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InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料的ICP刻蚀 被引量:5
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作者 陈永远 邓军 +2 位作者 史衍丽 苗霈 杨利鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第2期433-437,共5页
分别采用Cl2/Ar和SiCl4/Ar作为刻蚀气体对InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料进行ICP(Inductively Couple Plasma)刻蚀。结果表明,两种刻蚀气体的刻蚀深度与刻蚀时间都呈线性关系;在2 mTorr气压下,RF功率为50 W,SiCl4流量为3 sccm,Ar为9 s... 分别采用Cl2/Ar和SiCl4/Ar作为刻蚀气体对InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料进行ICP(Inductively Couple Plasma)刻蚀。结果表明,两种刻蚀气体的刻蚀深度与刻蚀时间都呈线性关系;在2 mTorr气压下,RF功率为50 W,SiCl4流量为3 sccm,Ar为9 sccm时,刻蚀速率为100 nm/min,且与材料的掺杂浓度无关。实验还表明,SiCl4/Ar作为刻蚀气体时,Ar流量在很大范围内对刻蚀速率没用明显影响,但Ar的流量越大,刻蚀的均匀性越好;用Cl2/Ar作为刻蚀气体时,刻蚀速率也是100 nm/min,但Ar流量对刻蚀速率有影响:当Ar流量小于3 sccm时,刻蚀速率随Ar流量的减小而明显降低。 展开更多
关键词 ICP刻蚀 inas gasb 二类超晶格 SiCl4 AR CL2 AR
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InAs/GaSbⅡ类超晶格双色红外焦平面器件的干法刻蚀与湿法腐蚀制备对比研究
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作者 温涛 胡雨农 +3 位作者 李景峰 赵成城 王国伟 刘铭 《红外》 CAS 2023年第4期1-6,共6页
分别采用干法刻蚀工艺路线和湿法腐蚀工艺路线制备了面阵规模为320×256、像元中心距为30μm的InAs/GaSbⅡ类超晶格长/长波双色红外焦平面器件,并对其台面形貌、接触孔形貌、伏安特性以及互连读出电路并封入杜瓦后的中测性能进行了... 分别采用干法刻蚀工艺路线和湿法腐蚀工艺路线制备了面阵规模为320×256、像元中心距为30μm的InAs/GaSbⅡ类超晶格长/长波双色红外焦平面器件,并对其台面形貌、接触孔形貌、伏安特性以及互连读出电路并封入杜瓦后的中测性能进行了对比研究。总结了采用干法工艺和湿法工艺制备双色InAs/GaSbⅡ类超晶格焦平面器件的特点。该研究对InAs/GaSbⅡ类超晶格焦平面器件的研制具有参考意义。 展开更多
关键词 inas/gasb Ⅱ类超晶格 焦平面 双色
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基于锑化物二类超晶格的多色红外探测器研究进展 被引量:3
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作者 蒋洞微 徐应强 +1 位作者 王国伟 牛智川 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第12期2211-2220,共10页
近年来InAs/GaSb二类超晶格红外探测器在材料晶体结构生长、器件结构设计与成像应用方面取得了飞速发展。尤其在多色红外探测方面,二类超晶格材料以其具备的带隙可调、暗电流小、量子效率高、材料均匀性高,以及成本低等优越性能,使其逐... 近年来InAs/GaSb二类超晶格红外探测器在材料晶体结构生长、器件结构设计与成像应用方面取得了飞速发展。尤其在多色红外探测方面,二类超晶格材料以其具备的带隙可调、暗电流小、量子效率高、材料均匀性高,以及成本低等优越性能,使其逐步成为第三代红外焦平面探测器的优选材料。本文阐述了锑化物窄带隙半导体研究中心的锑化物多色红外探测器研究进展。本团队成功实现了低噪声、高量子效率以及低光学串扰的短/中、短/长、中/长、长/长、中/长/甚长波等多种高性能多色红外探测器研制。 展开更多
关键词 inas/gasb 二类超晶格 多色红外探测器 量子效率 光学串扰
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InAs/GaSbⅡ类超晶格与HgCdTe红外探测器的比较研究 被引量:2
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作者 余连杰 邓功荣 苏玉辉 《红外技术》 CSCD 北大核心 2012年第12期683-689,共7页
HgCdTe、QWIP和InAs/GaSbⅡ类超晶格被公认是第三代红外焦平面探测器的首选。主要对比分析了HgCdTe和InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器,InAs/GaSbⅡ类超晶格具有响应波段宽且精确可控、工作温度高、载流子寿命长、暗电流低和均匀性好等优... HgCdTe、QWIP和InAs/GaSbⅡ类超晶格被公认是第三代红外焦平面探测器的首选。主要对比分析了HgCdTe和InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器,InAs/GaSbⅡ类超晶格具有响应波段宽且精确可控、工作温度高、载流子寿命长、暗电流低和均匀性好等优点,使其在甚长波、多色以及非制冷红外焦平面阵列等方面具有广阔的发展应用前景。 展开更多
关键词 inas gasb HgCdTeⅡ类超晶格 红外探测器
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InAs/GaSb超晶格长波红外探测器 被引量:2
5
