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基于IPD工艺的高通滤波器芯片设计 被引量:3
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作者 易康 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《通信技术》 2020年第1期230-234,共5页
设计采用了集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺设计了一款集总式紧凑型椭圆函数高通滤波器。设计采用砷化镓GaAs作为衬底材料,基于寄生参数和等效电路模型对螺旋电感和MIM(金属-介质-金属)电容进行理论分析,并在三维电磁... 设计采用了集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺设计了一款集总式紧凑型椭圆函数高通滤波器。设计采用砷化镓GaAs作为衬底材料,基于寄生参数和等效电路模型对螺旋电感和MIM(金属-介质-金属)电容进行理论分析,并在三维电磁场仿真软件HFSS中进行建模与仿真。经过调试,该模型截止频率9.2 GHz,在9.8 GHz通带上插入损耗小于2 dB,在0~7.2 GHz阻带抑制>30 dB,尺寸仅为640μm×865μm×84μm,有效缩小了无源滤波器的尺寸,验证了基于GaAs IPD工艺的集总式高通滤波器设计的可行性。 展开更多
关键词 集成无源器件(ipd) 高通滤波器 砷化镓(GaAs) 寄生参数 螺旋电感 MIM电容
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A linear 180 nm SOI CMOS antenna switch module using integrated passive device filters for cellular applications
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作者 崔杰 陈磊 +2 位作者 赵鹏 牛旭 刘轶 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2014年第6期114-118,共5页
A broadband monolithic linear single pole, eight throw (SP8T) switch has been fabricated in 180 nm thin film silicon-on-insulator (SOI) CMOS technology with a quad-band GSM harmonic filter in integrated passive de... A broadband monolithic linear single pole, eight throw (SP8T) switch has been fabricated in 180 nm thin film silicon-on-insulator (SOI) CMOS technology with a quad-band GSM harmonic filter in integrated passive devices (IPD) technology, which is developed for cellular applications. The antenna switch module (ASM) features 1.2 dB insertion loss with filter on 2G bands and 0.4 dB insertion loss in 3G bands, less than -45 dB isolation and maximum -103 dB intermodulation distortion for mobile front ends by applying distributed architecture and adaptive supply voltage generator. 展开更多
关键词 antenna switch module (ASM) integrated passive devices ipd single pole eight throw (SP8T) thin film silicon-on-insulator (SOI)
原文传递
基于GaAs IPD的小型化高选择性X波段宽带带通滤波器 被引量:2
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作者 赵辉 刘海文 +2 位作者 冯林平 高一强 孙晓玮 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期28-32,38,共6页
文中设计并实际开发了一种基于砷化镓(Gallium Arsenide,GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)技术的小型化高选择性宽带带通滤波器。首先,所提出的带通滤波器是通过引入集总参数谐振器来设计的,以实现高选择性和宽带性能... 文中设计并实际开发了一种基于砷化镓(Gallium Arsenide,GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)技术的小型化高选择性宽带带通滤波器。首先,所提出的带通滤波器是通过引入集总参数谐振器来设计的,以实现高选择性和宽带性能。其次,进一步研究了实现高选择性和宽带性能的工作原理。最后,为了证明所述性能,基于GaAs-IPD技术设计、制造和测量了一个紧凑型高选择性宽带带通滤波器。该滤波器工作频率覆盖了整个X波段(6~13 GHz),相对带宽为74.0%,带外实现了四个传输零点,从而实现了高选择性和良好的带外性能,芯片尺寸为0.05λ_(0)×0.03λ_(0)。比较了实测结果与电磁仿真结果,验证了该设计的可行性。 展开更多
关键词 带通滤波器 砷化镓 集成无源器件 小型化 高选择性 宽带
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基于GaAs工艺的片上宽带功率分配器
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作者 李辰辰 高一强 +3 位作者 孙晓玮 钱蓉 周健 杨明辉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期95-98,共4页
提出了一种基于砷化镓—集成无源器件(GaAs-IPD)工艺的宽带3dB功率分配器。使用多节级联以及集总参数等效的方法,实现了宽带小型化设计;使用RC串联隔离网络实现宽带内的高隔离性能。对提出的功分器进行了理论分析,并以20GHz为中心频率... 提出了一种基于砷化镓—集成无源器件(GaAs-IPD)工艺的宽带3dB功率分配器。使用多节级联以及集总参数等效的方法,实现了宽带小型化设计;使用RC串联隔离网络实现宽带内的高隔离性能。对提出的功分器进行了理论分析,并以20GHz为中心频率完成设计,电路尺寸为0.04λ0×0.053λ0,λ0为中心频率处的自由空间波长。经过测试,其相对工作带宽为80%,带内插损0.7dB,端口隔离高于20dB。测试结果与仿真结果保持了良好的一致性。 展开更多
