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谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装 被引量:26
1
作者 陈德勇 曹明威 +2 位作者 王军波 焦海龙 张健 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1235-1242,共8页
为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底... 为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜;然后,通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后,利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通孔,通过硅-玻璃阳极键合实现谐振梁的圆片级真空封装和电连接,成功地将谐振器封装在真空参考腔中。对传感器的性能测试表明:该真空封装方案简单有效,封装气密性良好;传感器在10kPa^110kPa的差分检测灵敏度约为10.66 Hz/hPa,线性相关系数为0.99999 542。 展开更多
关键词 微电子机械系统 谐振式压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 阳极键合 真空封装
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微型振动能量收集器的研究现状及发展趋势 被引量:22
2
作者 陈文艺 孟爱华 刘成龙 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第11期715-720,共6页
综述了最近几年国内外微型振动能量收集器的研究状况,重点介绍了被广泛应用的压电式振动能量收集器和电磁式振动能量收集器,简要阐明微型振动能量收集器实现大规模商业化产品的可能性。根据微型振动能量收集器的工作方式和结构特点对其... 综述了最近几年国内外微型振动能量收集器的研究状况,重点介绍了被广泛应用的压电式振动能量收集器和电磁式振动能量收集器,简要阐明微型振动能量收集器实现大规模商业化产品的可能性。根据微型振动能量收集器的工作方式和结构特点对其进行了分类,并且分别列举出了各种类型能量收集器的突出研究成果,详细介绍了各种类型振动能量收集器的基本工作原理和工作性能,对比各种结构的优缺点,总结各类微型振动能量收集器的适用范围和存在的问题。最后,分别从能量收集器的结构尺寸、材料性能和能量收集电路三个方面对微型振动能量收集器的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 能量收集器 振动 微机电系统(mems) 电磁式 压电式
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一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器 被引量:22
3
作者 何洪涛 王伟忠 +2 位作者 杜少博 胡立业 杨志 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第4期233-239,255,共8页
提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSY... 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计,解决了SiC压力传感器加工工艺中材料刻蚀、耐高温金属化、敏感电阻制备等关键技术难点,最终加工形成SiC高温压力传感器芯片。经过高温带电测试,加工的SiC压力传感器能够在550℃的环境温度下、700 kPa压力范围内输出压力敏感信号,传感器非线性指标达到1.054%,芯片灵敏度为0.005 03 mV/kPa/V,证明了整套技术的有效性。 展开更多
关键词 SIC 微电子机械系统(mems) 压力传感器 高温 ANSYS软件
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地下隧道变形检测的无线倾角传感器 被引量:20
4
作者 何斌 纪云 沈润杰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1464-1471,共8页
设计了一种无线倾角传感器来检测地下隧道的结构变形,并研究了该无线倾角传感器所采用的温度补偿和数字滤波算法。首先,根据地下隧道结构特点,结合微机电系统(MEMS)技术和无线传感器网络技术,给出无线倾角传感器的硬件结构,并描述了传... 设计了一种无线倾角传感器来检测地下隧道的结构变形,并研究了该无线倾角传感器所采用的温度补偿和数字滤波算法。首先,根据地下隧道结构特点,结合微机电系统(MEMS)技术和无线传感器网络技术,给出无线倾角传感器的硬件结构,并描述了传感器实现无线通信和可视化上位机界面的软件设计流程。然后,针对地下隧道温度变化大、振动扰动频繁等因素,分析其对传感器精度的影响,实现了对无线倾角传感器的温度补偿。最后,通过对传感器数据噪声频谱分析,选择数字滤波方法,充分抑制振动对传感器的影响,提升了无线倾角传感器的测量精度。实验结果表明:无线倾角传感器在±30°范围内的测量精度为0.05°,符合地下隧道变形检测的功能需求。 展开更多
关键词 微机电系统 无线传感器网络 倾角传感器 温度补偿 数字滤波
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MEMS智能传感器技术的新进展 被引量:16
5
作者 赵正平 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第1期1-7,共7页
CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特... CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段。综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特点、传感器新材料和新结构、电子学新架构、设计拓扑、关键技术突破和测试结果。同时也对MEMS智能传感器的工艺和封装技术的最新进展进行了陈述。从设计、工艺和封装等方面分析了当前MEMS智能传感器总的发展趋势,并提取了主要技术创新亮点。 展开更多
关键词 智能传感 微电子机械系统(mems) 惯性传感 压力传感器 温度传感器 生化传感器
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基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析 被引量:13
6
作者 魏会敏 罗风光 +1 位作者 曹明翠 胡巧燕 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期685-687,共3页
