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基于聚焦离子双束电镜的透射电镜微柱试样制备
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作者 高倩雯 李怡雪 +1 位作者 冯丹 史学芳 《理化检验(物理分册)》 CAS 2024年第9期30-33,共4页
利用聚焦离子双束电镜在传统透射电镜试样制备的方法上进行改进,通过改变离子束辅助沉积的区域及作用,以及将U形切改良为L形切,成功提取压缩后的小鼠骨骼微柱试样至专用铜网上。提取出的试样通过离子束精确减薄后,可在透射电镜下观察到... 利用聚焦离子双束电镜在传统透射电镜试样制备的方法上进行改进,通过改变离子束辅助沉积的区域及作用,以及将U形切改良为L形切,成功提取压缩后的小鼠骨骼微柱试样至专用铜网上。提取出的试样通过离子束精确减薄后,可在透射电镜下观察到胶原纤维走向。 展开更多
关键词 微柱 聚焦离子双束电镜 透射电镜试样 Pt沉积层 L形切
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Effects of square micro-pillar array porosity on the liquid motion of near surface layer 被引量:1
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作者 Xiaoxi Qiao Xiangjun Zhang +2 位作者 Ping Chen Yu Tian Yonggang Meng 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第2期321-326,共6页
The influence rules of square micro-pillar array porosity on the liquid motion characteristics of the near-surface layer are investigated by quartz crystal microbalance(QCM).QCM is a powerful and promising technique i... The influence rules of square micro-pillar array porosity on the liquid motion characteristics of the near-surface layer are investigated by quartz crystal microbalance(QCM).QCM is a powerful and promising technique in studying the interfacial behavior,which exhibits great advantages in investigating the effects of surface microstructure,roughness,and array.In our experiments,three different arrays with the same height of about 280 nm and center distance of 200μm,but different diameters of about 78μm,139μm,and 179μm are investigated.The results indicate that when the surface array has a large porosity,its influence on the liquid motion of the near surface layer is slight,thus resulting in a small increase of half-bandwidth variation due to the additional friction energy dissipation.When the surface array has a small porosity,the array tends to make the liquid film trapped in the array oscillating with the substrate,then there may be a layer of liquid film behaving like rigid film,and it also will make the liquid motion near the array layer more complicated.Thus for the#3 surface with a small porosity,both the absolute values of frequency shift|Δf3|and half-bandwidth variationΔΓ3 increase obviously.The experimental results show good consistence with the theoretical model of Daikhin and Urbakh.This study sheds light on understanding the influence mechanism of surface array porosity on the liquid motion of near-surface layer. 展开更多
关键词 quartz crystal microBALANCE SQUARE micro-pillar ARRAY WETTING state permeability
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采用超疏水微柱阵列模板法制备多糖凝胶微米颗粒 被引量:1
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作者 包寒 罗静 +2 位作者 时连鑫 徐福建 王树涛 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期1484-1491,共8页