关键词 功率分配器 砷化镓工艺 宽带 集成无源器件
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基于集成无源器件工艺的射频功率分配器设计 被引量:2
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作者 隆万洪 黄文韬 +2 位作者 吴振川 徐宽茂 蒋凯旋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期371-377,共7页
由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频... 由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频功率分配器。同相功率分配器的实测结果显示插入损耗约为3.7 d B,隔离度约为25 d B,性能与威尔金森结构功率分配器接近,封装后的尺寸为1.6 mm×0.8 mm,小于威尔金森结构功率分配器。反相功率分配器仿真结果表明插入损耗小于4.2 d B,隔离度约为25 d B。该功率分配器可应用到移动通信终端。 展开更多
关键词 功率分配器 集成无源器件(ipd) 1/4λ传输线 等效电路 小尺寸
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基于IPD工艺的滤波器设计 被引量:1
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作者 李鹏浩 吴蓉 +4 位作者 马骁 杨新豪 陈思婷 邱昕 郭瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期313-319,共7页
采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm&... 采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm×0.1 mm,高通滤波器芯片尺寸为0.7 mm×1.3 mm×0.1 mm。芯片测试结果显示,低通滤波器的-3 dB截止频率高于4.85 GHz,带外抑制在5.89~16.8 GHz内大于35 dB;高通滤波器的-3 dB截止频率低于6.35 GHz,带外抑制在5.17 GHz以下时大于35 dB。这两款滤波器在所需的工作频率范围内与设计指标吻合良好,达到了设计要求。 展开更多
关键词 集成无源器件(ipd) 高通滤波器 低通滤波器 电感 谐振
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一种IPD吸收式低通滤波器的设计 被引量:2
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作者 徐珊 邢孟江 +2 位作者 李小珍 代传相 杨晓东 《微波学报》 CSCD 北大核心 2021年第1期89-92,96,共5页
为解决反射信号损害系统性能的问题,提出了一种具有高带外抑制和高带外吸收的小型化吸收式低通滤波器。该滤波器通过高通通路和低通通路实现了吸收式低通滤波器;通过抑制增益支路实现了高带外抑制。利用ADS和HFSS仿真软件对滤波器结构... 为解决反射信号损害系统性能的问题,提出了一种具有高带外抑制和高带外吸收的小型化吸收式低通滤波器。该滤波器通过高通通路和低通通路实现了吸收式低通滤波器;通过抑制增益支路实现了高带外抑制。利用ADS和HFSS仿真软件对滤波器结构进行优化设计,并进行了实物的加工和测试。实测结果表明:该滤波器的3 dB截止频率为4 GHz,其带内最小插入损耗0.88 dB,通带内DC到3.5 GHz的回波损耗大于20 dB,阻带回波损耗大于10 dB,10.5 GHz处的阻带抑制大于45dB,从8 GHz到30 GHz的带外抑制大于33 dB,实测结果与仿真结果有较好的吻合。该滤波器尺寸仅为1220μm×650μm×87.71μm,相比传统PCB、LTCC工艺的滤波器,体积大大缩小,符合现代射频与微波系统小型化的发展趋势。 展开更多
关键词 吸收式滤波器 集成无源器件 小型化 高带外抑制 高带外吸收
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基于IPD工艺的无反射带阻滤波器 被引量:1
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作者 唐子舜 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期96-100,共5页
设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的无反射带阻滤波器。它能将阻带反射回的信号吸收掉,从而可以提高电路的线性度。在无反射低通滤波器的电路拓扑结构下,采用变换的形式设计出电路,使用电子设计自动化软件(ADS)和三维全波电磁场仿... 设计了一款基于集成无源器件(IPD)技术的无反射带阻滤波器。它能将阻带反射回的信号吸收掉,从而可以提高电路的线性度。在无反射低通滤波器的电路拓扑结构下,采用变换的形式设计出电路,使用电子设计自动化软件(ADS)和三维全波电磁场仿真软件(HFSS)完成无反射带阻滤波器的建模与仿真。该滤波器的中心频率为4.11 GHz,阻带频段为1.52~6.70 GHz,阻带抑制大于等于14.47 dB,通带插入损耗小于0.7 dB,相对带宽为79%。在毫米波滤波器引入IPD结构,使得滤波器更加小型化,有利于优化滤波器的尺寸,模型的整体尺寸仅为0.9 mm×1 mm×0.1 mm。通过三维电磁仿真实验,验证了该无反射带阻滤波器的可行性。 展开更多
关键词 集成无源器件(ipd) 带阻滤波器 无反射 毫米波
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基于微系统IPD工艺的功分网络制造技术 被引量:1
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作者 崔凯 李浩 +3 位作者 谢迪 张兆华 齐昆仑 孙毅鹏 《电子机械工程》 2021年第4期40-43,共4页
