期刊文献+
共找到13篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于MEMS传感器的可穿戴式老年人跌倒监测系统的设计 被引量:11
1
作者 张云浦 李玉榕 陈建国 《生物医学工程研究》 2014年第3期170-175,183,共7页
为了缩短老年人跌倒后的救助时间和提高安全保障,我们设计了一种基于加速度和角速度传感器的跌倒监测装置。该装置结合机械微电子系统(microelectro mechanical system,MEMS)传感器、数字信号处理及无线传输技术应用于智能手机上。为区... 为了缩短老年人跌倒后的救助时间和提高安全保障,我们设计了一种基于加速度和角速度传感器的跌倒监测装置。该装置结合机械微电子系统(microelectro mechanical system,MEMS)传感器、数字信号处理及无线传输技术应用于智能手机上。为区分人体跌倒事件和日常行为,结合人体三轴加速度和角速度联合对跌倒事件进行判断,通过大量实验选取合适阈值。针对老年人的生活特点,数据通过蓝牙装置发送至手机上进行处理,通过手机语音报警、手机GPS定位系统和短信通知医院和用户监护人,使得老年人跌倒后能够在第一时间获得救治,减小伤害。经过大量的实验测试结果统计,相比较于传统的三轴加速度判断跌倒事件,结合三轴加速度和加速度联合判断使该系统的准确率从84.29%提高至100%。结果表明:基于MEMS传感器的可穿戴式跌倒监测系统具有便捷、准确、功耗低的特点,能够准确监测出跌倒事件并进行报警。 展开更多
关键词 跌倒监测 微电子机械系统 阈值 蓝牙 三轴加速度 角速度
下载PDF
基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计 被引量:6
2
作者 陈立国 袁飞 +1 位作者 陈涛 孙立宁 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2015年第5期932-937,994,共6页
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度... 设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度制作,降低了热机械噪声,增大了检测电容,提高了灵敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真结果表明,器件在3个轴向的灵敏度一致性好,抗干扰,测试结果和理论分析相符。该加速度计结构工艺简单,在消费电子领域有较好的应用前景。 展开更多
关键词 单一敏感质量 三轴加速度计 微机电系统 全差分电容检测
下载PDF
一种MEMS平板型同位素微电池的设计与制作
3
作者 董鹏 苑伟政 乔大勇 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期319-322,共4页
针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想... 针对倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构的同位素微电池难于加工以及放射性薄膜不均匀等缺陷,设计了一种较为简单的平板型能量转换结构。引入金属区这一结构,增强了放射源薄膜的接触稳定性。63N i放射源电镀实验最终得到了一组理想的短路电流和开路电压数据。结果表明,该结构与传统的能量转换结构相比有更稳定的功率输出。 展开更多
关键词 MEMS 同位素^63Ni微电池 平板型能量转换结构 剥离工艺 源活度
原文传递
MEMS传感器和智能传感器的发展 被引量:5
4
作者 雷鸣远 《无线互联科技》 2020年第6期20-21,共2页
MEMS传感器和智能传感器可以被称为新时代传感器的典型代表,在智能化以及集成化方面体现出独特的优势。随着我国科学技术发展水平的提高,MEMS传感器和智能传感器也处于不断发展的过程中,同时应用的范围不断拓宽,为各行各业带来了极大的... MEMS传感器和智能传感器可以被称为新时代传感器的典型代表,在智能化以及集成化方面体现出独特的优势。随着我国科学技术发展水平的提高,MEMS传感器和智能传感器也处于不断发展的过程中,同时应用的范围不断拓宽,为各行各业带来了极大的便利。文章对此展开分析。 展开更多
关键词 微机电系统传感器 智能传感器 应用
下载PDF
微电子技术的进展与挑战 被引量:2
5
作者 林鸿溢 李映雪 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期31-38,共8页
