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Integrated lithium niobate single-mode lasers by the Vernier effect 被引量:12
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作者 Ru Zhang Chen Yang +10 位作者 ZhenZhong Hao Di Jia Qiang Luo DaHuai Zheng HongDe Liu XuanYi Yu Feng Gao Fang Bo YongFa Kong GuoQuan Zhang JingJun Xu 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第9期82-86,共5页
Microcavity lasers based on erbium-doped lithium niobate on insulator(LNOI),which are key devices for LNOI integrated photonics,have attracted significant attention recently.In this study,we report the realization of ... Microcavity lasers based on erbium-doped lithium niobate on insulator(LNOI),which are key devices for LNOI integrated photonics,have attracted significant attention recently.In this study,we report the realization of a C-band single-mode laser using the Vernier effect in two coupled erbium-doped LNOI microrings with different radii under the pump of a 980-nm continuous laser.The laser,operating stably over a large range of pumping power,has a pump threshold of about 200μW and a side-mode suppression ratio exceeding 26 dB.The high-performance LNOI single-mode laser will promote the development of lithium niobate integrated photonics. 展开更多
关键词 lithium niobate lnoi MICROCAVITIES single-mode laser
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Microdisk lasers on an erbium-doped lithium-niobite chip 被引量:11
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作者 Qiang Luo ZhenZhong Hao +8 位作者 Chen Yang Ru Zhang DaHuai Zheng ShiGuo Liu HongDe Liu Fang Bo YongFa Kong GuoQuan Zhang JingJun Xu 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第3期7-11,共5页
Lithium niobate on insulator(LNOI) provides a platform for the fundamental physics investigations and practical applications of integrated photonics. However, as an indispensable building block of integrated photonics... Lithium niobate on insulator(LNOI) provides a platform for the fundamental physics investigations and practical applications of integrated photonics. However, as an indispensable building block of integrated photonics, lasers are in short supply. In this paper, erbium-doped LNOI laser in the 1550-nm band was demonstrated in microdisk cavities with high quality factors fabricated in batches by UV exposure, inductively coupled plasma reactive ion etching, and chemomechanical polishing. The threshold and conversion efficiency of the erbium-doped LNOI microdisk laser were measured to be lower than 1 m W and 6.5×10^(-5)%, respectively. This work will benefit the development of integrated photonics based on LNOI. 展开更多
