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离子镀硬质膜技术的最新进展和展望 被引量:60
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作者 闻立时 黄荣芳 《真空》 CAS 北大核心 2000年第1期1-11,共11页
电弧离子镀至今仍是硬质膜的主流技术 ,但是 ,其内容与 80年代比已大为丰富。首先 ,镀层材料由单一氮化钛 ,发展到氮化钛与碳氮化钛、氮化钛铝、氮化铬等多种材料并用。然后 ,又进一步发展为多层复合镀层。远离平衡态过程的低温沉积技... 电弧离子镀至今仍是硬质膜的主流技术 ,但是 ,其内容与 80年代比已大为丰富。首先 ,镀层材料由单一氮化钛 ,发展到氮化钛与碳氮化钛、氮化钛铝、氮化铬等多种材料并用。然后 ,又进一步发展为多层复合镀层。远离平衡态过程的低温沉积技术日趋成熟 ,使各种机械零件的需磨损耐腐蚀镀层逐步走向实用化 ,促进了机械工业水平全面提高。低温沉积技术大幅度降低镀层内应力 ,使镀层的厚度能够达到数十 ,甚至上百微米 ,满足了发展高性能特种镀层的需要 ,如 Ti B2 抗空蚀镀层、Ti(C,N)抗冲蚀镀层 ,电弧离子镀制备 MCr Al Y镀层 ,现已进入产业化。与此同时 ,Ti N复合膜作为耐磨耐蚀镀层也取得了成功。展望 2 1世纪 ,复合多层膜将得到更加广泛的应用 ,并向纳米复合膜发展。镀膜机内渗氮镀膜连续二重工艺可望成功 ,并在提高耐磨耐蚀性上取得显著效果。远离平衡态镀膜技术水平将进一步提高 ,成本大幅度降低 ,并在合成新型镀层材料、制备厚镀层。 展开更多
关键词 硬质新材料 低温沉积 硬质膜技术 离子镀
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脉冲偏压电弧离子低温沉积TiN硬质薄膜的力学性能 被引量:35
2
作者 黄美东 孙超 +2 位作者 林国强 董闯 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期516-520,共5页
利用直流和脉冲偏压电弧离子镀技术沉积TiN硬质薄膜,研究了不同偏压下基体的沉积温度、薄膜的表面形貌及力学性能。结果表明,与直流偏压相比,脉冲偏压可以明显降低基体的沉积温度,大大减少薄膜表面的大颗粒污染,改善表面形貌,而薄膜的... 利用直流和脉冲偏压电弧离子镀技术沉积TiN硬质薄膜,研究了不同偏压下基体的沉积温度、薄膜的表面形貌及力学性能。结果表明,与直流偏压相比,脉冲偏压可以明显降低基体的沉积温度,大大减少薄膜表面的大颗粒污染,改善表面形貌,而薄膜的综合力学性能仍保持良好,说明利用脉冲偏压技术是实现电弧离子镀低温沉积的有效途径。 展开更多
关键词 电弧离子镀 低温沉积 脉冲偏压 TIN薄膜
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锂离子电池的低温性能研究 被引量:36
3
作者 王洪伟 杜春雨 王常波 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期208-210,共3页
向电解液中添加碳酸亚乙烯酯(VC),可提高负极界面的导电性与稳定性。在-20℃下放电,电解液中加VC的电池的放电电压平台比不加VC的电池提高约25%。三电极实验结果表明:在低温下由于电池阻抗增大,极化增强,充电过程在负极出现金属锂沉积;... 向电解液中添加碳酸亚乙烯酯(VC),可提高负极界面的导电性与稳定性。在-20℃下放电,电解液中加VC的电池的放电电压平台比不加VC的电池提高约25%。三电极实验结果表明:在低温下由于电池阻抗增大,极化增强,充电过程在负极出现金属锂沉积;金属锂与电解液发生还原反应形成SEI膜,SEI膜的状态与充电电流有关。 展开更多
关键词 锂离子电池 低温 电解液 锂沉积 SEI膜 碳酸亚乙烯酯(VC)
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低温省煤器及MGGH运行中存在典型问题分析及对策 被引量:24
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作者 刘宇钢 罗志忠 +2 位作者 陈刚 杨志忠 易广宙 《东方电气评论》 2016年第2期31-35,共5页
随着国家对火力发电企业的节能、环保要求日趋严格,超低排放技术的研究和推广得到了迅速发展,超低排放技术领域的低温省煤器及热媒水管式气-气换热器(MGGH)的应用前景广阔。然而在其运行的过程中也出现了一些问题,诸如换热设备低温腐蚀... 随着国家对火力发电企业的节能、环保要求日趋严格,超低排放技术的研究和推广得到了迅速发展,超低排放技术领域的低温省煤器及热媒水管式气-气换热器(MGGH)的应用前景广阔。然而在其运行的过程中也出现了一些问题,诸如换热设备低温腐蚀、积灰、堵塞以及磨损等尤为突出,本文针对这些典型问题进行了分析并提出应对措施。 展开更多
关键词 低温省煤器 MGGH 低温腐蚀 积灰 堵塞 磨损 措施
