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制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响
被引量：
2
1
作者
鞠洪博
喻利花
许俊华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期469-472,共4页
采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜对薄膜的成分、结构和性能进行表征。研究表明:靶功率对Mo-N薄膜相结构、硬度和摩...
采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜对薄膜的成分、结构和性能进行表征。研究表明:靶功率对Mo-N薄膜相结构、硬度和摩擦性能的影响不大;随氩氮比的降低,薄膜相结构由单一的立方γ-Mo2N转变为立方γ-Mo2N与六方δ-MoN两相共存,硬度发生大幅下降,薄膜平均摩擦系数升高。
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关键词
磁控溅射
mo
-
n
薄膜
相结构
硬度和摩擦性能
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职称材料
金属Y掺杂Mo-N薄膜的机械性能和摩擦学性质研究
2
作者
栾书多
张佳鑫
顾广瑞
《延边大学学报（自然科学版）》
CAS
2020年第2期122-128,共7页
利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜...
利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜相比较,所制备的MoYN薄膜的硬度明显降低,但耐磨性和平均摩擦系数均有所改善.其中Y掺杂含量为9.44at%时,薄膜的耐磨性为最佳,平均摩擦系数为最小(0.283),硬度为(24.13±3.15) GPa.
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关键词
磁控共溅射
mo
-
n
薄膜
摩擦学性能
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职称材料
环境温度对Ti-Mo-N薄膜摩擦磨损性能的影响
被引量：
1
3
作者
鞠洪博
汪然
+1 位作者
喻利花
许俊华
《江苏科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2019年第5期12-17,共6页
采用多靶共聚焦射频磁控溅射仪制备了Mo含量为46.0%的Ti-Mo-N薄膜,研究了不同环境温度对薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明,Ti-Mo-N薄膜平均摩擦系数(μ)及磨损率(W)受环境温度影响很大,根据其变化趋势,可将环境温度分为3个区间(A,B,C),...
采用多靶共聚焦射频磁控溅射仪制备了Mo含量为46.0%的Ti-Mo-N薄膜,研究了不同环境温度对薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明,Ti-Mo-N薄膜平均摩擦系数(μ)及磨损率(W)受环境温度影响很大,根据其变化趋势,可将环境温度分为3个区间(A,B,C),对应环境温度范围分别为25~200℃、200~300℃、300~600℃.随环境温度升高,区间A内μ逐渐升高,W略有降低;区间B内μ及W基本保持稳定;区间C内μ逐渐降低,W逐渐升高.分析认为磨痕中具有自润滑作用的氧化相的量是导致薄膜μ及W出现上述变化趋势的主要原因.
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关键词
磁控溅射
Ti-
mo
-
n
薄膜
环境温度
氧化物量
摩擦磨损性能
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职称材料
Mo-N基薄膜的研究进展
被引量：
1
4
作者
刘晨凯
鞠洪博
+2 位作者
赵子彤
许俊华
喻丽花
《装备机械》
2020年第2期7-11,共5页
Mo-N基薄膜具有较高的硬度和较强的稳定性,在刀具行业中有广泛应用。从Mo2N薄膜、纳米多层膜、纳米复合膜等角度介绍了Mo-N基薄膜的研究进展。
关键词
mo
-
n
基
薄膜
研究
进展
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职称材料
题名
制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响
被引量：
2
1
作者
鞠洪博
喻利花
许俊华
机构
江苏科技大学先进焊接技术江苏省重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期469-472,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51074080)
江苏省自然科学基金资助项目(BK2008240)
江苏省研究生科技创新计划资助项目(CXZZ12-0717)
文摘
采用射频磁控溅射法,研究靶功率、氩氮比对Mo-N薄膜相结构、显微硬度和摩擦性能的影响。利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪和扫描电子显微镜对薄膜的成分、结构和性能进行表征。研究表明:靶功率对Mo-N薄膜相结构、硬度和摩擦性能的影响不大;随氩氮比的降低,薄膜相结构由单一的立方γ-Mo2N转变为立方γ-Mo2N与六方δ-MoN两相共存,硬度发生大幅下降,薄膜平均摩擦系数升高。
关键词
磁控溅射
mo
-
n
薄膜
相结构
硬度和摩擦性能
Keywords
Mag
n
etro
n
sputteri
n
g
mo
-
n
coati
n
gs
Phase structure
Microhard
n
ess a
n
d frictio
n
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
金属Y掺杂Mo-N薄膜的机械性能和摩擦学性质研究
2
作者
栾书多
张佳鑫
顾广瑞
机构
延边大学理学院
出处
《延边大学学报（自然科学版）》
CAS
2020年第2期122-128,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51272224)。
文摘
利用射频磁控和直流磁控共溅射的方法制备了金属Y掺杂的Mo-N薄膜.对制备的薄膜样品进行元素组成、微观结构、表面形貌、摩擦学性质分析显示:薄膜的择优取向由未掺杂时的γ-Mo2N (111)改变为Y掺杂后的γ-Mo2N (200).与未掺杂的Mo-N薄膜相比较,所制备的MoYN薄膜的硬度明显降低,但耐磨性和平均摩擦系数均有所改善.其中Y掺杂含量为9.44at%时,薄膜的耐磨性为最佳,平均摩擦系数为最小(0.283),硬度为(24.13±3.15) GPa.