作者 汪良衡 李云涛 +5 位作者 雷华伟 杨煜 丁颜颜 张舟 刘斌 周文洪 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第5期473-476,共4页
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器因其特殊的能带结构及其自身的材料和器件优势,在红外成像技术上具备极大的应用价值和前景,同时在大面阵长波红外探测器及甚长波红外探测器领域展现出优异的器件性能,并推动世界各国对这一低维半导体研... InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器因其特殊的能带结构及其自身的材料和器件优势,在红外成像技术上具备极大的应用价值和前景,同时在大面阵长波红外探测器及甚长波红外探测器领域展现出优异的器件性能,并推动世界各国对这一低维半导体研究的持续发展,成为第三代红外探测器技术的最佳选择,并在国防建设、医疗、电力、天文学、抗灾方面有着广泛的应用。本文着重介绍了Ⅱ类超晶格长波红外探测器器件的制备、焦平面的成像测试以及器件的相关性能。长波探测器器件在77 K条件下10%截止波长为14mm,峰值量子效率为35%,峰值响应2.6 A/W,峰值探测率接近1×1010cm Hz1/2W^(-1)。 展开更多
关键词 inas/gasb Ⅱ类超晶格 长波红外
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InAs/GaSb Ⅱ类超晶格电学性能研究 被引量:2
6
作者 邢伟荣 刘铭 +1 位作者 周朋 周立庆 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期725-727,共3页
为了提高InAs/GaSb超晶格探测器性能和工作温度,研究了超晶格吸收层载流子输运性能。利用分子束外延在半绝缘GaAs衬底上生长InAs/GaSb超晶格材料,用霍尔测试表征材料电学性能,研究了不同条件,包括退火、束流比和在超晶格不同材料层的掺... 为了提高InAs/GaSb超晶格探测器性能和工作温度,研究了超晶格吸收层载流子输运性能。利用分子束外延在半绝缘GaAs衬底上生长InAs/GaSb超晶格材料,用霍尔测试表征材料电学性能,研究了不同条件,包括退火、束流比和在超晶格不同材料层的掺杂对超晶格电学性能的影响。 展开更多
关键词 inas/gasb Ⅱ类超晶格 电学性能 霍尔测试
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Molecular Beam Epitaxy of Zero Lattice-Mismatch InAs/GaSb Type-Ⅱ Superlattice 被引量:2
7
作者 于海龙 吴皓越 +2 位作者 朱海军 宋国峰 徐云 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第12期142-145,共4页
Type-Ⅱ InAs/GaSb superlattiees made of 13 InAs monolayers (MLs) and 7 GaSb MLs are grown on GaSb substrates by solid source molecular beam epitaxy. To obtain lattice-matched structures, thin InSb layers are inserte... Type-Ⅱ InAs/GaSb superlattiees made of 13 InAs monolayers (MLs) and 7 GaSb MLs are grown on GaSb substrates by solid source molecular beam epitaxy. To obtain lattice-matched structures, thin InSb layers are inserted between InAs and GaSb layers. We complete a series of experiments to investigate the influence of the InSb deposition time, Ⅴ/Ⅲ beam-equivalent pressure ratio and interruption time between each layer, and then characterize the superlattice (SL) structures with high-resolution x-ray diffraction and atomic force microscopy. The optimized growth parameters are applied to grow the 100-period SL structure, resulting in the full-width half-maximum of 29.55 arcsee for the first SL satellite peak and zero lattice-mismatch between the zero-order SL peak and the GaSb substrate peak. 展开更多
关键词 gasb is InSb Molecular Beam Epitaxy of Zero Lattice-Mismatch inas/gasb type SUPERLATTICE inas of
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Interface effect on superlattice quality and optical properties of InAs/GaSb type-Ⅱ superlattices grown by molecular beam epitaxy 被引量:2
8
作者 Zhaojun Liu Lian-Qing Zhu +3 位作者 Xian-Tong Zheng Yuan Liu Li-Dan Lu Dong-Liang Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期671-676,共6页