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低温化学镀镍工艺的研究 被引量:16
5
作者 黄岳山 蒙继龙 李异 《电镀与环保》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期18-20,共3页
在酸性化学镀镍电解液中,改变络合剂的种类和浓度,降低了化学镀镍沉积温度,使该镇液在pH4.6、温度为70℃条件下,沉积速度可维持15μm/h。用XRD分析了镀层微现结构,SEM观察了镀层形貌,并对镀层进行了耐蚀性试验。
关键词 化学镀镍 沉积速度 非晶态 镀镍 电镀
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应用支持向量机监测电站锅炉受热面积灰研究 被引量:18
6
作者 信晶 孙保民 +4 位作者 肖海平 张振星 祝欣慰 段二朋 曾菊瑛 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期21-27,5,共7页
以某300MW机组为例,使用支持向量机理论和遗传算法,利用电站分散控制系统(DCS)获取的热工数据,建立预测锅炉低温过热器受热面清洁状态下的吸热量(清洁吸热量)模型,进而推算出表征积灰污染程度的清洁系数,得到时序变化的积灰曲线,从而对... 以某300MW机组为例,使用支持向量机理论和遗传算法,利用电站分散控制系统(DCS)获取的热工数据,建立预测锅炉低温过热器受热面清洁状态下的吸热量(清洁吸热量)模型,进而推算出表征积灰污染程度的清洁系数,得到时序变化的积灰曲线,从而对吹灰状况进行监测。其结果表明,以清洁系数表征锅炉低温过热器受热面积灰情况具有可操作性;所建立模型的测试集决定系数、均方根误差和平均绝对误差分别为0.920、36.381和25.457,表明该模型具有良好的预测性能,可以在一定范围内对吹灰信号产生响应;锅炉实际运行工况下应用所建模型表明,给煤量大幅度变化会对受热面的积灰曲线造成一定程度的干扰。该研究为开发大型电站锅炉积灰结渣在线监测系统提供参考和依据。 展开更多
关键词 电站锅炉 低温过热器 受热面 积灰 支持向量机
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基于活塞挤出的组织工程支架低温沉积制造工艺 被引量:10
7
作者 金乐 熊卓 +2 位作者 刘利 颜永年 张人佶 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期652-655,659,共5页
快速成形(RP)工艺可实现个性化制造和可控的材料、结构组成,因此在组织工程中得到广泛应用。该文设计开发基于活塞挤出的材料喷头,对挤出工艺进行探讨与研究,提出采用压力自释放方案解决其流涎问题,并将其应用于低温沉积制造(LDM)工艺... 快速成形(RP)工艺可实现个性化制造和可控的材料、结构组成,因此在组织工程中得到广泛应用。该文设计开发基于活塞挤出的材料喷头,对挤出工艺进行探讨与研究,提出采用压力自释放方案解决其流涎问题,并将其应用于低温沉积制造(LDM)工艺。实验表明,基于活塞挤出的LDM工艺可以成形组织工程支架,并且具有广泛的材料适应性,可成形多种生物材料,尤其可成形其他RP工艺难于成形的胶原材料。 展开更多
关键词 组织工程支架 低温沉积 活塞挤出喷头 胶原
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超低排放改造后烟气余热利用设备存在问题及防治措施 被引量:11
8
作者 牟春华 王一坤 +2 位作者 白文刚 郭明 张华东 《热力发电》 CAS 北大核心 2020年第4期46-50,共5页
随着火电厂超低排放改造的普遍应用,低温省煤器等烟气余热利用设备获得了广泛应用。本文针对烟气余热利用设备在实际工程应用中所存在的低温腐蚀、磨损、积灰堵塞以及振动等问题,分析了形成原因及主要影响因素,提出了选用耐低温腐蚀性... 随着火电厂超低排放改造的普遍应用,低温省煤器等烟气余热利用设备获得了广泛应用。本文针对烟气余热利用设备在实际工程应用中所存在的低温腐蚀、磨损、积灰堵塞以及振动等问题,分析了形成原因及主要影响因素,提出了选用耐低温腐蚀性能优异的材料制造换热器,合理设计受热面结构型式,控制烟气流速和受热面金属壁温,加装吹灰设备以及导流板和防振隔板等防治对策,有效地解决了烟气余热利用设备所存在的低温腐蚀、磨损、积灰堵塞以及振动等问题。 展开更多
关键词 低温省煤器 低温腐蚀 磨损 积灰 堵塞 振动 超低排放 烟气余热
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某1000 MW超超临界燃煤机组尾部烟道硫酸铵盐沉积分析 被引量:10
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作者 萧嘉繁 谭厚章 +2 位作者 刘鹤欣 王毅斌 董琨 《中国电力》 CSCD 北大核心 2018年第4期67-74,共8页
