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题名传感器用薄膜循环吸脱氢性能设计
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作者
孙中华
邓南香
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机构
天津仁爱学院机械工程学院
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出处
《机械设计》
CSCD
北大核心
2024年第S02期128-131,共4页
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文摘
镁基薄膜在光纤氢气传感器中应用较为广泛,但氢化时镁基薄膜氢化Pd层容易破碎,以及Mg层内容易形成致密氢化层,使得镁基薄膜的使用寿命较短。Gd由于氢化时体积变化小,有望改善镁基薄膜的循环氢化性能。然而,不同Gd元素的添加对Pd/Mg-Gd薄膜吸脱氢循环性能影响的研究较为匮乏,使用磁控溅射制备Fluorocarbon(FC)/Pd/MgGd合金薄膜,并研究了其循环氢化性能。当Gd的原子数分数在0.27~0.8时,薄膜具有较好的循环氢化性能,在140次完全吸脱氢后吸脱氢速率和光学变化区间仍旧保持较好,这是由于此时Mg-Gd合金薄膜吸脱氢反应时体积变化与Pd层相近的缘故。此外,Mg-Gd合金随着添加的Gd量的增加,材料的晶格带隙变小,因而,介电函数的实部数值越小,反射率越小。
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关键词
循环吸脱氢
磁控溅射
mg-gd薄膜
氢气传感器
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Keywords
cyclic hydrogen loading/unloading process
magnetron sputtering
mg-gd film
hydrogen sensor
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
TQ116.2
[化学工程—无机化工]
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