开发了一种制备尺寸均一的多糖基微凝胶(PsMH)的新方法:以超疏水、高黏附的微米级圆柱状结构硅基底为模板,通过在微柱结构顶端黏附微液滴,并在挥发过程中紫外固化,制备了扁平状的PsMH.研究发现,采用此方法制备的PsMH尺寸均一,且均匀分... 开发了一种制备尺寸均一的多糖基微凝胶(PsMH)的新方法:以超疏水、高黏附的微米级圆柱状结构硅基底为模板,通过在微柱结构顶端黏附微液滴,并在挥发过程中紫外固化,制备了扁平状的PsMH.研究发现,采用此方法制备的PsMH尺寸均一,且均匀分布在微柱顶端.通过改变凝胶预聚液浓度及微柱直径,可以有效调节PsMH的尺寸.这种多糖基微凝胶有望应用于药物递送及纳米粒子载体等方面. 展开更多
关键词 多糖水凝胶 微米柱状阵列 微米级凝胶 超疏水阵列模板
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Cu系纳米金属多层膜微柱体的形变与损伤及其尺寸效应 被引量:2
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作者 孙军 张金钰 +1 位作者 吴凯 刘刚 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1249-1258,共10页
纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系,其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素.以本课题组近年来的研究结果为基础,结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展,... 纳米金属多层膜材料已成为目前高性能微元器件以及互连结构的核心材料体系,其服役过程中的变形损伤与断裂是导致系统失效的关键因素.以本课题组近年来的研究结果为基础,结合当前国内外有关金属多层膜微柱体塑性变形行为研究的最新进展,阐述了金属多层膜微柱体微观结构-尺寸约束-服役性能三者之间的关联性,揭示了金属多层膜微柱体变形模式与损伤的内在规律,归纳了晶体/晶体与晶体/非晶两类层状结构材料加工硬化/软化行为的微观机理,并对纳米金属多层膜研究的发展趋势进行了展望. 展开更多
关键词 纳米金属多层膜 微柱体 塑性变形 形变损伤 尺寸效应
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Improvement of multi-functional properties by fabricating micro-pillar arrays structures on zirconium alloy surface 被引量:1
5
作者 WANG XiaoLiang WANG HaoYu +5 位作者 LIU YongDa QI Min REN QuanYao XU Jie SHAN DeBin GUO Bin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期1243-1252,共10页
Although using the microstructure of a surface to enhance specific functions has immense applicability in numerous fields,few studies have been conducted on the multi-functional properties of nuclear fuel elements in ... Although using the microstructure of a surface to enhance specific functions has immense applicability in numerous fields,few studies have been conducted on the multi-functional properties of nuclear fuel elements in harsh environments.In this study,surfaces with zirconium alloy micro-pillar arrays were prepared using micro-milling and ultraviolet nanosecond laser technology,and their functional properties such as the wettability,structural stability,and corrosion resistance were investigated.It was found that the geometric dimension of the micro-pillar arrays prepared using these two methods could meet the design requirements,but the micro-milling process had the best dimensional accuracy.Micro-nano multi-scale structures were obtained by laser ablation.However,these multi-scale structures exhibited weak structural stability,and the nanostructures were easily corroded.By contrast,the micro-pillar arrays manufactured using micro-milling were confirmed to have better structural stability and corrosion resistance.On one hand,the area mass loss of the micro-milled structure was lower than that of a flat surface after experiencing high-pressure fluid scouring at 8 and 38 m/s.On the other hand,the oxidation weight gain of the surface with the micro-milled structure was lower than that of a flat surface,and the oxide film was 22.5% thinner after 100 days of deionized water corrosion at 360℃ and 18.7 MPa. 展开更多
