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基于MEMS倾角传感器和薄膜压力传感器的人体步态监测装置 被引量：6
1
作者 崔建鹏 曹恒 +2 位作者 朱钧 江金林 张雨 《中国测试》 CAS 北大核心 2018年第8期70-75,共6页
为研究康复型下肢外骨骼的运动状态,基于微机电系统(microelectromechanical system,MEMS)倾角传感器和薄膜压力传感器建立人体运动状态监测装置。该装置按照功能划分为传感器模块、无线发送模块和数据处理模块,传感器模块利用倾角传感... 为研究康复型下肢外骨骼的运动状态,基于微机电系统(microelectromechanical system,MEMS)倾角传感器和薄膜压力传感器建立人体运动状态监测装置。该装置按照功能划分为传感器模块、无线发送模块和数据处理模块,传感器模块利用倾角传感器和薄膜压力传感器感知肢体运动倾角和脚底支反力,无线收发模块通过Zig Bee将数据发送至计算机,数据处理模块采用Labwindows/CVI软件实现步态周期归一化处理。通过该系统与某型步态图像识别系统同步进行多种步速的步态试验,得到不同步速下两装置膝关节运动倾角归一化数据对比曲线,其结果基本一致,试验表明本监测装置具有实用性。 展开更多
关键词 信息处理技术 步态监测装置 步态周期归一化 mems传感器
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基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
2
作者 张栋 李永红 《传感器世界》 2007年第4期30-32,共3页
介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。
关键词 mems 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散
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机载压阻式压力传感器设计与加工 被引量：3
3
作者 张栋 李永红 《仪表技术》 2007年第6期62-64,共3页
介绍一种压阻式压力传感器的设计原理和加工技术,设计出了敏感电路和硅膜结构,根据所设计压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法进行加工研究并给出了加工模型。
关键词 mems 压力传感器 加工工艺 光刻 腐蚀 扩散
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“田园一号”微推进系统设计与性能测试
4
作者 李经广 梁振华 +4 位作者 廖文和 张翔 翟豪 冯国津 徐根 《中国空间科学技术》 CSCD 北大核心 2023年第1期79-87,共9页
针对“田园一号”微纳星编队飞行任务的技术需求,开展了微推进系统的总体设计。常规冷气推进由于其比冲低、贮存压力高、结构复杂,难以满足微纳卫星需求。选择R134a作为推进工质,通过将推进剂液化,减小系统体积。基于3D打印技术,设计贮... 针对“田园一号”微纳星编队飞行任务的技术需求,开展了微推进系统的总体设计。常规冷气推进由于其比冲低、贮存压力高、结构复杂,难以满足微纳卫星需求。选择R134a作为推进工质,通过将推进剂液化,减小系统体积。基于3D打印技术,设计贮箱、稳压罐、管路一体的推进系统。采用MEMS加工工艺,设计并研制出电加热喷口,从而提高系统比冲。分析了不同喷口尺寸、供气压力以及温度下所产生的推力和比冲大小,确定出喷口设计。表征测试所研制的电加热喷口,结果表明喷口加工误差控制在2%以内。真空条件下,采用扭摆测量系统测试推力器推进性能,测试结果表明,当稳压罐内气体压力在0.1~0.2 MPa变化时,推力大小为5~10 mN。当喷气温度从25℃升至95℃时,推进系统比冲可提升10%以上。 展开更多
关键词 编队飞行 冷气微推进 mems加工工艺 提高比冲 推力测试 系统设计
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基于MEMS技术的介质隔离压力传感器工艺研究 被引量：2
5
作者 郭源生 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第11期18-19,31,共3页
运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺,研制出压力传感器。在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新,使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系数具有一定的提高。并就创新点对参数影响等特征进行相关论述。
关键词 mems工艺技术 敏感元件 介质隔离 生产工艺
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基于VG400CD-100的微惯性测量组合标定 被引量：1
6
作者 徐媛媛 马小勇 《机械研究与应用》 2014年第1期184-187,190,共5页
在对微惯性测量组合的发展和应用进行分析的基础上,从微惯性测量组合的结构及基本工作原理出发,针对微惯性测量组合系统进行了误差源分析和标定技术研究。以微惯性测量模块VG400CD-100为研究对象,分析了微惯性测量的组合技术,建立误差... 在对微惯性测量组合的发展和应用进行分析的基础上,从微惯性测量组合的结构及基本工作原理出发,针对微惯性测量组合系统进行了误差源分析和标定技术研究。以微惯性测量模块VG400CD-100为研究对象,分析了微惯性测量的组合技术,建立误差模型方程,研究了微惯性测量组合系统的标定,给出了三维陀螺仪标定的比例系数和交叉耦合误差系数以及三维加速度计标定的比例系数和交叉耦合误差系数。然后利用MATLAB数据分析工具,采用最小二乘法回归理论,对标定实验数据进行分析和处理,最终完成对微惯性测量器件,即微陀螺仪和微加速度计各误差系数的标定。 展开更多