研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器(VOA)。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器,它具有良好的光学性能,克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0~8V,工作范围是0~25dB。给出了器件的... 研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器(VOA)。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器,它具有良好的光学性能,克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0~8V,工作范围是0~25dB。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果。 展开更多
关键词 微电机系统(mems) 可调光衰减器(VOA) 插入损耗 偏振相关损耗 波长相关损耗 回波损耗
原文传递
微机电系统的研究与展望 被引量:14
7
作者 陈勇华 《电子机械工程》 2011年第3期1-7,共7页
微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS... 微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。 展开更多
关键词 微机电系统 纳电子机械系统 微传感器
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基于微结构PDMS介质层的电容式柔性阵列压力传感器 被引量:14
8
作者 王瑞荣 侯鹏飞 +2 位作者 刘继军 李晓红 陈瞳 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第5期389-393,418,共6页
提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层... 提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层的传感器性能进行了测试。测试结果表明,采用微结构PDMS为介质层明显提高了传感器的灵敏度,当介质层厚度为0.5 mm时,0~5 kPa和5~20 kPa下传感器的灵敏度分别为0.18 kPa-1和0.02 kPa-1,同时传感器具有良好的重复性(>1 000次)、快速的响应时间(<200 ms)和低的检测极限(约为5.5 Pa)。该传感器能够准确、灵活地监测外部压力的变化和分布,适用于未来智能机器人中电子皮肤的应用。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 压力传感器 电容式传感器 微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS) 阵列 灵敏度
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微型氢气/空气自呼吸式质子交换膜燃料电池 被引量:11
9
作者 王涛 陈聪 +3 位作者 李巨峰 张熙贵 夏保佳 李昕欣 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1928-1930,共3页
A miniaturized H 2/air self-breathing proton exchange membrane fuel cell(μPEMFC) was designed and fabricated with 1 cm 2 active area. All the basic parts of a conventional H 2/air PEMFC were incorporated in a smaller... A miniaturized H 2/air self-breathing proton exchange membrane fuel cell(μPEMFC) was designed and fabricated with 1 cm 2 active area. All the basic parts of a conventional H 2/air PEMFC were incorporated in a smaller and simpler package. The electrodes of the μPEMFC were constructed on silicon wafer substrates by means of standard micro electromechanical systems (MEMS) techniques. The obtained results show that the peak power density of a single cell has exceeded 110 mW/cm 2 when it was operated in ambient atmosphere at 20 ℃. Furthermore, the cells can yield over 400 W/L specific power density. 展开更多
关键词 微型质子交换膜燃料电池 空气 自呼吸 微机电系统 氢气
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一种低成本自适应的MEMS陀螺温度补偿方法 被引量:12
10
作者 许鹏 王帆 董冰玉 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第8期535-540,562,共7页
介绍了一种低成本自适应的微机电系统(MEMS)陀螺温度补偿方法。基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因。研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于Atmega32单片机的低成本补偿电路,建立了陀螺温度... 介绍了一种低成本自适应的微机电系统(MEMS)陀螺温度补偿方法。基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因。研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于Atmega32单片机的低成本补偿电路,建立了陀螺温度补偿模型,提出了补偿方法。该方法通过变温法采集MEMS陀螺输出,对信号进行快速傅里叶变换(FFT)滤波处理,然后采用一种自适应算法,获取陀螺输出曲线的拐点。基于这些拐点,对MEMS陀螺全温区(-40~60℃)零偏特性进行分段插值补偿,同时采用三点插值法对标度因数进行补偿。测试结果表明,陀螺全温区零偏稳定性由补偿前的1 116.5°/h提升到补偿后的21.9°/h,标度因数温度系数由补偿前的5.286×10^(-4)/℃提升到补偿后的3.7×10^(-5)/℃。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 陀螺 温度补偿 自适应算法 低成本