超低排放技术可有效降低燃煤机组污染物排放,改善空气质量。为探究超低排放机组尾部烟道积灰、结垢问题的产生机理,以某1 000 MW超低排放机组引风机与二级低温省煤器的结垢灰样为研究对象,采用元素分析仪、X射线荧光光谱仪、X射线衍射... 超低排放技术可有效降低燃煤机组污染物排放,改善空气质量。为探究超低排放机组尾部烟道积灰、结垢问题的产生机理,以某1 000 MW超低排放机组引风机与二级低温省煤器的结垢灰样为研究对象,采用元素分析仪、X射线荧光光谱仪、X射线衍射仪和扫描电镜对灰样进行检测,详细分析并讨论了积灰样品中结晶矿物相的形成以及不同位置发生积灰的主要原因。结果表明:引风机与二级低温省煤器颗粒沉积位置的灰样主要由(NH_4)Al(SO_4)_2·12H_2O、(NH_4)_3H(SO_4)_2、CaSO_4、SiO_2等结晶矿物质构成;其中,(NH_4)Al(SO_4)_2覆盖于灰颗粒表面是造成引风机及二级低温省煤器严重结垢积灰的直接原因,而SCR脱硝系统较高浓度氨持续逃逸则是其根本原因。建议应根据煤种硫分、氨逃逸量、灰浓度等合理分配一、二级低温省煤器处的烟气温降,避免静电除尘器脱离低低温状态运行,防止二级低温省煤器处烟温降低幅度过大导致硫酸酸雾快速冷凝。 展开更多
关键词 超超临界机组 超低排放 引风机 低温省煤器 积灰 硫酸铵盐
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PET塑料衬底非晶/微晶硅叠层太阳电池研究 被引量:10
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作者 倪牮 薛俊明 +7 位作者 曹丽冉 赵鹏 张建军 袁育杰 孙建 侯国付 赵颖 耿新华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期738-741,共4页
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在125℃的低温条件下,沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅(μc-Si)薄膜。对材料的光电特性和结构特性的测试结果表明,低温条件下制备的μc-Si薄膜具有较厚的非晶孵化层,并且纵向结构演... 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在125℃的低温条件下,沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅(μc-Si)薄膜。对材料的光电特性和结构特性的测试结果表明,低温条件下制备的μc-Si薄膜具有较厚的非晶孵化层,并且纵向结构演变较为明显。采用梯度H稀释技术,在沉积过程中不断降低H稀释度,改善了μc-Si薄膜的纵向均匀性。将此技术应用于非晶硅(a-Si)/μc-Si叠层电池的μc-Si底电池,在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备出初始效率达到6.0%的a-Si/μc-Si叠层电池。 展开更多
关键词 微晶硅(μc-Si)薄膜 低温沉积 孵化层 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)
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催化裂化装置余热锅炉低温段腐蚀及积灰问题的对策 被引量:9
11
作者 苏殿 《炼油技术与工程》 CAS 北大核心 2003年第8期44-46,共3页
介绍了中国石化股份有限公司济南分公司1.40Mt/a重油催化裂化装置焚烧式CO余热锅炉低温省煤段存在的腐蚀及积灰问题,通过改变省煤器结构,采用水热媒预热、锅炉尾部热量三级自控再分配、新型吹灰器等技术进行改造,改造后余热锅炉排烟温... 介绍了中国石化股份有限公司济南分公司1.40Mt/a重油催化裂化装置焚烧式CO余热锅炉低温省煤段存在的腐蚀及积灰问题,通过改变省煤器结构,采用水热媒预热、锅炉尾部热量三级自控再分配、新型吹灰器等技术进行改造,改造后余热锅炉排烟温度降低了近100℃,热效率提高10个百分点以上,从根本上解决了省煤段低温酸腐蚀及积灰问题,经济和环保效益显著。 展开更多
关键词 重油 催化裂化装置 余热锅炉 低温腐蚀 积灰 省煤器
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低温镀铁时电流密度对镀层性能的影响 被引量:8
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作者 刘忆 杨森 +1 位作者 殷锦捷 韩辉 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 2008年第2期15-16,共2页
研究了不同电流密度下所得低温镀铁层的沉积速率、显微硬度和腐蚀速率。结果表明,当电流密度为14A/dm2时镀层可获得最佳的综合性能。电流密度过低时,镀层沉积速率慢,硬度低;电流密度过高时,镀层表面出现针孔,厚度不均。