关键词 微惯性测量组合 微机电系统 数据采集 误差分析 标定技术
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基于MEMS力传感器的智能绑带装置研制 被引量：1
7
作者 陈得民 张威 +1 位作者 周浩南 沈唯真 《自动化与仪表》 北大核心 2014年第2期12-15,共4页
该文研制了一种基于MEMS力传感器技术的智能货物绑带装置。攻克了多轴传感器的采集一致性及抗干扰等关键技术,提高了使用过程中传感器的测量信号稳定性及测量可靠性,研发了单片集成多轴MEMS力传感器,阐述了MEMS力传感器制作工艺;研究了... 该文研制了一种基于MEMS力传感器技术的智能货物绑带装置。攻克了多轴传感器的采集一致性及抗干扰等关键技术,提高了使用过程中传感器的测量信号稳定性及测量可靠性,研发了单片集成多轴MEMS力传感器,阐述了MEMS力传感器制作工艺;研究了小体积大电流控制技术,完成智能货物绑带装置的电动控制系统设计;解决了复杂电磁环境下的无线信号的可靠传输,实现稳定无线数据通信。本装置的研制,为物流行业提供了一种新的货物捆绑技术。 展开更多
关键词 微机电集成系统 物流捆绑技术 mems多轴力传感器 智能绑带装置 加工工艺
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微针加工技术的最新研究进展 被引量：1
8
作者 王洁 王欢 +1 位作者 吴文渊 李以贵 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第11期918-930,946,共14页
微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求。结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的3D打印技术、激光加工技术、拉延光刻技术和... 微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求。结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的3D打印技术、激光加工技术、拉延光刻技术和热压法等微针的特种加工技术,分析了国内外的微针制备的研究现状,简述了不同类型的微针在经皮给药应用中的优缺点,指出了微针在经皮给药中存在的技术瓶颈和解决方案,最后提出了微针在药物治疗系统、医学检测系统、智能药物的输送系统和传感器系统等方面的应用。 展开更多
关键词 微电子机械系统(mems)工艺 3D打印技术 激光加工技术 拉延光刻技术 经皮给药
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航空微机电系统非硅材料微纳加工技术 被引量：1
9
作者 王凌云 杜晓辉 +2 位作者 张方方 李岸林 孙道恒 《航空制造技术》 2016年第17期16-22,共7页
随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电... 随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围;而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述,有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺,进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律,为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴。 展开更多
关键词 微机电系统 航空恶劣环境 传感器和执行器 微纳加工技术 碳化硅 氮化铝 聚合物前驱体陶瓷
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BiFeO3纳米纤维压力传感器的研制
10
作者 刘扬 谭晓兰 +1 位作者 刘园园 冯春鹏 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第3期183-188,共6页
制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析。采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统（MEMS）加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底,用静电纺丝设备将BiFeO3纳米... 制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析。采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统（MEMS）加工工艺制备出带有叉指电极的硅基底,用静电纺丝设备将BiFeO3纳米纤维铺设到叉指电极上面,再将PDMS薄膜覆盖在纳米纤维上制成压力传感器。在磁感应强度0和80 mT下,用自制的测试装置分别采集25℃和80℃下0-20 kPa的输出电压。得知输入压力与输出电压基本呈线性关系,温度和磁场的变化对传感器的影响不大,BiFeO3纳米纤维压力传感器的最大输出电压达到了0.91 mV。 展开更多
关键词 BiFeO3纳米纤维 压力传感器 测试系统 敏感材料 微电子机械系统(mems)加工工艺
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