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X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型 被引量：1
1
作者 郑惟彬 黄庆安 +1 位作者 廖小平 李拂晓 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期2213-2215,共3页
射频微机械 (RFMEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景 .但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上 ,对开关的电磁特性的研究 ,尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证... 射频微机械 (RFMEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景 .但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上 ,对开关的电磁特性的研究 ,尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证比较少 .本文在高频传输线研究的基础上 ,推导出微机械开关的“开态”阻抗匹配模型 ,并利用HFSS软件对开关的高频特性进行模拟 . 展开更多
关键词 微机械膜开关 阻抗匹配 插入损耗 隔离度
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