关键词 zirconium alloy micro-pillar arrays WETTABILITY structural stability CORROSION
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Orientation Dependence of the Micro-Pillar Compression Strength in an Electron Beam Melted Ti-6Al-4V Alloy
6
作者 Jinsen Tian Jiang Ma +3 位作者 Ming Yan Zhuo Chen Jun Shen Jing Wu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第4期476-484,共9页
An α/β two-phase Ti-6Al-4V alloy was fabricated by electron beam melting to obtain a basketweave structure.The orientation dependence of the mechanical properties of Ti-6Al-4 V alloy was studied by micro-pillar comp... An α/β two-phase Ti-6Al-4V alloy was fabricated by electron beam melting to obtain a basketweave structure.The orientation dependence of the mechanical properties of Ti-6Al-4 V alloy was studied by micro-pillar compression and post-mortem transmission electron microscopy analysis.The results indicate that different grains have different mechanical responses,and the possible attributions were discussed.Besides the orientation effect,due to the limited volumes of micropillars,the size of the a phases,dispersion of the β phases,and the presence of the free dislocation path also affect the mechanical properties of the micropillars to a large extent.Although no direct link was discovered between the mechanical properties and the parent β orientations,this work provided a promising method to further study the anisotropic mechanical behavior in Ti-6Al-4V alloy. 展开更多
关键词 Electron beam melting(EBM) TI-6AL-4V micro-pillar compression Orientation dependence Mechanical properties
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通过激光诱导化学气相沉积来制造微碳柱的研究 被引量:7
7
作者 温宗胤 李宝灵 周健 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期79-82,共4页
使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均... 使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构。试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率随照射时间、焦点移动速度的变化规律。根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱。 展开更多
关键词 激光诱导化学气相沉积 生长速度 直径 微碳柱
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微柱结构表面核态沸腾单气泡的数值模拟 被引量:6
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作者 陈宏霞 孙源 +1 位作者 肖红洋 刘霖 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期4845-4855,共11页
利用计算流体力学方法(computational fluid dynamics,CFD)对三维均匀微柱结构表面单气泡核态沸腾过程进行数值模拟研究,使用VOF模型(volume of fluid model,VOF)在界面网格追踪加密的条件下精确捕捉气液界面,同时考虑气液界面和微层处... 利用计算流体力学方法(computational fluid dynamics,CFD)对三维均匀微柱结构表面单气泡核态沸腾过程进行数值模拟研究,使用VOF模型(volume of fluid model,VOF)在界面网格追踪加密的条件下精确捕捉气液界面,同时考虑气液界面和微层处的蒸发,准确获得三维微柱表面单气泡核态沸腾过程中的气泡动力学、温度演化和蒸发换热性能。结果表明,气泡脱离时间为1.79ms,体现了微柱结构促进气泡脱离的强化作用。通过气泡横向和纵向直径的变化准确表征了气泡在脱离过程中的变形过程,并模拟得到该过程流场热边界层及壁面温度的演变规律。同时,通过微层蒸发和气液交界面蒸发功率随时间变化的监测,指出气泡生长过程微层蒸发量占总蒸发量的52%;t=0.95ms后微层蒸发消失,气液界面蒸发维持相对稳定值(0.1~0.2W)直至气泡脱离。蒸发换热特性耦合气泡与壁面接触情况随时间的变化,揭示了单气泡核态沸腾过程蒸发换热机理的阶段性特征及时间分区,为在核态沸腾单个气泡生长脱离过程中更准确划分时间阶段、建立沸腾换热模型奠定基础,提供了参考。 展开更多
关键词 数值模拟 微柱结构 核态沸腾 气泡动力学 换热机理
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基于田口法的高密度倒装微铜柱凸点热失效分析 被引量:4
