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脉冲激光沉积(PLD)法制备NiZn铁氧体多晶薄膜研究 被引量：6
1
作者 奚小网 陈亚杰 周雪琴 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2001年第6期9-13,共5页
采用脉冲激光沉积 (PLD)法分别在硅和玻璃基片上沉积了 Ni Zn铁氧体多晶薄膜。实验表明 :基片温度、氧气压以及热处理对薄膜的沉积速率。
关键词 脉冲激光沉积法 nizn铁氧体薄膜 磁性能 基片温度 氧气压 沉积速率
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sol-gel法制备NiZn铁氧体透明薄膜研究 被引量：2
2
作者 李克训 赵亚丽 +1 位作者 周必成 王东红 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1597-1600,共4页
采用溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜,研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对NiZn铁氧体薄膜性能的影响,系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明,不同的膜厚,改变了样品内的残余应力;在退火工艺上,升温速率直接影响成核数量,退火温度和保温... 采用溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜,研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对NiZn铁氧体薄膜性能的影响,系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明,不同的膜厚,改变了样品内的残余应力;在退火工艺上,升温速率直接影响成核数量,退火温度和保温时间决定薄膜的结晶程度和附着力的大小。通过对溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜技术的研究及工艺优化,得到合理的退火处理工艺为:以2.5℃/min的升温速率升到700℃,保温40 min后随炉自然冷却到室温。同时研究了NiZn铁氧体薄膜的可见光透过和微波损耗特性。 展开更多
关键词 nizn铁氧体薄膜 溶胶-凝胶法 退火处理
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沉积时间对旋转喷涂法制备的NiZn铁氧体薄膜的影响
3
作者 王宏 杨仕机 +4 位作者 冉茂君 青豪 余忠 孙科 兰中文 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2022年第1期1-6,共6页
采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了沉积时间对薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随着沉积时间延长,平均晶粒尺寸逐渐增大,(222)方向择优取向先增强后减弱,沉积速率先减小后稳定,随着薄膜厚度逐渐增大,晶粒... 采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了沉积时间对薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随着沉积时间延长,平均晶粒尺寸逐渐增大,(222)方向择优取向先增强后减弱,沉积速率先减小后稳定,随着薄膜厚度逐渐增大,晶粒的柱状结构也越发明显,结晶性能提高。NiZn铁氧体薄膜的饱和磁化强度M_(s)增高,矫顽力H_(c)降低,100 MHz的磁导率μ′增大,截止频率f_(r)从0.32 GHz降低至0.23 GHz。但是无论沉积时间长短,各薄膜均存在磁损耗角正切(μ"/μ′)过高的问题。 展开更多
关键词 nizn铁氧体薄膜 旋转喷涂法 低温沉积 沉积时间 磁性能
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Co含量对旋转喷涂法制备的NiZn铁氧体薄膜的影响
4
作者 张凯 刘培元 +4 位作者 冉茂君 青豪 余忠 孙科 兰中文 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2022年第1期14-18,共5页
采用旋转喷涂法低温沉积制备主配方为Ni_(0.17)Zn_(0.52)Co_(y)Fe_(2.31−y)O_(4)(y=0~_(0.09))的铁氧体薄膜,研究了Co含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Co含量增加,晶粒发生团聚,(222)择优取向减弱,三... 采用旋转喷涂法低温沉积制备主配方为Ni_(0.17)Zn_(0.52)Co_(y)Fe_(2.31−y)O_(4)(y=0~_(0.09))的铁氧体薄膜,研究了Co含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Co含量增加,晶粒发生团聚,(222)择优取向减弱,三角形形貌不明显,晶粒均匀性变差。由于Co离子加入引起薄膜各向异性增强,矫顽力Hc增大至3.03 kA/m,且饱和磁化场逐渐增大,饱和磁化强度Ms单调递减,磁导率μ′单调递减截止频率fr单调递增。当主配方为Ni_(0.17)Zn_(0.52)Co_(0.09)Fe_(2.22)O_(4)时,截止频率fr可达最大值1.0 GHz。 展开更多