We systematically investigate the influence of InSb interface(IF)engineering on the crystal quality and optical properties of strain-balanced InAs/GaSb type-Ⅱsuperlattices(T2SLs).The type-Ⅱsuperlattice structure is ... We systematically investigate the influence of InSb interface(IF)engineering on the crystal quality and optical properties of strain-balanced InAs/GaSb type-Ⅱsuperlattices(T2SLs).The type-Ⅱsuperlattice structure is 120 periods InAs(8 ML)/GaSb(6 ML)with different thicknesses of InSb interface grown by molecular beam epitaxy(MBE).The highresolution x-ray diffraction(XRD)curves display sharp satellite peaks,and the narrow full width at half maximum(FWHM)of the 0th is only 30-39 arcsec.From high-resolution cross-sectional transmission electron microscopy(HRTEM)characterization,the InSb heterointerfaces and the clear spatial separation between the InAs and GaSb layers can be more intuitively distinguished.As the InSb interface thickness increases,the compressive strain increases,and the surface“bright spots”appear to be more apparent from the atomic force microscopy(AFM)results.Also,photoluminescence(PL)measurements verify that,with the increase in the strain,the bandgap of the superlattice narrows.By optimizing the InSb interface,a high-quality crystal with a well-defined surface and interface is obtained with a PL wavelength of 4.78μm,which can be used for mid-wave infrared(MWIR)detection. 展开更多
关键词 inas/gasb type-Ⅱsuperlattice molecular beam epitaxy interface mid-wave infrared
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Growth Optimization, Strain Compensation and Structure Design of InAs/GaSb Type-II Superlattices for Mid-Infrared Imaging 被引量:1
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作者 Yuxin Song Shumin Wang +5 位作者 Carl Asplund Rickard Marcks von Würtemberg Hedda Malm Amir Karim Xiang Lu Jun Shao 《Crystal Structure Theory and Applications》 2013年第2期46-56,共11页
InAs/GaSb type-II superlattce (T2SL) photodetector structures at the MWIR regime were grown by molecular beam epitaxy. The growth temperature and group-V soaking times were optimized with respect to interface and tran... InAs/GaSb type-II superlattce (T2SL) photodetector structures at the MWIR regime were grown by molecular beam epitaxy. The growth temperature and group-V soaking times were optimized with respect to interface and transport quality. Novel strain compensation schemes with insertion of InSb layers were proposed and tested to be efficient to tune the overall strain between tensile and compressive without degradation of interface and optical quality. The effect of the proposed methods is modeled by analytic functions.? Band structure calculations were also carried out for the proposed T2SL structures to assist optimizing sample designs. Single pixel photodiodes with a low dark current were demonstrated. 展开更多