关键词 镀铁工艺 低温 电流密度 沉积速率 显微硬度 耐蚀性
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烷/炔气低温沉积TiC黑膜的研究 被引量:5
13
作者 张海军 《真空》 CAS 北大核心 2001年第6期17-19,共3页
研究输入 C2 H2 +C3H8+Ar+N2 混合气的低温沉积 Ti C涂层真空阴极电弧离子镀技术 ,研究结果表明 :Ti C涂层层深 0 .0 0 5~ 0 .0 0 2 5 m m,涂层硬度 2 80 0~ 35 0 0 Hv0 .0 2 ,主要用于材料表面工程中耐磨。
关键词 真空阴极电弧离子镀 低温沉积 TiC黑膜 金属材料 表面处理 碳化钛涂层 丙烷气 乙炔气
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低温化学镀镍工艺及镀层性能的研究 被引量:6
14
作者 李建三 李异 廖景娱 《新技术新工艺》 北大核心 2002年第3期37-40,共4页
讨论了镀液主要组分及工艺条件对低温化学镀镍沉积速度的影响 ,对低温化学镀镍镀层的硬度、结合力、孔隙率及耐蚀性能进行试验 ,并利用电子显微分析方法 ,研究了镀层的微观形貌。研究结果显示 ,不同的工艺条件对镀层的各项性能均有影响 ... 讨论了镀液主要组分及工艺条件对低温化学镀镍沉积速度的影响 ,对低温化学镀镍镀层的硬度、结合力、孔隙率及耐蚀性能进行试验 ,并利用电子显微分析方法 ,研究了镀层的微观形貌。研究结果显示 ,不同的工艺条件对镀层的各项性能均有影响 ,因此 ,在实际生产中 ,必须严格控制施镀的工艺条件 。 展开更多
关键词 低温 化学镀镍 工艺 镀层 沉积速度 耐蚀性
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热释电薄膜在红外探测器中的应用 被引量:5
15
作者 吴传贵 刘兴钊 +1 位作者 张万里 李言荣 《红外》 CAS 2004年第3期5-9,共5页
介绍了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求。为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对读出集成电路(ROIC)的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温... 介绍了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求。为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对读出集成电路(ROIC)的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术,另一方面发展了复合探测器结构设计。已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其噪声等效温差(NEDT)可达20mK。 展开更多
关键词 铁电薄膜 热释电效应 非制冷红外焦平面阵列 低温生长 红外探测器 离子束辅助沉积 外延缓冲层
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俄供机组低温再热器管停用腐蚀及保养 被引量:6
16
作者 张广文 刘锋 +2 位作者 李佳 王德军 张翠伶 《热力发电》 CAS 北大核心 2017年第11期85-90,共6页
俄供机组低温再热器管内壁腐蚀与停机保养阶段环境因素的控制密切相关。通过模拟实验,研究相对湿度、温度等环境因素以及停机加药措施对存在积盐的低温再热器(12Cr Mo V材质)腐蚀的影响。结果表明:湿度对低温再热器腐蚀的影响最大,控制... 俄供机组低温再热器管内壁腐蚀与停机保养阶段环境因素的控制密切相关。通过模拟实验,研究相对湿度、温度等环境因素以及停机加药措施对存在积盐的低温再热器(12Cr Mo V材质)腐蚀的影响。结果表明:湿度对低温再热器腐蚀的影响最大,控制相对湿度低于40%,可使存在积盐的低温再热器达到免蚀。建议使用活性胺对存在积盐的低温再热器进行保护。针对俄供机组不同的停备用时间,提出了以降低系统湿度为主的停炉保养措施。 展开更多
关键词 低温再热器 停用腐蚀 相对湿度 保养措施 积盐 活性胺 俄供机组
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低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究 被引量:5
17
作者 高晓明 孙嘉奕 +2 位作者 胡明 翁立军 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期308-312,共5页
