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HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗 被引量：4
1
作者 陈上碧 盛斌 +5 位作者 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期2106-2110,共5页
为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金... 为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物。对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理。实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,对PCG表面残留污染物的去除效果越显著。在90℃下60min有效活性时间内,使用浓硫酸和双氧水体积比为2∶1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG表面残留的F元素的原子分数接近0.1%(XPS的分辨极限),达到良好的清洗效果。 展开更多
关键词 多层介质膜脉宽压缩光栅 污染物 piranha溶液 扫描电子显微镜 X射线光电子能谱
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基材预处理方式对Cu3(BTC)2成膜的影响
2
作者 仇龙云 李力成 +4 位作者 冯新 付双钦 张所瀛 陆小华 杨祝红 《南京工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2014年第1期7-12,共6页
采用原位水热法在不同方式预处理的Ti材上制备Cu3(BTC)2(H3BTC为C9H6O6,均苯三甲酸)膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X线衍射仪(XRD)等表征手段详细考察预处理方式对Cu3(BTC)2成膜的影响。结果表明:紫外光照射能有效提... 采用原位水热法在不同方式预处理的Ti材上制备Cu3(BTC)2(H3BTC为C9H6O6,均苯三甲酸)膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X线衍射仪(XRD)等表征手段详细考察预处理方式对Cu3(BTC)2成膜的影响。结果表明:紫外光照射能有效提高Ti材表面的羟基化程度,从而有利于Cu3(BTC)2晶体在表面生长;相比紫外光预处理,Piranha溶液预处理的表面更适合Cu3(BTC)2晶体的生长;在Piranha溶液结合紫外光照射处理的Ti材表面能制备出较连续的Cu3(BTC)2膜。 展开更多
关键词 Cu3(BTC)2膜 预处理 piranha溶液 UV Ti材
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原子级平整硅基底的制备 被引量：1
3
作者 吴育飞 胡瑞省 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2002年第4期387-389,405,共4页
采用 RCA方法与 Piranha溶液处理相结合 ,对单晶硅表面超声腐蚀处理 ,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的氧化物表面 .采用水相硅烷化 ,将 3 -氨基丙基 -三甲氧基硅烷(APS)组装在湿化学法处理的单晶硅表面上 ... 采用 RCA方法与 Piranha溶液处理相结合 ,对单晶硅表面超声腐蚀处理 ,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的氧化物表面 .采用水相硅烷化 ,将 3 -氨基丙基 -三甲氧基硅烷(APS)组装在湿化学法处理的单晶硅表面上 ,AFM和 X-射线光电子能谱 (XPS) 展开更多
关键词 硅基底 制备 自组装性能 原子级平整表面 RCA方法 piranha溶液处理 半导体材料
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