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硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状 被引量:12
11
作者 刘楠 苏言 +3 位作者 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第6期395-400,共6页
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用... 综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用的温度误差模型构建方法,算法补偿既符合小体积、低成本的设计理念,又能有效提升陀螺仪的温度稳定性,但复杂的算法需要强大的内存支撑,系统的响应速度亦会受到影响,因此在算法的优化设计方面仍有巨大的研究潜力和空间。随着陀螺仪数字化进程的不断推进,温度误差模型构建的标准化方法以及优化的算法是未来进一步的发展方向。 展开更多
关键词 微机械系统(mems) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿
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自供能传感器能量采集技术的研究现状 被引量:11
12
作者 杜小振 张龙波 +1 位作者 于红 曾庆良 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第4期265-275,283,共12页
归纳了国内外自供能微电源技术的研究现状,阐述了环境能量采集技术结构设计与能量转换机理。当前能量采集器主要依靠特殊功能材料完成能量转换,耦合方式包括:压电效应、磁致伸缩效应、摩擦发电效应、热释电效应、静电效应、光电效应等... 归纳了国内外自供能微电源技术的研究现状,阐述了环境能量采集技术结构设计与能量转换机理。当前能量采集器主要依靠特殊功能材料完成能量转换,耦合方式包括:压电效应、磁致伸缩效应、摩擦发电效应、热释电效应、静电效应、光电效应等。能量来源包括:振动机械能、磁场能、摩擦能、温差能、风能、海洋能和太阳能等。能量采集器的结构形式有单一能量转换和复合能量转换等。为了提高能量采集装置的发电性能,研究重点是结构优化设计、换能材料改性、降低储能电路自损耗等。自供能微电源未来的发展趋势包括增强环境自适应能力、改进自供电能量转换效率、加快实用化步伐等。 展开更多
关键词 能量采集技术 低功耗系统 环境能源 微机电系统(mems) 微电源
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芯片级原子器件MEMS碱金属蒸气腔室制作 被引量:11
13
作者 尤政 马波 +2 位作者 阮勇 陈硕 张高飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1440-1446,共7页
提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法,用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统(MEMS)体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Py-rex玻璃阳极键合成预... 提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法,用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统(MEMS)体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Py-rex玻璃阳极键合成预成型腔室,然后引入氮缓冲气体和由惰性石蜡包覆的微量碱金属铷或铯。通过两步阳极键合来密封腔室,键合温度低于石蜡燃点198℃。第一步键合预封装腔室,键合电压小于缓冲气体的击穿电压。第二步键合在大气氛围中进行,电压增至1 200V来增强封装质量。通过高功率激光器局部加热释放碱金属,同时在腔壁上形成均匀的石蜡镀层以延长极化原子寿命。本文实现了160℃的低温阳极键合封装,键合率达到95%以上。封装的碱金属铷释放后仍具有金属光泽,实现的最小双腔室体积为6.5mm×4.5mm×2mm。铷的吸收光谱表明铷有效地封装在腔室中,证明两步低温阳极键合工艺制作碱金属蒸气腔室是可行的。 展开更多
关键词 微机电系统 阳极键合 原子蒸气腔室 碱金属封装 芯片级原子器件
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MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器 被引量:10
14
作者 杨杰 许卓 +2 位作者 安坤 陈晓勇 丑修建 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第2期103-107,共5页
具有高能量输出密度的自我供电振动能量采集技术有着迫切的应用需求,是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。研究了一种可将外界环境振动能转化为电能的MEMS压电-磁电复合振动能量采集器,其综合了压电发电和磁电发电的优势,为新型MEMS供... 具有高能量输出密度的自我供电振动能量采集技术有着迫切的应用需求,是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。研究了一种可将外界环境振动能转化为电能的MEMS压电-磁电复合振动能量采集器,其综合了压电发电和磁电发电的优势,为新型MEMS供电研究提供了新思路。利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PZT)压电功能薄膜的制备,采用MEMS加工技术完成器件四悬臂梁-中心质量块基础结构的设计和制作,结合集成封装技术实现微结构与永磁铁的微组装。测试结果表明:在一阶谐振频率247 Hz,10 g加速度激励的振动状态下,器件压电部分压电敏感单元与磁电部分电感线圈的单位体积最大有效输出电压分别为2.066×107和5.002×106 mV/cm3。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 压电式 电磁式 振动能 能量采集器
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MEMS环形振动陀螺结构设计与仿真分析 被引量:10
15
作者 寇志伟 曹慧亮 +3 位作者 刘俊 冯恒振 任建军 连树仁 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第7期479-484,491,共7页