关键词 lithium niobite lnoi MICROCAVITIES LASER
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铌酸锂薄膜调制器的研究进展 被引量:7
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作者 刘海锋 郭宏杰 +1 位作者 谭满清 李智勇 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期1-13,共13页
铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分... 铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分析了不同结构调制器的性能。基于SOI和LNOI结构,薄膜调制器实现了V_(π)L<2 V∙cm,双锥形耦合方案实现了耦合损耗<0.5 dB/facet,行波电极结构实现了调制带宽>100 GHz。铌酸锂薄膜调制器的性能在大多数方面优于目前商用铌酸锂调制器,随着波导工艺进一步提升,将成为铌酸锂调制器的热门方案。最后对铌酸锂薄膜调制器的发展趋势和应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 lnoi 电光调制器
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薄膜铌酸锂切趾啁啾光栅研究
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作者 隆嘉轩 吴侃 +2 位作者 蔡明璐 张栩嘉 陈建平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期80-90,共11页
本文研究了基于薄膜铌酸锂的啁啾光栅性能,采用仿真分析的方法,研究了不同设计参数下,三种光栅切趾方式对称线性切趾、非对称线性切趾和高斯切趾在反射带宽和群延迟色散上的差异。通过最优化设计,在高斯切趾的啁啾光栅下,实现了3 dB带宽... 本文研究了基于薄膜铌酸锂的啁啾光栅性能,采用仿真分析的方法,研究了不同设计参数下,三种光栅切趾方式对称线性切趾、非对称线性切趾和高斯切趾在反射带宽和群延迟色散上的差异。通过最优化设计,在高斯切趾的啁啾光栅下,实现了3 dB带宽21.2 nm、群延迟色散值0.1385 ps/nm的啁啾光栅。本工作将为实现薄膜铌酸锂片上色散补偿和光信号处理奠定基础。 展开更多
关键词 啁啾光栅 切趾 绝缘体上铌酸锂 色散补偿 群延迟
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高速薄膜铌酸锂相位调制器设计及制备
5
作者 胡文良 尚成林 +2 位作者 潘安 齐志强 王晨晟 《光学与光电技术》 2024年第3期97-102,共6页
针对微波光子系统对片上高速调制器件的使用需求,基于铌酸锂材料的线性电光效应,研究通过开展片上器件的光电联合仿真设计,利用与CMOS工艺相兼容的半导体器件制备方法,将低损耗铌酸锂波导、高效耦合模斑转换器、高频微波信号传输线等片... 针对微波光子系统对片上高速调制器件的使用需求,基于铌酸锂材料的线性电光效应,研究通过开展片上器件的光电联合仿真设计,利用与CMOS工艺相兼容的半导体器件制备方法,将低损耗铌酸锂波导、高效耦合模斑转换器、高频微波信号传输线等片上光电器件集成在绝缘体上的铌酸锂(LNOI)晶圆上,实现调制器芯片的片上集成化;采用微光学耦合工艺实现芯片实现光纤阵列的光信号输入输出;采用引线键合方式实现芯片-薄膜电阻-射频接头的阻抗匹配和电信号低损传输;最后采用平行封焊完成芯片-光纤-管壳的气密性封装,以提高调制器的可靠性和环境适应性。测试得到器件光功率插损<6.5 dB,调制带宽>15 G(@3 dB),动态半波电压<6 V(@10 GHz),满足光电振荡器等相关微波光子器件的应用需求。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 相位调制器 微波光子 片上集成 光电振荡器
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基于LNOI的集成化光纤陀螺用功率分束器研究
6
作者 李豪伟 雷明 +3 位作者 张天其 于晓之 张丽哲 冯喆 《导航定位与授时》 CSCD 2022年第6期8-12,共5页
设计了一种基于绝缘体上铌酸锂(LNOI)的片上多模干涉(MMI)波导功率分束器,在5μm×45μm的小尺上实现了1×2的片上分束功能,且满足集成化光纤陀螺的光路应用要求。通过理论公式和有限时域差分法对器件进行了关键参数计算和光场... 设计了一种基于绝缘体上铌酸锂(LNOI)的片上多模干涉(MMI)波导功率分束器,在5μm×45μm的小尺上实现了1×2的片上分束功能,且满足集成化光纤陀螺的光路应用要求。通过理论公式和有限时域差分法对器件进行了关键参数计算和光场仿真,MMI干涉区长度为20μm,优化输出分支间距并增加宽度为1.7μm的锥型波导后,在100nm的光谱宽度中,功率分束器的归一化输出光强较为平坦,最低规一化输出光强为0.965,两输出分支的光功率不均匀度仅为10量级。 展开更多
关键词 集成化光纤陀螺 功率分束器 lnoi MMI 有限时域差分
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铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备
7