9
作者 任宁 田野 +2 位作者 蔡刚毅 尚拴军 吴丰顺 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期35-38,共4页
采用有限元模拟法,分析在热循环载荷条件下高密度倒装芯片封装微铜柱凸点的失效行为,并以微铜柱凸点的最大累积塑性应变能密度作为响应,采用3因素3水平的田口正交试验法分析倒装芯片封装的主要结构参数和材料属性对其热失效行为的影响.... 采用有限元模拟法,分析在热循环载荷条件下高密度倒装芯片封装微铜柱凸点的失效行为,并以微铜柱凸点的最大累积塑性应变能密度作为响应,采用3因素3水平的田口正交试验法分析倒装芯片封装的主要结构参数和材料属性对其热失效行为的影响.结果表明,距离封装中心最远处的微铜柱凸点是封装体中的关键微凸点,热疲劳导致的裂纹易在该微铜柱凸点的基板侧焊料外侧形成.底部填充胶的线膨胀系数对微铜柱凸点热失效的影响最大,影响适中的是底部填充胶的弹性模量,最弱的是芯片厚度. 展开更多
关键词 田口正交试验 微铜柱凸点 累积塑性应变能密度 热失效
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Cu-Sn-Cu互连微凸点热压键合研究 被引量:4
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作者 张潇睿 《电子与封装》 2021年第9期20-24,共5页
随着多数产品更高的I/O数需求,微铜柱凸点已经成为倒装芯片领域的主流,而热压倒装焊则是目前使用最多的键合方式之一。针对一款Cu-Sn-Cu倒装芯片,基于日本Athlete公司的CB-600低荷重半自动倒装键合机,以研究芯片键合质量为目标,完成了... 随着多数产品更高的I/O数需求,微铜柱凸点已经成为倒装芯片领域的主流,而热压倒装焊则是目前使用最多的键合方式之一。针对一款Cu-Sn-Cu倒装芯片,基于日本Athlete公司的CB-600低荷重半自动倒装键合机,以研究芯片键合质量为目标,完成了不同参数条件下的芯片键合样品,并通过光学显微镜和拉剪力测试机对样品的键合质量进行了比较,得到了键合参数对键合质量的影响规律。 展开更多
关键词 微铜柱凸点 热压键合 键合参数 拉剪力测试
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飞秒激光直写掩模制作硅表面微柱阵列 被引量:3
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作者 田亚湘 张帆 +2 位作者 丁铠文 满姝 吴碧微 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第18期261-266,共6页
提出了一种使用飞秒激光直写掩模加工微柱阵列的方法。利用高重复频率飞秒激光的热氧化效应在硅表面制作出二氧化硅点阵列,然后经氢氧化钾刻蚀得到微柱阵列。相比于传统的制作微柱阵列的方法,使用飞秒激光直写掩模制作微柱阵列的方法工... 提出了一种使用飞秒激光直写掩模加工微柱阵列的方法。利用高重复频率飞秒激光的热氧化效应在硅表面制作出二氧化硅点阵列,然后经氢氧化钾刻蚀得到微柱阵列。相比于传统的制作微柱阵列的方法,使用飞秒激光直写掩模制作微柱阵列的方法工艺简单,成本更低。此外,探究了激光功率、曝光时间和氢氟酸蚀刻对掩模尺寸的影响。这种微柱阵列在减反、传感等领域具有很好的应用价值。 展开更多
关键词 超快光学 热氧化效应 微柱阵列 氢氧化钾 掩模
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微柱表面液滴定壁温沸腾实验研究 被引量:2
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作者 陈宏霞 肖红洋 +1 位作者 孙源 刘霖 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期3363-3369,共7页
利用高速摄像技术对去离子水液滴撞击微柱结构表面后的蒸发及核化过程进行观测。实验测得不同壁面温度下液滴蒸干时间,获得液滴沸腾曲线;发现相对光滑表面,微柱表面在50、60、70、80、120℃强化相变换热,120℃时强化比例最大,达到35.71%... 利用高速摄像技术对去离子水液滴撞击微柱结构表面后的蒸发及核化过程进行观测。实验测得不同壁面温度下液滴蒸干时间,获得液滴沸腾曲线;发现相对光滑表面,微柱表面在50、60、70、80、120℃强化相变换热,120℃时强化比例最大,达到35.71%;壁温为90、100、110℃时,微柱表面无强化作用。从液滴直径和厚度的变化可知微柱表面液滴蒸发分为两个阶段:第一阶段,液滴直径不变,厚度变化;第二阶段,液滴厚度接近微柱高度,直径减小。随壁温升高,第一阶段时长显著缩短。液滴内部核化点密度和气泡平均直径随壁面温度的升高均有明显增大的趋势。需指出的是,液滴冲击对微柱表面液滴内部核化点分布有重要影响,受微柱结构及滴落冲击作用液滴内部成核气泡沿液滴半径呈辐射状分布。 展开更多
关键词 液滴撞击 微柱结构 蒸发 汽化核心 气泡直径 气泡分布
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热循环条件下高密度倒装微铜柱凸点失效行为分析 被引量:2
13
作者 任宁 田野 +1 位作者 吴丰顺 尚拴军 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期25-28,130,共4页
基于圣维南原理,采用全局模型和子模型相结合的建模方针,建立倒装芯片封装的有限元模型.分析热循环条件下微铜柱凸点的应力及应变分布,研究高密度倒装芯片封装微铜柱凸点的失效机理,对关键微铜柱凸点的裂纹生长行为进行分析.结果表明,... 基于圣维南原理,采用全局模型和子模型相结合的建模方针,建立倒装芯片封装的有限元模型.分析热循环条件下微铜柱凸点的应力及应变分布,研究高密度倒装芯片封装微铜柱凸点的失效机理,对关键微铜柱凸点的裂纹生长行为进行分析.结果表明,距芯片中心最远处的微铜柱凸点具有最大的变形与应力,为封装体中的关键微铜柱凸点;累积塑性应变能密度主要分布在关键微铜柱凸点的基板侧,在其外侧位置最大,向内侧逐渐减小,这表明裂纹萌生在基板侧微铜柱凸点外侧,向内侧扩展,试验结果与模拟结果相一致. 展开更多
关键词 倒装芯片封装 微铜柱凸点 累积塑性应变能密度 失效行为
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疏高粘液体表面的制备及其界面粘附性能研究 被引量:1