关键词
磁控共溅射
mo
-
n
薄膜
摩擦学性能
Keywords
mag
n
etro
n
co-sputteri
n
g
mo
-
n
thi
n
films
tribological properties
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
环境温度对Ti-Mo-N薄膜摩擦磨损性能的影响
被引量：
1
3
作者
鞠洪博
汪然
喻利花
许俊华
机构
江苏科技大学材料科学与工程学院
出处
《江苏科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2019年第5期12-17,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(518010181,51574131)
文摘
采用多靶共聚焦射频磁控溅射仪制备了Mo含量为46.0%的Ti-Mo-N薄膜,研究了不同环境温度对薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明,Ti-Mo-N薄膜平均摩擦系数(μ)及磨损率(W)受环境温度影响很大,根据其变化趋势,可将环境温度分为3个区间(A,B,C),对应环境温度范围分别为25~200℃、200~300℃、300~600℃.随环境温度升高,区间A内μ逐渐升高,W略有降低;区间B内μ及W基本保持稳定;区间C内μ逐渐降低,W逐渐升高.分析认为磨痕中具有自润滑作用的氧化相的量是导致薄膜μ及W出现上述变化趋势的主要原因.
关键词
磁控溅射
Ti-
mo
-
n
薄膜
环境温度
氧化物量
摩擦磨损性能
Keywords
reactive mag
n
etro
n
sputteri
n
g
Ti-
mo
-
n
films
e
n
viro
n
me
n
t temperature
relative mass fractio
n
of oxides
frictio
n
a
n
d wear properties
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
Mo-N基薄膜的研究进展
被引量：
1
4
作者
刘晨凯
鞠洪博
赵子彤
许俊华
喻丽花
机构
江苏科技大学材料科学与工程学院
出处
《装备机械》
2020年第2期7-11,共5页
基金
江苏科技大学本科生创新创业训练计划项目(编号:1062010000)。
文摘
Mo-N基薄膜具有较高的硬度和较强的稳定性,在刀具行业中有广泛应用。从Mo2N薄膜、纳米多层膜、纳米复合膜等角度介绍了Mo-N基薄膜的研究进展。
关键词
mo
-
n
基
薄膜
研究
进展
Keywords
mo
-
n
Based Thi
n
Film
Research
Progress
分类号
TH142 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.4 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响
鞠洪博
喻利花
许俊华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
下载PDF
职称材料
2
金属Y掺杂Mo-N薄膜的机械性能和摩擦学性质研究
栾书多
张佳鑫
顾广瑞
《延边大学学报（自然科学版）》
CAS
2020
0
下载PDF
职称材料
3
环境温度对Ti-Mo-N薄膜摩擦磨损性能的影响
鞠洪博
汪然
喻利花
许俊华
《江苏科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2019
1
下载PDF
职称材料
4
Mo-N基薄膜的研究进展
刘晨凯
鞠洪博
赵子彤
许俊华
喻丽花
《装备机械》
2020
1
下载PDF
职称材料
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