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电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用 被引量:7
1
作者 陈宝钦 赵珉 +8 位作者 吴璇 牛洁斌 刘键 任黎明 王琴 朱效立 徐秋霞 谢常青 刘明 《微纳电子技术》 CAS 2008年第12期683-688,共6页
电子束光刻技术是推动微米电子学和微纳米加工发展的关键技术,尤其在纳米制造领域中起着不可替代的作用。介绍了中国科学院微电子研究所拥有JEOLJBX5000LS、JBX6300FS纳米电子束光刻系统和电子显微镜系统的电子束光刻技术实验室,利用电... 电子束光刻技术是推动微米电子学和微纳米加工发展的关键技术,尤其在纳米制造领域中起着不可替代的作用。介绍了中国科学院微电子研究所拥有JEOLJBX5000LS、JBX6300FS纳米电子束光刻系统和电子显微镜系统的电子束光刻技术实验室,利用电子束直写系统所开展的纳米器件和纳米结构制造工艺技术方面的研究。重点阐述了如何利用电子束直写技术实现纳米器件和纳米结构的电子束光刻。针对电子束光刻效率低和电子束光刻邻近效应等问题所采取的措施;采用无宽度线曝光技术和高分辨率、高反差、低灵敏度电子抗蚀剂相结合实现电子束纳米尺度光刻以及采用电子束光刻与X射线曝光相结合的技术实现高高宽比的纳米尺度结构的加工等具体工艺技术问题展开讨论。 展开更多
关键词 电子束光刻 电子束直写 电子束邻近效应校正 纳米制造 纳米器件 纳米结构
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Real time full-color imaging in a Meta-optical fiber endoscope 被引量:4
2
作者 Johannes E.Froch Luocheng Huang +6 位作者 Quentin A.A.Tanguy Shane Colburn Alan Zhan Andrea Ravagli Eric J.Seibel Karl F.Bohringer Arka Majumdar 《eLight》 2023年第1期147-154,共8页
Endoscopes are an important component for the development of minimally invasive surgeries.Their size is one of the most critical aspects,because smaller and less rigid endoscopes enable higher agility,facilitate large... Endoscopes are an important component for the development of minimally invasive surgeries.Their size is one of the most critical aspects,because smaller and less rigid endoscopes enable higher agility,facilitate larger accessibility,and induce less stress on the surrounding tissue.In all existing endoscopes,the size of the optics poses a major limitation in miniaturization of the imaging system.Not only is making small optics difficult,but their performance also degrades with downscaling.Meta-optics have recently emerged as a promising candidate to drastically miniaturize optics while achieving similar functionalities with significantly reduced size.Herein,we report an inverse-designed meta-optic,which combined with a coherent fiber bundle enables a 33%reduction in the rigid tip length over traditional gradient-index(GRIN)lenses.We use the meta-optic fiber endoscope(MOFIE)to demonstrate real-time video capture in full visible color,the spatial resolution of which is primarily limited by the fiber itself.Our work shows the potential of meta-optics for integration and miniaturization of biomedical devices towards minimally invasive surgery. 展开更多
关键词 ENDOSCOPY Meta-optics nano-fabrication Biomedical engineering
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STM纳米加工技术进展 被引量:2
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作者 顾宁 闵光伟 +2 位作者 鲁武 陆祖宏 韦钰 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1994年第2期18-23,共6页
STM(扫描隧道显微镜)作为一种新型的纳米加工工具,在微电子制造,量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对STM纳米加工方法进行了初步分类,简略介绍了其一般工作原理及发展状况... STM(扫描隧道显微镜)作为一种新型的纳米加工工具,在微电子制造,量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对STM纳米加工方法进行了初步分类,简略介绍了其一般工作原理及发展状况,讨论了其未来的应用前景。 展开更多