作者 唐杰 王子彦 +7 位作者 钱坤 何晓舟 潘时龙 王琛全 顾晓文 钱广 孔月婵 陈堂胜 《光电子技术》 CAS 2023年第1期7-10,16,共5页
基于硅基铌酸锂薄膜(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了高速电光开关芯片,并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试。测试结果表明,该高速电光开关器件的开关速度达到13.4 ns,消光比达到31.8 dB。研究工作... 基于硅基铌酸锂薄膜(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了高速电光开关芯片,并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试。测试结果表明,该高速电光开关器件的开关速度达到13.4 ns,消光比达到31.8 dB。研究工作对未来研制光学延时芯片和波束形成网络芯片具有重要的支撑意义。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 电光开关 光学波束形成
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多通道薄膜铌酸锂阵列波导光栅研制
8
作者 王琛全 何晓舟 +4 位作者 王子彦 钱坤 顾晓文 唐杰 钱广 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第2期187-190,共4页
基于薄膜铌酸锂材料平台,通过开发金属掩膜与ICP刻蚀相结合的波导制备工艺,研制出了8通道且通道间隔400 GHz的阵列波导光栅,器件整体尺寸为1.28 mm×1.38 mm。测试结果表明,该阵列波导光栅的串扰小于-15 dB,通道非均匀性小于0.5 dB... 基于薄膜铌酸锂材料平台,通过开发金属掩膜与ICP刻蚀相结合的波导制备工艺,研制出了8通道且通道间隔400 GHz的阵列波导光栅,器件整体尺寸为1.28 mm×1.38 mm。测试结果表明,该阵列波导光栅的串扰小于-15 dB,通道非均匀性小于0.5 dB。该器件为薄膜铌酸锂基波分复用技术积累了研制经验,并有望推进多通道微波光子模块的小型化应用。 展开更多
关键词 阵列波导光栅 薄膜铌酸锂 波分复用
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LNOI阵列波导光栅的设计与制备 被引量:2
9
作者 王琛全 周奉杰 +2 位作者 顾晓文 唐杰 钱广 《光电子技术》 CAS 2021年第4期258-261,共4页
基于薄膜铌酸锂(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了中心波长1550 nm、4通道且通道间隔为400 GHz的阵列波导光栅,并完成了LNOI波导端面抛光。测试结果表明,该阵列波导光栅相邻通道间串扰约-7.5 dB,通道非均匀性小... 基于薄膜铌酸锂(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了中心波长1550 nm、4通道且通道间隔为400 GHz的阵列波导光栅,并完成了LNOI波导端面抛光。测试结果表明,该阵列波导光栅相邻通道间串扰约-7.5 dB,通道非均匀性小于0.5 dB,中心波长1551.3 nm,但存在较大插入损耗,约27.2 dB。该研究工作对研制高性能LNOI阵列波导光栅具有重要推动作用。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 阵列波导光栅 波分复用
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薄膜铌酸锂光波导ICP刻蚀工艺研究
10
作者 杨千泽 张鸿举 《电子技术与软件工程》 2022年第5期109-112,共4页
本文对刻蚀用掩膜、气体,以及气体总流量、ICP/RIE功率、反应室压力等工艺参数对刻蚀速率、刻蚀面粗糙度、脊波导侧壁角度的影响进行了研究,制备出粗糙度RMS值为1.90nm,深度为349nm,侧壁角度为75°的LNOI脊型波导。
关键词 薄膜铌酸锂 lnoi 光波导 ICP
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LNOI光电子集成芯片技术
11
作者 韩春林 钱广 胡国华 《光电子技术》 CAS 北大核心 2019年第3期168-177,共10页
介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。
关键词 薄膜铌酸锂 绝缘层上铌酸锂 集成微波光子 光电集成
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集成铌酸锂光子器件技术的研究进展 被引量:4
12
作者 张涛 何杰 +2 位作者 胡少勤 许昕 张玉蕾 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期837-842,共6页
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光... 铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。 展开更多
关键词 绝缘体上铌酸锂 集成光子器件 铌酸锂单晶薄膜(lnoi)电光调制器 铌酸锂单晶薄膜(lnoi)声光调制器 铌酸锂单晶薄膜(lnoi)光学频率梳
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基于电感耦合等离子体刻蚀的LNOI脊形微结构制备