微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今,经历了半个世纪的发展,已经取得巨大进步,成为人类社会众多领域的关键技术,从而有力地推动。
关键词 微电子技术 集成电路 纳米电子学 微机电系统 单芯片系统 研究方向
下载PDF
倒扣焊安装的微机械毫米波介质集成波导滤波器 被引量:1
6
作者 侯芳 朱健 +1 位作者 郁元卫 贾世星 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期284-288,共5页
为了解决毫米波段滤波器因倒扣焊安装引起的性能恶化问题,本文基于MEMS技术提出了联合仿真设计方法,将MEMS介质集成波导滤波器芯片与罗杰斯介质板利用三维高频仿真软件HFSS进行共同建模设计,充分考虑两者互连时易产生的问题,完成了芯片... 为了解决毫米波段滤波器因倒扣焊安装引起的性能恶化问题,本文基于MEMS技术提出了联合仿真设计方法,将MEMS介质集成波导滤波器芯片与罗杰斯介质板利用三维高频仿真软件HFSS进行共同建模设计,充分考虑两者互连时易产生的问题,完成了芯片的制作、安装、测试及结果分析。测试结果表明,该滤波器通带为41.5~42.7GHz,去嵌后通带插损小于0.8dB,通带内反射损耗优于17dB,在38GHz处带外抑制优于40dB,芯片尺寸仅为5.2mm×3.0mm×0.4mm。考虑工艺误差影响,设计与测试结果吻合良好,该方法有效改善了毫米波段滤波器频率偏移及安装互连引起反射损耗恶化等问题。 展开更多
关键词 微机械系统 滤波器 介质集成波导 倒扣焊
下载PDF
用于实验教学的数字化MEMS地震仪开发
7
作者 郑晶 卫泓旭 +1 位作者 沈帅帅 孙文达 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2023年第2期83-86,共4页
开发了基于全数字化MEMS的实验教学用地震仪,该仪器采用AS3002A芯片作为数字化检波器,直接输出数字信号,无需传统地震仪的前级输入电路和模数转换电路;利用STM32作为主控芯片,通过STM32的串行外设接口(SPI)通信读取MEMS的采集数据,并将... 开发了基于全数字化MEMS的实验教学用地震仪,该仪器采用AS3002A芯片作为数字化检波器,直接输出数字信号,无需传统地震仪的前级输入电路和模数转换电路;利用STM32作为主控芯片,通过STM32的串行外设接口(SPI)通信读取MEMS的采集数据,并将数据分包存储到SD卡;采用WIFI或4G无线通信等模块传输到上位机进行实时显示,也可利用该仪器开展脚步声采集等实验。通过室内实验测试了该仪器的各项性能指标,结果表明,该地震仪能长时稳定地实现震动信息的实时采集、传输和存储。该仪器较传统地震仪无需单独的前级输入和模数转换电路,大大降低了成本和体积,且性能满足实验教学要求。 展开更多
关键词 地球物理专业 地震仪 微机电系统
下载PDF
一种新型无阀微泵的研究 被引量:1
8
作者 苏波 王登伟 《测试技术学报》 2011年第2期107-111,共5页
研究了一种适用于微流体系统的新型无阀微泵.以单晶硅片为材料并采用微机电系统(MEMS)技术制备微泵的泵腔以及扩散口和喷口,选用弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用扁平振动马达作为驱动部件,研制出一个尺寸为12m... 研究了一种适用于微流体系统的新型无阀微泵.以单晶硅片为材料并采用微机电系统(MEMS)技术制备微泵的泵腔以及扩散口和喷口,选用弹性模量较小的聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用扁平振动马达作为驱动部件,研制出一个尺寸为12mm×12mm×6mm的无阀微泵.分别对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示:驱动电压对微泵的频率和流量均有显著影响;当驱动电压在14~3.0V范围的时候,频率和电压成线性关系;流量随着背压的增加而减小,在零背压下,当电压为1.5V时,微泵的流量达到最大值158laL/min. 展开更多
关键词 无阀微泵 微电子机械系统 单晶硅 聚二甲基硅氧烷 扁平振动马达
下载PDF
微机电系统产品非正态多质量特性的稳健设计方法
9
作者 吴佳伟 宋华明 +3 位作者 万良琪 黄甫 马东升 杨加猛 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2020年第7期1771-1781,共11页