关键词 STM 纳米加工 纳米技术
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Nano-scale Electrodes for Molecular/Organic Electronics
4
作者 K.Tsukagoshi 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期761-762,共2页
1 Results Nanometer-scale electrodes with a nano-junction allow us to investigate conduction properties of nano-materials. Because many nano-materials usually form grain boundaries or domain boundaries with high tunne... 1 Results Nanometer-scale electrodes with a nano-junction allow us to investigate conduction properties of nano-materials. Because many nano-materials usually form grain boundaries or domain boundaries with high tunneling resistance, it is difficult to investigate the intrinsic properties through a series of tunneling resistance. To make direct contact with the single nano-material, such as a single polymer string, we developed nano-scale electrodes. By using these nano-electrodes as new tool, we invest... 展开更多
关键词 nano-fabrication nano-gap charge transport
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新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展 被引量:2
5
作者 刘汉玉 王庆康 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期18-22,共5页
介绍了新颖的纳米结构亚波长光学器件的特点,从器件的基本功能特性和工作机理两个方面详细讨论了其应用状况,并阐述了纳米制造技术对亚波长光学器件发展的重要推动作用及这一领域今后的研究热点。
关键词 亚波长光学器件 纳米制造 纳米结构
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光学光刻技术向纳米制造挺进
6
作者 葛劢冲 刘玄博 《电子工业专用设备》 2004年第3期22-26,共5页
概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以及光学光刻技术在大批量生产应用中的优势,并介绍了国外开发极紫外光刻技术的技术指标,预测了光学光刻技... 概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以及光学光刻技术在大批量生产应用中的优势,并介绍了国外开发极紫外光刻技术的技术指标,预测了光学光刻技术的前景。 展开更多
关键词 光学光刻 光学邻近效应校正 下一代光刻 纳米制造 优势与前景
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基于电流体动力学的电驱动纳米模塑技术 被引量:1
7
作者 丁玉成 邵金友 +1 位作者 田洪淼 李祥明 《中国基础科学》 2013年第3期27-29,共3页
目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术... 目前,作为集成电路以及纳米加工主流工艺的光学光刻技术,由于其受到光学衍射极限的物理限制,在16nm线宽及其以下节点的结构制造中,其技术复杂性和设备制造成本大大增加。纳米压印作为一种高分辨率、高效率、低成本和操作过程简单的技术,引起了各国研究人员的广泛关注。然而纳米压印中不可避免引入的机械压力又会引发纳米结构几何变形、变尺寸结构填充不均匀等问题。本项目针对常规纳米压印存在的问题,基于介电聚合物的电流体动力学行为研究,提出了利用电场力替代机械力的电驱动模塑技术,在保持纳米压印突出优势的前提下,克服或避免了机械压力引发的技术性难题,成功实现了15nm节点结构的高保真复型以及深宽比8的大深宽比纳米结构成型。 展开更多
关键词 纳米制造 集成电路 电驱动模塑技术
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原子力显微镜纳米沉积加工温度仿真 被引量:1
8
作者 刘增磊 高爱莲 +1 位作者 袁帅 焦念东 《纳米技术与精密工程》 CSCD 北大核心 2017年第4期267-272,共6页
原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和... 原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)纳米沉积加工是一种重要的纳米焊接手段,其加工机理存在场致蒸发和热致蒸发两种可能.为明确AFM沉积加工的机理,本文通过仿真研究了AFM纳米沉积加工过程中的温度变化,分析了加工电流的波形和空气介质对沉积的影响,并在此基础上建模,分别研究瞬态电流和稳态电流引起的温度变化.通过仿真发现,沉积中温度确有上升,但远没有达到引起热蒸发的程度.验证了AFM纳米沉积加工是基于场蒸发的原理. 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米焊接 纳米加工 温度仿真
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Patterned deposition of multi-walled carbon nanotubes on self-assembled monolayers 被引量:1
9