关键词 nizn铁氧体薄膜 旋转喷涂法 CO含量 低温沉积 磁性能
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NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展 被引量：1
5
作者 聂小亮 兰中文 +1 位作者 孙科 余忠 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期81-83,88,共4页
综述了近10年来国内外NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展,并对其发展进行了展望。其中,溅射、喷雾热分解、脉冲激光沉积等技术得到了有效应用;而对一些新的工艺方法,如溶胶-凝胶法、超声波增强化学镀技术等也进行了深入的研究。
关键词 nizn铁氧体薄膜 成膜技术 开发应用
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Zn含量对NiZn铁氧体薄膜结构和磁性能的影响
6
作者 刘培元 张凯 +4 位作者 冉茂君 青豪 余忠 孙科 兰中文 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2022年第2期22-26,共5页
采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了Zn含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Zn含量增加,薄膜平均晶粒尺寸增大,其结晶度和饱和磁化强度M_(s)先增大后减小,矫顽力H_(c)减小至0.57 kA/m,薄膜... 采用旋转喷涂法低温沉积制备NiZn铁氧体薄膜,研究了Zn含量对NiZn铁氧体薄膜相结构、显微形貌和磁性能的影响。结果表明,随Zn含量增加,薄膜平均晶粒尺寸增大,其结晶度和饱和磁化强度M_(s)先增大后减小,矫顽力H_(c)减小至0.57 kA/m,薄膜起始磁导率μ′增大,截止频率f_(r)降低。EDS测试结果可知旋转喷涂法制备NiZn铁氧体薄膜中Zn含量越高时成分中Ni的缺失越严重。当主配方为Ni_(0.09)Zn_(0.68)Fe^(2.23)O_(4)时,频率在100 MHz的起始磁导率μ′可达最大值96。 展开更多
关键词 nizn铁氧体薄膜 旋转喷涂法 Zn含量 低温沉积 磁性能 显微形貌
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制备工艺和添加剂对NiZn铁氧体薄膜性能的影响
7
作者 蒲志勇 李乐中 +2 位作者 仰伟 孙小婷 杨禄昌 《信息记录材料》 2015年第2期53-58,共6页
Ni Zn铁氧体薄膜具有优良的软磁特性、良好的机械耐磨性、稳定的化学性能、较高的铁磁共振频率和高电阻率等诸多优点,已成为铁氧体薄膜领域重要的研究方向。结合通讯系统器件发展趋势,本文对Ni Zn铁氧体薄膜材料的性能研究及应用进行了... Ni Zn铁氧体薄膜具有优良的软磁特性、良好的机械耐磨性、稳定的化学性能、较高的铁磁共振频率和高电阻率等诸多优点,已成为铁氧体薄膜领域重要的研究方向。结合通讯系统器件发展趋势,本文对Ni Zn铁氧体薄膜材料的性能研究及应用进行了介绍,着重从薄膜的制备技术和添加剂等方面综述了当今国内外对Ni Zn铁氧体薄膜研究现状及最新研究进展,并指出了今后Ni Zn铁氧体薄膜研究的主要方向。 展开更多
关键词 nizn铁氧体薄膜 制备工艺 添加剂
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退火温度对NiZn铁氧体薄膜性能的影响
8
作者 赵晓宁 兰中文 +2 位作者 余忠 孙科 李可为 《材料导报（纳米与新材料专辑）》 2009年第1期86-88,共3页
采用射频磁控溅射法在Si（100）基片上制备了NiZn铁氧体薄膜，研究了退火温度对薄膜性能的影响。采用XRD分析仪分析了薄膜的相结构，原予力显微镜分析了薄膜的表面形貌，振动样品磁强计测量了薄膜的磁性能，结果表明，随着退火温度的升... 采用射频磁控溅射法在Si（100）基片上制备了NiZn铁氧体薄膜，研究了退火温度对薄膜性能的影响。采用XRD分析仪分析了薄膜的相结构，原予力显微镜分析了薄膜的表面形貌，振动样品磁强计测量了薄膜的磁性能，结果表明，随着退火温度的升高，薄膜的结晶状态越好，晶粒尺寸越大，饱和磁感应强度越高，面内矫顽力越小。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 nizn铁氧体薄膜 退火温度
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