关键词 inas/gasb type-II Superlattce Molecular Beam EPITAXY Strain COMPENSATION
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分子束外延InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料 被引量:1
10
作者 邢伟荣 刘铭 +2 位作者 郭喜 周朋 周立庆 《红外》 CAS 2017年第12期17-20,共4页
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格由于具有独特的能带结构和良好的材料性能被认为是第三代红外探测器的首选,近年来被广泛研究,并取得快速发展。分子束外延能够精确控制材料界面与周期厚度,是超晶格材料生长的主流手段。利用分子束外延技术在GaSb... InAs/GaSb Ⅱ类超晶格由于具有独特的能带结构和良好的材料性能被认为是第三代红外探测器的首选,近年来被广泛研究,并取得快速发展。分子束外延能够精确控制材料界面与周期厚度,是超晶格材料生长的主流手段。利用分子束外延技术在GaSb衬底上分别生长了中波、长波超晶格材料,并对所生长的超晶格材料的性能进行了全面表征,最后用制备的面阵器件验证了该材料的性能。 展开更多
关键词 inas/gasb Ⅱ类超晶格 分子束外延 红外探测器
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Strain-induced the dark current characteristics in InAs/GaSb type-Ⅱ superlattice for mid-wave detector 被引量:2
11
作者 H.J.Lee S.Y.Ko +1 位作者 Y.H.Kim J.Nah 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2020年第6期35-38,共4页
Type-Ⅱsuperlattice(T2SL)materials are the key element for infrared(IR)detectors.However,it is well known that the characteristics of the detectors with the T2SL layer are greatly affected by the strain developed duri... Type-Ⅱsuperlattice(T2SL)materials are the key element for infrared(IR)detectors.However,it is well known that the characteristics of the detectors with the T2SL layer are greatly affected by the strain developed during the growth process,which determines the performance of IR detectors.Therefore,great efforts have been made to properly control the strain effect and develop relevant analysis methods to evaluate the strain-induced dark current characteristics.In this work,we report the strain-induced dark current characteristics in InAs/GaSb T2SL MWIR photodetector.The overall strain of InAs/GaSb T2SL layer was analyzed by both high-resolution X-ray diffraction(HRXRD)and the dark current measured from the absorber layer at the elevated temperatures(≥110 K),where the major leakage current component is originated from the reduced minority carrier lifetime in the absorber layer.Our findings indicate that minority carrier lifetime increases as the tensile strain on the InAs/GaSb T2SL is more compensated by the compressive strain through‘InSb-like’interface,which reduces the dark current density of the device.Specifically,tensile strain compensated devices exhibited the dark current density of less than 2×10^-5 A/cm^2 at 120 K,which is more than one order of magnitude lower value compared to that of the device without tensile strain relaxation. 展开更多
关键词 mid-wave detector inas/gasb typeⅡsuper lattice dark current
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InAs/GaSb二类超晶格材料湿法腐蚀工艺研究 被引量:2
12
作者 亢喆 温涛 郭喜 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期867-871,共5页