作者 PENG Yitian HU Yuanzhong WANG Hui 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2006年第2期147-150,共4页
Patterned chemical template consisting of both amine- and methyl-terminated self-assembled monolayers has been fabricated. The deposition of carbon nanotubes is carried out by immerging the patterned substrate into di... Patterned chemical template consisting of both amine- and methyl-terminated self-assembled monolayers has been fabricated. The deposition of carbon nanotubes is carried out by immerging the patterned substrate into dimethylformamide (DMF) solution with suspended carbon nanotubes (CNTs). SEM images show a successful patterned deposition that carbon nanotubes selectively deposit in the area with amino-terminated SAMs due to the strong attract force between the monolayer and the suspended CNTs. This experiment provides an opportunity for manipulating individual CNTs, and represents a sig- nificant step in development of CNTs-based nanode- vices. 展开更多
关键词 多层碳纳米管 自组装 纳米结构 制备
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AFM电场辅助纳米加工焦耳热分析
10
作者 刘增磊 高爱莲 +3 位作者 刘忠超 田金云 杨旭 盖晓华 《南阳理工学院学报》 2019年第4期44-48,共5页
原子力显微镜是一种重要的纳米加工工具,在强电场的辅助下,可以实现凸起或凹陷的纳米结构加工,为纳米器件的制造提供技术支持。电场的使用不可避免地引入了电流,从而使得加工过程中存在焦耳热的影响。原子力显微镜电场辅助纳米主要加工... 原子力显微镜是一种重要的纳米加工工具,在强电场的辅助下,可以实现凸起或凹陷的纳米结构加工,为纳米器件的制造提供技术支持。电场的使用不可避免地引入了电流,从而使得加工过程中存在焦耳热的影响。原子力显微镜电场辅助纳米主要加工包括阳极氧化与场蒸发沉积两种。阳极氧化加工生成的纳米结构为绝缘物质,该物质阻断阳极氧化加工的进一步进行,因此加工电流随着加工的进行逐渐衰减,焦耳热的影响较小;而场蒸发沉积加工得到的纳米结构为导电物质,所产生的焦耳热可以烧蚀样品表面,形成纳米沟痕。本文通过分析加工中焦耳热的作用,为开展精确的原子力显微镜电场辅助加工提供借鉴。 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米加工 纳米器件
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化学纳米工程学——新交叉学科的基础与展望
11
作者 赵健伟 《世界科技研究与发展》 CSCD 2008年第1期12-15,共4页
机械加工以连续介质理论为基础,化学则侧重于对离散的化学键的操作,因而两者有本质的区别。但在纳米加工领域,机械学面临着化学键的不连续性。当前超精密加工的精度已经达到纳米尺度,由于纳米材料的特殊性质,微纳制造所依赖的基础理论... 机械加工以连续介质理论为基础,化学则侧重于对离散的化学键的操作,因而两者有本质的区别。但在纳米加工领域,机械学面临着化学键的不连续性。当前超精密加工的精度已经达到纳米尺度,由于纳米材料的特殊性质,微纳制造所依赖的基础理论也随着加工工件尺寸的缩小经历着由量变到质变的过程,因此,传统的机械学与化学在纳米尺度的交叉催生出新的学科——化学纳米工程学。该领域的基础研究将有助于我们提升纳米制造技术,增强国家制造业的核心竞争力。 展开更多
关键词 微纳加工 纳米材料 化学纳米工程学 交叉学科
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STM针尖-样品相互作用实验研究
12
作者 张飞虎 张华丽 石美英 《航空精密制造技术》 2007年第4期5-8,共4页
研究了大气状态下应用扫描隧道显微镜(STM)对金薄膜和单晶硅材料进行了纳米级电场加工实验。分析了针尖和样品表面的相互作用机理,以及隧道间隙、隧道电流反馈、脉冲个数等因素对纳米点结构的加工产生的影响,并探讨了针尖磨损对纳米结... 研究了大气状态下应用扫描隧道显微镜(STM)对金薄膜和单晶硅材料进行了纳米级电场加工实验。分析了针尖和样品表面的相互作用机理,以及隧道间隙、隧道电流反馈、脉冲个数等因素对纳米点结构的加工产生的影响,并探讨了针尖磨损对纳米结构一致性的影响。 展开更多
关键词 纳米加工 STM 隧道间隙 磨损
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高精度电子束光刻技术在微纳加工中的应用 被引量:13
13
作者 胡超 王兴平 +1 位作者 尤春 孙锋 《电子与封装》 2017年第5期28-32,36,共6页
对电子束光刻系统的原理以及在微纳加工领域的应用进行了讨论。首先对光刻系统的工作原理进行了阐述。然后讨论了电子束光刻的关键工艺,如光胶的选择、剥离工艺的优化以及邻近效应对图形的影响及修正方法。由于电子束光刻在科研领域展... 对电子束光刻系统的原理以及在微纳加工领域的应用进行了讨论。首先对光刻系统的工作原理进行了阐述。然后讨论了电子束光刻的关键工艺,如光胶的选择、剥离工艺的优化以及邻近效应对图形的影响及修正方法。由于电子束光刻在科研领域展现了巨大的潜力,因此吸引了许多学者的注意。最后,举例介绍了电子束光刻在生物医学和硅光电子上的应用。 展开更多
关键词 电子束光刻 微纳加工 纳米电子器件
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激光超衍射加工机理与研究进展 被引量:8