针对温度噪声和设计参数随机性下的微机电系统(MEMS)产品非正态多质量特性波动问题,提出一种基于广义线性模型和基于分解的多目标进化算法(MOEA/D)的稳健设计方法。在样本数据建模阶段将双响应曲面引入广义线性模型中,来构建MEMS产品非... 针对温度噪声和设计参数随机性下的微机电系统(MEMS)产品非正态多质量特性波动问题,提出一种基于广义线性模型和基于分解的多目标进化算法(MOEA/D)的稳健设计方法。在样本数据建模阶段将双响应曲面引入广义线性模型中,来构建MEMS产品非正态多质量特性均值模型和方差模型,克服以往研究中对非正态转换方法下的复杂高维非线性模型信息失真的局限性,从理论上体现了MEMS产品非正态质量特性处理方法的严密性和有效性。在此基础上,提出MOEA/D优化策略,解决多质量特性冲突、离散和温度噪声条件下的模型求解问题。通过算例证明所提方法可以降低温度噪声和设计参数随机性对MEMS产品非正态质量特性的影响,同时表明该方法解决不确定性环境下的多质量特性决策问题是有效的。 展开更多
关键词 微机电系统产品 非正态多质量特性 广义线性模型 基于分解的多目标进化算法 稳健设计
下载PDF
基于MEMS技术的热式质量流量传感器 被引量:14
10
作者 斯东浩 李艳松 《国外电子测量技术》 2005年第1期49-52,共4页
本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理,并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用。
关键词 性能描述 传感器 MEMS技术 质量流量 领域 制造工艺 基本原理
下载PDF
MEMS传感器的发展现状及应用综述 被引量:15
11
作者 郝旭欢 常博 郝旭丽 《无线互联科技》 2016年第3期95-96,共2页
在微电子技术高速发展的大潮中,MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先,文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次,举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况,包括基本原理、实现功能... 在微电子技术高速发展的大潮中,MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先,文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次,举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况,包括基本原理、实现功能的先进性。最后,从无源化、材料多样化、微型化等方面对MEMS传感器的发展方向进行展望。 展开更多
关键词 微电子机械系统 传感器 应用
下载PDF
超微电动机的应用前景及其关键技术
12
作者 张思明 《电子元器件应用》 2002年第6期4-6,共3页
概述静电型、电磁型、压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能,简要介绍三种关键制造技术。指出由超微电动机构成的微电子机械系统(MEMS)的广阔应用前景。
关键词 应用前景 超微电动机 微电子机械系统 微细加工技术 LIGA技术
下载PDF
高g值加速度环境微结构动态特性 被引量:3
13
作者 王涛 王晓东 王立鼎 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第16期88-94,共7页
为研究微机电系统(Microelectro-mechanical systems,MEMS)中微结构在高g值加速度环境中的动态特性,研究高g值加速度环境微结构动态测试技术,建立高g值环境微结构动态测试装置,研制适用于高g值加速度环境的压电陶瓷底座激励装置,制备集... 为研究微机电系统(Microelectro-mechanical systems,MEMS)中微结构在高g值加速度环境中的动态特性,研究高g值加速度环境微结构动态测试技术,建立高g值环境微结构动态测试装置,研制适用于高g值加速度环境的压电陶瓷底座激励装置,制备集成压阻元件的典型梁—质量块微结构,测试典型MEMS微结构在从常态到10000g加速度环境中动态特性及其变化规律。测试结果显示,在高g值加速度作用下,当微结构发生大变形处于非线性状态时,微结构谐振频率随加速度的增大而提高;而当微结构处于线性小变形状态时,微结构谐振频率不随外部加速度作用发生变化;在大变形及小变形状态下,外部高g值加速度载荷对微结构阻尼比均不产生明显影响。测试结果与采用应力刚化非线性有限元模型分析结果具有很好的一致性。 展开更多
关键词 微结构 高G值 动态特性 微机电系统
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部