第2期31-37,共7页
基于超声扫描显微镜的特殊应用需求,设计了一种分离式超声波发射接收系统,并介绍了其主要的硬件电路设计和软件设计,通过该系统在超声扫描显微镜上的应用验证了其性能。系统可有效减少线缆反射,将信号衰减降至最低,同时减少噪声和干扰... 基于超声扫描显微镜的特殊应用需求,设计了一种分离式超声波发射接收系统,并介绍了其主要的硬件电路设计和软件设计,通过该系统在超声扫描显微镜上的应用验证了其性能。系统可有效减少线缆反射,将信号衰减降至最低,同时减少噪声和干扰信号拾取,从而得到一个低畸变、更强、更干净的超声波信号。 展开更多
关键词 超声扫描显微镜 分离式超声波发射接收 高压源 回声放大
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激光扫描声显微镜中光扫描电路的设计
20
作者 王群 李交美 周志清 《应用激光》 CSCD 北大核心 1992年第5期210-212,共3页
介绍Z—80控制器二维光扫描电路的设计,包括检流计、步进电机不同幅度及频率的转动扫描、与主机的同步,最后给出了检流计的理想驱动波形。
关键词 声显微镜 激光扫描 激光显微镜
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