14
作者 张心正 夏峰 许京军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第14期91-106,共16页
随着纳米科技和微纳电子器件的发展,制造业对微纳加工技术的要求越来越高.激光加工技术是一种绿色先进制造技术,具有巨大的发展潜力,己广泛应用于不同的制造领域.为实现低成本、高效率、大面积尤其是高精度的激光微纳加工制造,研究和发... 随着纳米科技和微纳电子器件的发展,制造业对微纳加工技术的要求越来越高.激光加工技术是一种绿色先进制造技术,具有巨大的发展潜力,己广泛应用于不同的制造领域.为实现低成本、高效率、大面积尤其是高精度的激光微纳加工制造,研究和发展激光超衍射加工技术具有十分重要的科学意义和应用价值.本文首先阐述了基于非线性效应的远场激光直写超衍射加工技术的原理与国内外发展状况,包括激光烧蚀加工技术、激光诱导改性加工技术和多光子光聚合加工技术等;然后介绍了几种基于倏逝波的近场激光超衍射加工技术,包括扫描近场光刻技术、表面等离子激元光刻技术等新型超衍射激光近场光刻技术的机理与研究进展;最后对激光超衍射加工中存在的问题及未来发展方向进行了讨论. 展开更多
关键词 超衍射极限 激光微纳加工 激光直写 激光近场加工
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激光融合制造及在柔性微纳传感器的应用(特邀) 被引量:2
15
作者 蔡子墨 匡翠方 +2 位作者 杨华勇 洪明辉 徐凯臣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期236-265,共30页
柔性微纳传感器的新兴发展对先进制造技术提出了更高要求。其中,激光融合制造充分集成激光增材、等材、减材加工形式,凭借高精度、非接触、机理丰富、灵活可控、高效环保、多材料兼容等特点突破了传统制造在多任务、多线程、多功能复合... 柔性微纳传感器的新兴发展对先进制造技术提出了更高要求。其中,激光融合制造充分集成激光增材、等材、减材加工形式,凭借高精度、非接触、机理丰富、灵活可控、高效环保、多材料兼容等特点突破了传统制造在多任务、多线程、多功能复合加工中的局限,通过激光与物质相互作用实现跨尺度“控形”与“控性”,为各类柔性微纳传感器的结构-材料-功能一体化制造开辟了新途径。本文首先分析激光增材、等材与减材制造的技术特点与典型目标材料,展示激光融合制造的技术优势,接着针对近年来激光融合制造在柔性物理、化学、电生理与多模态微纳传感器中的典型应用展开讨论,最后对该技术面临的挑战以及未来发展趋势进行了总结与展望,通过多学科交叉互融,开辟柔性微纳传感器制造新路径,拓展激光制造技术的应用场景。 展开更多
关键词 激光融合制造 激光-物质相互作用 微纳制造 柔性电子 柔性微纳传感器
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基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用 被引量:6
16
作者 陈珊珊 刘幸 +1 位作者 刘之光 李家方 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第24期1-19,共19页
高精度的三维微纳制造技术是现代光电子学和微纳光子学发展的重要基础之一,是实现下一代微纳光子集成器件的重要前提.纳米尺度的剪纸和折纸技术由于能够实现丰富的三维形变,正发展成为一门新兴的研究领域.本文系统地介绍了一种新型的片... 高精度的三维微纳制造技术是现代光电子学和微纳光子学发展的重要基础之一,是实现下一代微纳光子集成器件的重要前提.纳米尺度的剪纸和折纸技术由于能够实现丰富的三维形变,正发展成为一门新兴的研究领域.本文系统地介绍了一种新型的片上三维微纳加工方法基于聚焦离子束的纳米剪纸/折纸技术.该技术利用聚焦离子束辐照具有不同拓扑形貌的自支撑膜片,可实现优于50 nm精度、前所未见的三维形状变换,包括片上、实时的多向折叠、弯曲、扭曲等形变.提出了“树型”纳米剪纸和“闭环”纳米剪纸两种类型的加工方法,并针对不同类型的工艺特性和优缺点进行分析对比.利用全局扫描纳米剪纸技术制备的闭环纳米结构实现了独特的光学效应,包括超光学手性、超构表面衍射、相位和偏振调控以及光子自旋霍尔效应等.研究结果表明,纳米剪纸/折纸形变技术在保持结构复杂性和功能性的同时,可实现高精度、原位、片上、一步成型的三维微纳加工,可望为三维微纳光子器件的设计、制备和应用提供一类新的设计方法和技术途径,乃至为相关微纳光学、微电子、微机电系统、生物医学等领域的发展提供新颖的加工平台. 展开更多
关键词 三维微纳制造 纳米剪纸 聚焦离子束 光学手性
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飞秒激光直写制备蛋白质功能化器件 被引量:6
17
作者 孙思明 孙允陆 +3 位作者 刘东旭 陈岐岱 董文飞 孙洪波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第8期23-38,共16页
飞秒激光双光子(多光子)微纳加工技术,因其优异的可设计三维加工能力、高空间分辨率和低附加损伤,不仅得到了广泛而深入的研究,而且越来越多地具体应用在诸多前沿领域。介绍了飞秒激光直写技术在多种材料和多个领域的最新具体应用和进展... 飞秒激光双光子(多光子)微纳加工技术,因其优异的可设计三维加工能力、高空间分辨率和低附加损伤,不仅得到了广泛而深入的研究,而且越来越多地具体应用在诸多前沿领域。介绍了飞秒激光直写技术在多种材料和多个领域的最新具体应用和进展,并着重介绍了生物材料的飞秒激光直写的相关工作。尤其是蛋白质类材料,以其独特的物理、化学、生物特性,结合飞秒激光直写的先进加工手段,使得多样化、功能化的生物相关微纳器件和系统得以实现。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 生物材料 蛋白质 微纳加工
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低能离子束诱导单晶硅点状纳米结构与光学性能研究 被引量:5
18
作者 陈智利 刘卫国 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期237-242,共6页