针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式。在此基础上应用ANSYS有限元分析软件建立了该环形振动陀螺谐振结构的有限元模型,分别进行了... 针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式。在此基础上应用ANSYS有限元分析软件建立了该环形振动陀螺谐振结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析、瞬态冲击响应分析与静力分析。仿真分析结果显示该环形陀螺驱动与敏感模态固有频率的频差为33 Hz,工作模态的频率匹配性较好;工作模态与其他振动模态的最小频差为1 032 Hz,能够有效抵抗环境振动的干扰;谐振结构在10 000g的瞬态冲击作用下最大应力为39.5 MPa,可以正常稳定工作。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 环形振动陀螺 振动特性 有限元分析 工作模态 模态分析
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光束扫描技术研究进展 被引量:10
16
作者 闫舟 徐景 《光电技术应用》 2013年第4期1-9,共9页
回顾了光束扫描技术的发展历程,重点分析微机电式和纯电控非机械式光束扫描技术的特点,并综合对比它们各自的技术优势,最后指出在高速率光通信系统中,由于纯电控非机械式光束扫描技术得到广泛应用,因此必须考虑该技术的色散特性对高速... 回顾了光束扫描技术的发展历程,重点分析微机电式和纯电控非机械式光束扫描技术的特点,并综合对比它们各自的技术优势,最后指出在高速率光通信系统中,由于纯电控非机械式光束扫描技术得到广泛应用,因此必须考虑该技术的色散特性对高速光通信系统误码率的影响。 展开更多
关键词 光束扫描技术 扫描速度 微机电式 纯电控非机械式
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带透明电极可变形反射镜的研制 被引量:8
17
作者 向东 陈海清 +1 位作者 王青玲 陈家凤 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期849-853,共5页
提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19μm,有效反射面积可... 提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明,带透明电极的可变形反射镜驱动电压低,最大变形量可达19μm,有效反射面积可达200 mm2,能很好地改善整个自适应系统的性能。 展开更多
关键词 自适应光学 变形镜 静电驱动 微机械可变形反射镜(MMDM) 微电子机械系统(mems)
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MEMS自供能压电电磁集成发电研究现状 被引量:9
18
作者 杜小振 曾祥伟 +1 位作者 卞丰 赵继强 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第3期161-167,共7页
压电电磁集成发电是指利用功能材料的压电效应和法拉第电磁感应定律设计压电和电磁两种能量转换方式的集成结构,实现环境振动机械能向电能转换。描述了压电电磁集成微能源技术的原理和特点,介绍了压电电磁集成发电理论建模过程,分析了... 压电电磁集成发电是指利用功能材料的压电效应和法拉第电磁感应定律设计压电和电磁两种能量转换方式的集成结构,实现环境振动机械能向电能转换。描述了压电电磁集成微能源技术的原理和特点,介绍了压电电磁集成发电理论建模过程,分析了国内外关于集成微电源结构的设计及优化,概况了各种压电电磁集成发电结构的特点。介绍了各种集成结构的集成化加工技术,包括压电梁制作、感应线圈制作和压电电磁系统集成。最后对压电电磁集成发电存在的技术问题进行了分析,新型集成自供能微能源研究将提高能量收集效率并实现与无线传感节点集成供能。 展开更多
关键词 压电发电 电磁发电 微电源 微电子机械系统(mems) 微加工技术
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一种MEMS高温压力传感器 被引量:9
19
作者 王伟忠 何洪涛 +1 位作者 卞玉民 杨拥军 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第6期387-393,共7页
基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传... 基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标,传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工,并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时,对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行了设计,完成了芯片的加工。设计了传感器耐高温封装结构,完成了传感器的初级封装。最后,对常规MEMS压力传感器及研制的高温压力传感器的基本性能、电阻温度特性、漏电流温度特性进行了测试和对比,实验结果表明研制的高温压力传感器能够耐受350℃的高温。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 压阻效应 高温
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单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展 被引量:9
20
作者 唐彬 袁明权 +2 位作者 彭勃 佐藤一雄 陈颖慧 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第5期327-333,共7页
单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作硅基微电子机械系统(MEMS)器件的重要步骤之一,由于具有刻蚀均匀性好、批量大、成本低的优点而深受关注。首先回顾了单晶硅各向异性湿法刻蚀的刻蚀机理,比较了三种常用各向异性刻蚀液的刻蚀性质,讨论了刻... 单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作硅基微电子机械系统(MEMS)器件的重要步骤之一,由于具有刻蚀均匀性好、批量大、成本低的优点而深受关注。首先回顾了单晶硅各向异性湿法刻蚀的刻蚀机理,比较了三种常用各向异性刻蚀液的刻蚀性质,讨论了刻蚀形状的控制技术。然后着重介绍了表面活性剂修饰的单晶硅各向异性湿法刻蚀速率和刻蚀表面光滑度等特性,以及面向MEMS应用的基于该刻蚀技术的各种微纳新结构;分析了表面活性剂分子在刻蚀过程中的作用,强调了表面活性剂分子在单晶硅表面的吸附性对改变刻蚀表面的物理性质的重要性。最后在此基础上,归纳了单晶硅各向异性湿法刻蚀的发展情况,探讨了其未来的发展方向。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems) 单晶硅 湿法刻蚀 各向异性 表面活性剂
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