集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)具有高集成度、高精度、高可靠性的优势,在射频微波领域极具应用前景,但薄膜多层电路及高精度电阻制作是限制其广泛应用的关键问题。文中基于IPD技术设计制作了毫米波Wilkinson带状线功率分... 集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)具有高集成度、高精度、高可靠性的优势,在射频微波领域极具应用前景,但薄膜多层电路及高精度电阻制作是限制其广泛应用的关键问题。文中基于IPD技术设计制作了毫米波Wilkinson带状线功率分配/合成器,通过薄膜多层技术实现了2层苯并环丁烯(BCB)介质、3层布线的多层结构,最小线宽和线距皆为20μm。通过反应磁控溅射方法在BCB介质表面制备了50Ω/□和100Ω/□的TaN高精度薄膜电阻。片上集成的功分网络的工作频率为30-40 GHz,频带内各个端口的回波损耗为-15dB,插入损耗为(4.6±0.2)dB。该研究突破了硅基薄膜多层高密度布线技术,制作了功分器并对其进行了测试,为射频微系统无源网络一体化集成提供了有效的解决方案。 展开更多
关键词 射频微系统 集成无源器件 功分器 多层薄膜 氮化钽薄膜电阻
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基于薄膜IPD工艺的N77频段多零点带通滤波器设计 被引量:2
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作者 王浩威 郭瑜 +2 位作者 傅肃磊 王为标 吴浩东 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期526-530,538,共6页
针对微波滤波器对高性能和低成本的应用需求,将薄膜集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺与印刷电路板(Printed Circuit Board,PCB)工艺相结合,设计了一款含有三个传输零点的宽带集总带通滤波器。为提升器件Q值,降低带内损... 针对微波滤波器对高性能和低成本的应用需求,将薄膜集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)工艺与印刷电路板(Printed Circuit Board,PCB)工艺相结合,设计了一款含有三个传输零点的宽带集总带通滤波器。为提升器件Q值,降低带内损耗并缩小器件尺寸,将滤波器谐振回路的电感以三维电感的形式设置于金属层较厚的PCB基板中,而其他电路结构则被集成在高阻硅基片上,通过倒装焊植球的方式(Flip-Chip Ball Grid Array,FBGA)将高阻硅基芯片键合到基板上。为验证理论的有效性,加工制备了一款N77频段的带通滤波器,其不包括外部管脚的整体尺寸为2.2 mm×3.0 mm,1 dB带宽为918 MHz,带测试板的实测插损为-2.58 dB。测试结果与预期的仿真结果达成一致。 展开更多
关键词 集总滤波器 ipd工艺 Q值 插入损耗 传输零点
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A 500-600 MHz GaN power amplifier with RC-LC stability network 被引量:1
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作者 Ying Lu Liang Shen +1 位作者 Jiabo Wang Ya Shen 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第8期69-74,共6页
The GaAs-based TF-IPD fabrication process and equivalent lumped element circuit are utilized to re- duce the circuit size for double-section Wilkinson power divider. Ultimately the dimension of the proposed S-band pow... The GaAs-based TF-IPD fabrication process and equivalent lumped element circuit are utilized to re- duce the circuit size for double-section Wilkinson power divider. Ultimately the dimension of the proposed S-band power divider is reduced to 1.03 × 0.98 mm2. Its measured results show an operating fractional bandwidth of 54%, and return losses and isolation of greater than 20 dB. In addition the excess insertion loss is less than 1.1 dB. More- over the good features contain amplitude and phase equilibrium with the values of better than 0.03 dB and 1.5° separately. This miniaturized power divider could be widely used in RF/microwave circuit systems. 展开更多
关键词 thin film integrated passive device (TF-ipd parameters extraction DE-EMBEDDING lumped element
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基于IPD的紧凑型高性能N77带通滤波器 被引量:1
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作者 代传相 李小珍 +1 位作者 邢孟江 刘永红 《微波学报》 CSCD 北大核心 2022年第2期52-55,60,共5页
5G通信系统向小型化、集成化、低功耗、高性能方向发展,要求5G滤波器性能更高、体积更小。文中将切比雪夫Ⅱ型带通滤波器原型电路进行等效变换,在减少插入损耗的同时在低频端引入两个传输零点;通过合理的空间布局以及对元件连接端口进... 5G通信系统向小型化、集成化、低功耗、高性能方向发展,要求5G滤波器性能更高、体积更小。文中将切比雪夫Ⅱ型带通滤波器原型电路进行等效变换,在减少插入损耗的同时在低频端引入两个传输零点;通过合理的空间布局以及对元件连接端口进行阻抗匹配优化,利用元件的寄生参数在高频端引入两个传输零点。从电路原理和三维结构两个方向进行研究,在小尺寸情况下实现了较高阻带抑制和较小带内损耗。设计并加工了GaAs衬底的芯片滤波器,实测表明,仿真结果与测试结果相符,滤波器尺寸仅为1.0 mm×0.8 mm×0.1 mm。 展开更多
关键词 5G通信技术 砷化镓集成无源器件 带通滤波器 N77频段
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