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作者 祝青 谢虓 +1 位作者 郑保辉 李尚斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期9115-9121,共7页
高粘液体广泛应用于工业生产和日常生活中。因此,疏高粘液体表面的制备及其粘附性能研究对高粘液体的操控、研究和实际应用具有重要意义。以铜阵列为基体,通过氢氧化钠/过硫酸铵混合溶液的浸泡构建二级纳米结构,再采用十七氟癸烷三甲氧... 高粘液体广泛应用于工业生产和日常生活中。因此,疏高粘液体表面的制备及其粘附性能研究对高粘液体的操控、研究和实际应用具有重要意义。以铜阵列为基体,通过氢氧化钠/过硫酸铵混合溶液的浸泡构建二级纳米结构,再采用十七氟癸烷三甲氧基硅烷进行表面修饰,构建了疏高粘液体表面。该表面对高粘液体HTPB(端羟基聚丁二烯)和HTPB/Al(粘度均为水的几万倍)具有良好的疏液特性,其静态接触角均大于140°。当NaOH浓度为5mol/L和过硫酸铵浓度为0.3mol/L,反应时间为8h时,铜阵列表面形成的多层级微-纳复合结构极大地减小了固-液界面间的接触面积,使铜阵列表面与HTPB和HTPB/Al液滴间的粘附作用力分别降低至25.5和42.2μN,成功构建了对高粘液体具有低粘附特性的表面。 展开更多
关键词 高粘液体 铜阵列 多层级微-纳复合结构 疏液特性 粘附性能
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红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
15
作者 何熙 陈松岩 +2 位作者 方辉 罗仲梓 谷丹丹 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期169-171,共3页
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工... 基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺,对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明:当反转烘温度为96-98℃,第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时,可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti,成功剥离出高2.40μm、面积3.0μm×3.0μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高,胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时,也能剥离出所要图形,可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱. 展开更多
关键词 微互连柱 AZ5214E 反转 剥离
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有机硅改性丙烯酸酯涂层的微/纳凸柱状织构化及其防污性能 被引量:5
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作者 许季海 赵文杰 +4 位作者 周成旭 张昕 李赫 薛群基 乌学东 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期946-953,共8页
经过"硅片模板-PDMS模板-目标涂层"的制备过程,实现了具有规则微/纳凸柱状织构表面的有机硅改性丙烯酸酯涂层的制备.利用傅里叶红外光谱仪(FTIR)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和接触角仪系统表征了所制备... 经过"硅片模板-PDMS模板-目标涂层"的制备过程,实现了具有规则微/纳凸柱状织构表面的有机硅改性丙烯酸酯涂层的制备.利用傅里叶红外光谱仪(FTIR)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和接触角仪系统表征了所制备涂层的物理化学性能,并以绿藻门的丝藻和硅藻门的舟形藻作为研究对象,考察了涂层的防污性能.研究结果表明,织构化涂层表面的接触角随微/纳凸柱状织构的表面覆盖率增加而增加,而丝藻和舟形藻的附着量随着微/纳凸柱状织构化表面覆盖率的增加而减小.当微/纳凸柱状织构表面覆盖率为21%时,相对于无织构化涂层,丝藻的附着量降低了82%,舟形藻的附着量降低了73%.通过对比两种藻类与微/纳凸柱之间距离的大小并结合织构化涂层的润湿行为,分析了织构化涂层有效防除丝藻和舟形藻附着的原因和机理. 展开更多
关键词 有机硅改性丙烯酸酯 纳凸柱状织构 润湿性 丝藻 舟形藻 防污性能
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基于有限元模拟的微铜柱互连点热失效分析 被引量:1
17
作者 贾东生 李海柱 +2 位作者 马玉琳 秦进功 田野 《河南科技》 2022年第5期41-44,共4页
采用有限元模拟法,研究了微铜柱互连点在热冲击载荷条件下的应变和应力,并分析了微互连点的裂纹生长情况。结果表明,封装结构最外侧的微互连点为最易失效互连点(关键互连点)。累积塑性应变能密度主要集中在芯片侧铜焊盘附近,且由外向内... 采用有限元模拟法,研究了微铜柱互连点在热冲击载荷条件下的应变和应力,并分析了微互连点的裂纹生长情况。结果表明,封装结构最外侧的微互连点为最易失效互连点(关键互连点)。累积塑性应变能密度主要集中在芯片侧铜焊盘附近,且由外向内逐渐递减,这表明裂纹形成在芯片侧,并沿着焊盘由外向内扩展,最终贯穿整个互连点。试验结果与模拟分析一致,进一步验证了模拟结果对裂纹生长的分析的合理性。 展开更多
关键词 微铜柱互连点 热循环 有限元分析
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水泥粉喷桩在软土地基中的应用
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作者 李文军 《福建建材》 2006年第3期49-50,共2页
结合多年的工程的实践,详细介绍水泥粉喷桩在软土地基中的应用、工艺特点、加固机理、施工设备、施工程序、质量的控制措施、质量标准与检验方法及经济效益分析等。
关键词 水泥粉喷桩 软土地基 应用
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