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作者 吴玉航 杨忠华 +4 位作者 孟雪飞 宋泽乾 刘文 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期239-242,共4页
铌酸锂(LiNbO 3,LN)是一种广泛使用的介电材料,由于其电光系数大,透明范围大,本征带宽宽,因而在集成和非线性光学器件中极为重要。但绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)的化学稳定性好,刻蚀速率慢,其微结构参数难以控制。针对以上问题,该文开展... 铌酸锂(LiNbO 3,LN)是一种广泛使用的介电材料,由于其电光系数大,透明范围大,本征带宽宽,因而在集成和非线性光学器件中极为重要。但绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI)的化学稳定性好,刻蚀速率慢,其微结构参数难以控制。针对以上问题,该文开展了基于电感耦合等离子体刻蚀(ICP-RIE)的LNOI脊形微结构的制备工艺研究,分析了腔室压强、气体总流量及刻蚀功率等参数对刻蚀速率、刻蚀倾角和表面粗糙度(RMS)的影响。研究表明,在优化的工艺条件下,LNOI薄膜的刻蚀速率达到24.9 nm/min,制备出刻蚀深度249 nm、刻蚀倾角76°、表面粗糙度(RMS)0.716 nm的LNOI脊形微结构。该文通过对刻蚀工艺与微观结构参数的研究,建立了基于ICP的LNOI微结构刻蚀方法,为控制LNOI脊形光波导和提升性能提供了工艺支撑。 展开更多
关键词 绝缘体上铌酸锂薄膜(lnoi) 集成光子学 脊形结构 电感耦合等离子体刻蚀 微结构参数
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薄膜铌酸锂反向锥形端面耦合器 被引量:1
14
作者 向美华 于硕 +1 位作者 李德阳 杨登才 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期737-745,共9页
薄膜铌酸锂波导与单模光纤在模场尺寸上存在很大差异,模场失配严重,导致两者直接耦合的效率低下。针对薄膜铌酸锂波导与超高数值孔径(ultra-high numerical aperture, UHNA)光纤的端面耦合问题,基于时域有限差分(finite difference time... 薄膜铌酸锂波导与单模光纤在模场尺寸上存在很大差异,模场失配严重,导致两者直接耦合的效率低下。针对薄膜铌酸锂波导与超高数值孔径(ultra-high numerical aperture, UHNA)光纤的端面耦合问题,基于时域有限差分(finite difference time domain, FDTD)法优化设计了反向锥形端面耦合器的结构参数,仿真实现了薄膜铌酸锂矩形波导与UHNA光纤的高效耦合。利用电子束曝光、电感耦合等离子体刻蚀等工艺,制备了反向锥形耦合器,设计并建立了端面耦合测试平台,完成了反向锥形耦合器的性能测试。实验结果表明,反向锥形耦合器近场输出光斑在水平和垂直方向的模场直径分别为3.3和3.6μm,水平和垂直方向的3 dB对准容差分别为3.0和3.2μm,单端插入损耗为6.24 dB/面,表明设计制作的反向锥形耦合器具有较好的耦合性能。该研究为大容量、高速率的集成光子器件与光纤之间的耦合提供了高耦合效率的光接口方案。 展开更多
关键词 光波导 超高数值孔径光纤 薄膜铌酸锂 时域有限差分法(FDTD) 端面耦合 反向锥形耦合器
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铌酸锂集成光路:孕育自主产业链的前沿基础研究 被引量:4
15
作者 程亚 《物理》 CAS 北大核心 2020年第5期277-284,共8页
大数据、人工智能、光量子信息等变革性领域对信息处理能力提出了前所未有的要求,而集成光路技术有望实现更快速、更有效、成本更低廉的信息处理器件,由此带来新的自主产业机会。铌酸锂集成光路技术在近年获得迅猛发展,展示了优越的器... 大数据、人工智能、光量子信息等变革性领域对信息处理能力提出了前所未有的要求,而集成光路技术有望实现更快速、更有效、成本更低廉的信息处理器件,由此带来新的自主产业机会。铌酸锂集成光路技术在近年获得迅猛发展,展示了优越的器件性能,已经吸引了产业界的关注。文章将介绍该领域的研究背景以及若干近期的重要突破。 展开更多
关键词 集成光路 铌酸锂薄膜 光波导 光损耗 弯曲半径
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介电晶体光波导的制备及其应用 被引量:1
16
作者 贾曰辰 王士香 +2 位作者 谭杨 王磊 陈峰 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期1968-1982,共15页
介电光学晶体种类繁多,具有丰富的功能属性,在科学研究、生产生活的各个领域有着广泛的应用.光波导是基本的光学微结构之一.基于介电光学晶体的光波导结构是组成集成光子学器件的重要元件.利用飞秒激光直写或者载能离子束辐照技术,可以... 介电光学晶体种类繁多,具有丰富的功能属性,在科学研究、生产生活的各个领域有着广泛的应用.光波导是基本的光学微结构之一.基于介电光学晶体的光波导结构是组成集成光子学器件的重要元件.利用飞秒激光直写或者载能离子束辐照技术,可以有效调控晶体材料局部区域的折射率分布,形成低损耗的光波导结构.本文将介绍介电晶体光波导(包括单晶薄膜)的制备方法及相关的波导性能,综述介电晶体光波导在激光产生、非线性光学频率转换、信号调制以及量子信息中的应用,并对这一领域的未来研究进行展望. 展开更多
关键词 介电晶体 光波导 飞秒激光微加工 离子注入 铌酸锂单晶薄膜
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