采用离子镀技术于45#钢基体表面在低温(164~115 K)和常温(291 K)条件下沉积Cu膜,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜研究Cu膜的晶体结构及其表面形貌,采用划痕试验法测量Cu膜的临界载荷(Lc),在真空球-盘摩擦磨损试验机上考察其摩... 采用离子镀技术于45#钢基体表面在低温(164~115 K)和常温(291 K)条件下沉积Cu膜,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜研究Cu膜的晶体结构及其表面形貌,采用划痕试验法测量Cu膜的临界载荷(Lc),在真空球-盘摩擦磨损试验机上考察其摩擦磨损性能并探讨其磨损机理.结果表明:基体温度对Cu膜的择优取向影响明显,在常温(291 K)下沉积的Cu膜为(200)择优取向,基体温度降至164 K以下所沉积的Cu膜呈现出明显的(111)择优取向;低温沉积Cu膜的表面较为光滑,其Lc值明显高于常温沉积的Cu膜;低温沉积Cu膜的磨损率明显低于常温沉积Cu膜,表现出良好的耐磨性,这主要是由于低温沉积Cu膜具有(111)择优取向和良好的膜-基结合力的缘故. 展开更多
关键词 CU膜 低温沉积 择优取向 摩擦磨损性能
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在有机玻璃基底上制备ITO透明导电膜 被引量:3
18
作者 程珊华 李育峰 宁兆元 《微细加工技术》 EI 1996年第2期54-57,共4页
使用直流辉光和微波电子回旋共振两种等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备了透明导电ITO膜。在实验中详细地研究了氧分压对膜的透光率和方阻的影响。由于等离子体对膜料的活化和对基片表面的轰击效应.降低了沉积温度。
关键词 氧化铟锡导电膜 有机玻璃基底 低温淀积
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嗜冷型产碳酸酐酶菌对碳酸钙沉积的影响 被引量:5
19
作者 张文静 李琼芳 +2 位作者 张存凯 张伟 杨丽君 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期1-5,11,共6页
为探究四川黄龙钙华地貌高寒水体中低温微生物对碳酸钙沉积的影响,该试验自黄龙钙华水体中分离到2株具有高产碳酸酐酶(CA)活力的嗜冷型菌株,在不同的初始p H值和不同的低温沉积温度下,通过测定沉积体系pH值和电导率的变化来研究菌株对... 为探究四川黄龙钙华地貌高寒水体中低温微生物对碳酸钙沉积的影响,该试验自黄龙钙华水体中分离到2株具有高产碳酸酐酶(CA)活力的嗜冷型菌株,在不同的初始p H值和不同的低温沉积温度下,通过测定沉积体系pH值和电导率的变化来研究菌株对碳酸钙沉积过程的影响,并用X射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪(FT-IR)和扫描电子显微镜(SEM)对生成的碳酸钙晶体进行晶型晶貌分析。结果表明:供试菌株在不同条件下都能促进碳酸钙沉积,形成的晶体均为方解石型,但其形貌却不尽相同。尤其在初始p H值8.0,10℃低温下对碳酸钙沉积的影响最为显著。研究结果表明供试嗜冷型碳酸酐酶产生菌株能在一定程度上调控碳酸钙的沉积速率与晶体形貌结构,其结果可为探究低温下黄龙钙华的生物沉积机制提供一定的理论基础。 展开更多
关键词 嗜冷型碳酸酐酶产生菌 低温 碳酸钙沉积 晶型晶貌
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MPCVD低温沉积金刚石薄膜及其特征 被引量:5
20
作者 吕反修 杨保雄 蒋高松 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期168-175,共8页
应用微波等离子体辅助的化学气相沉积(MPCVD)工艺成功地实现了金刚石薄膜在700-790℃范围内的低温沉积.发现氧在CH_4-H_2系统中的引入不仅可以减小或消除Raman谱上位于1550cm^(-1)的非金刚石特征峰,而且还使位于1332cm^(-1)的金刚石特... 应用微波等离子体辅助的化学气相沉积(MPCVD)工艺成功地实现了金刚石薄膜在700-790℃范围内的低温沉积.发现氧在CH_4-H_2系统中的引入不仅可以减小或消除Raman谱上位于1550cm^(-1)的非金刚石特征峰,而且还使位于1332cm^(-1)的金刚石特征峰半高宽显著减小。正是由于原子态氧在较低温度下具有远比原子态氢强烈得多的对石墨和类金刚石碳的刻蚀作用,才用金刚石的低温生长得以顺利进行。本文详细报导了金刚石薄膜低温沉积工艺及其所得薄膜的表征结果,并就Bachmann等最近提出C-H-O金刚石相图针对低温沉积数据进行了讨论。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 低温沉积 微波等离子体
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