使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+束在不同入射角度下对旋转单晶硅(100)表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明:样品旋转、离子束能量为1000eV、束流密度为265μA/cm2、刻蚀时间为60min时,在不同入射角度下,刻蚀后的样品表面可形... 使用微波回旋共振离子源,研究了低能Ar+束在不同入射角度下对旋转单晶硅(100)表面的刻蚀效果及其光学性能。结果表明:样品旋转、离子束能量为1000eV、束流密度为265μA/cm2、刻蚀时间为60min时,在不同入射角度下,刻蚀后的样品表面可形成均匀的自组装点状结构。入射角度为0°~25°时,随着角度增加,样品表面粗糙度增大,点状结构有序性更强,光学透射率提高;继续增加入射角度,样品表面粗糙度及点状结构尺寸开始减小,光学透射率降低;增加入射角度到45$时,自组装点状结构消失,粗糙度和平均光学透射率达到最小值分别为0.83nm和55.05%;进一步增加入射角度,样品表面再次出现自组织装点状结构,表面粗糙度急剧增大,入射角度在65$时,平均光学透射率达到极大值64.59%;此后,随着离子束入射角度的增加,表面粗糙度缓慢减小,光学透射率降低。自组织结构变化是溅射粗糙化和表面弛豫机制相互作用的结果。 展开更多
关键词 表面光学 微纳米制造技术 自组织纳米结构 低能离子束刻蚀 表面形貌 光学透射率
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纳米加工和纳米电子器件 被引量:2
19
作者 刘明 谢常青 +4 位作者 王丛舜 龙世兵 李志钢 易里成荣 涂德钰 《微纳电子技术》 CAS 2005年第9期393-397,共5页
介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展;对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论。
关键词 自上而下的纳米加工 纳米器件 单电子器件 共振隧穿器件
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Precision in harsh environments 被引量:4
20
作者 Paddy French Gijs Krijnen Fred Roozeboom 《Microsystems & Nanoengineering》 EI 2016年第1期61-72,共12页
Microsystems are increasingly being applied in harsh and/or inaccessible environments,but many markets expect the same level of functionality for long periods of time.Harsh environments cover areas that can be subject... Microsystems are increasingly being applied in harsh and/or inaccessible environments,but many markets expect the same level of functionality for long periods of time.Harsh environments cover areas that can be subjected to high temperature,(bio)-chemical and mechanical disturbances,electromagnetic noise,radiation,or high vacuum.In the field of actuators,the devices must maintain stringent accuracy specifications for displacement,force,and response times,among others.These new requirements present additional challenges in the compensation for or elimination of cross-sensitivities.Many state-of-the-art precision devices lose their precision and reliability when exposed to harsh environments.It is also important that advanced sensor and actuator systems maintain maximum autonomy such that the devices can operate independently with low maintenance.The next-generation microsystems will be deployed in remote and/or inaccessible and harsh environments that present many challenges to sensor design,materials,device functionality,and packaging.All of these aspects of integrated sensors and actuator microsystems require a multidisciplinary approach to overcome these challenges.The main areas of importance are in the fields of materials science,micro/nano-fabrication technology,device design,circuitry and systems,(first-level)packaging,and measurement strategy.This study examines the challenges presented by harsh environments and investigates the required approaches.Examples of successful devices are also given. 展开更多
关键词 atomic layer deposition harsh environments micro/nano-fabrication technology PACKAGING SENSORS
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