研究了不同腐蚀溶液体系下铟砷镓锑(InAs/GaSb)二类超晶格材料的湿法腐蚀工艺。根据腐蚀效果选择了由柠檬酸(C_6H_8O_7)、磷酸(H_3PO_4)、过氧化氢(H_2O_2)构成的混合腐蚀液。这种腐蚀液对InAs/GaSb材料腐蚀速率稳定,腐蚀后表面光滑,且... 研究了不同腐蚀溶液体系下铟砷镓锑(InAs/GaSb)二类超晶格材料的湿法腐蚀工艺。根据腐蚀效果选择了由柠檬酸(C_6H_8O_7)、磷酸(H_3PO_4)、过氧化氢(H_2O_2)构成的混合腐蚀液。这种腐蚀液对InAs/GaSb材料腐蚀速率稳定,腐蚀后表面光滑,且下切效应小。同时,研究了该成分腐蚀液不同腐蚀液温度、浓度和各成分配比等条件对InAs/GaSb材料腐蚀速率,形貌和钻蚀情况的影响。根据实验结果配制了体积比为1∶1∶1∶40的柠檬酸(50%):磷酸(85%):过氧化氢(31%):水的腐蚀溶液,室温(20℃)下腐蚀速率约为9.48 nm/s。 展开更多
关键词 铟砷镓锑 二类超晶格 湿法腐蚀 溶液配比
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用于宽波段红外探测的InAs/GaSbⅡ型超晶格结构光学性质研究
13
作者 李红凯 李墨 +5 位作者 董尚威 洪进 陈晔 敬承斌 越方禹 褚君浩 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2021年第6期95-99,共5页
InAs/GaSbⅡ型超晶格因其特殊的能带结构及成熟的材料生长技术,被视为第三代红外探测器的优质材料。本文介绍了长、短波红外探测用的InAs/GaSbⅡ型超晶格探测器结构的光学性质,对比超晶格和衬底的拉曼光谱,指认了结构中存在的主要拉曼... InAs/GaSbⅡ型超晶格因其特殊的能带结构及成熟的材料生长技术,被视为第三代红外探测器的优质材料。本文介绍了长、短波红外探测用的InAs/GaSbⅡ型超晶格探测器结构的光学性质,对比超晶格和衬底的拉曼光谱,指认了结构中存在的主要拉曼振动模式,分波段光致发光谱揭示了器件存在近红外和远红外双波段特性。通过反射光谱、光电流谱以及宽波段红外透射光谱,表征了短波红外和长波红外的明显吸收特性,合理解释了基于InAs/GaSbⅡ型结构在近、中、远红外波段的探测功能。研究结果可为研制基于InAs/GaSbⅡ型超晶格的双/多/宽波段红外探测器的结构设计和机理分析提供指导。 展开更多
关键词 inas/gasb Ⅱ型超晶格 多波段探测 拉曼光谱 光学性质 红外探测器
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InAs/GaSb二类超晶格中长波双色红外焦平面器件研究
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作者 张舟 汪良衡 +5 位作者 杨煜 李云涛 丁颜颜 雷华伟 刘斌 周文洪 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第9期863-867,共5页
采用分子束外延工艺方法生长的InAs/GaSb二类超晶格材料因其独特的能带断带结构,极大地降低了俄歇复合暗电流,且其较大的电子有效质量使得隧穿电流进一步降低,因此超晶格材料成为国内外红外领域研究关注的重点。本文介绍的超晶格中长波... 采用分子束外延工艺方法生长的InAs/GaSb二类超晶格材料因其独特的能带断带结构,极大地降低了俄歇复合暗电流,且其较大的电子有效质量使得隧穿电流进一步降低,因此超晶格材料成为国内外红外领域研究关注的重点。本文介绍的超晶格中长波双色探测器采用npn背靠背结构,阵列规模为320×256,像元中心距为30mm。其中测得80K温度下,-0.1V偏压工作时中波50%截止波长为4.5mm,0.17V偏压工作时长波50%截止波长为10.5mm,对应的峰值量子效率为45%、33%,相应的暗电流密度为5.94×10^(-7)A/cm^2@-0.1V、1.72×10^(-4)A/cm^2@0.17V,NETD为16.6mK、15.6mK。 展开更多
关键词 inas/gasb 二类超晶格 中长波双色 焦平面阵列
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InAs/GaSbⅡ类超晶格红外探测器光电特性理论计算 被引量:6
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作者 史衍丽 李凡 +1 位作者 赵鲁生 徐文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期981-985,共5页
InAs/GaSbⅡ类超晶格是目前国际上公认的制备第三代高性能红外探测器的理想材料之一,具有能带结构可调、波长响应范围宽、量子效率高、利于实现大面积焦平面阵列等独特优势。为了充分利用这一材料的优点,对材料进行优化设计,采用Kronig-... InAs/GaSbⅡ类超晶格是目前国际上公认的制备第三代高性能红外探测器的理想材料之一,具有能带结构可调、波长响应范围宽、量子效率高、利于实现大面积焦平面阵列等独特优势。为了充分利用这一材料的优点,对材料进行优化设计,采用Kronig-Penney模型对材料的能带结构进行了理论计算;同时,利用输运理论的质量和动量平衡方程对材料的光电导特性进行了计算分析,探讨了这类材料进行非制冷探测的优势。计算结果对深入认识该类材料的光电特性,从而对材料及器件进行优化设计具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 inas/gasbⅡ类超晶格 第三代红外探测器 Kronig-Penney方法 质量和动量平衡方程
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InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料的Si离子注入研究
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作者 何苗 周易 +7 位作者 应翔霄 梁钊铭 黄敏 王志芳 朱艺红 廖科才 王楠 陈建新 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期15-22,共8页
Ⅱ类超晶格红外探测器一般通过台面结实现对红外辐射的探测,而通过离子注入实现横向PN结,一方面材料外延工艺简单,同时可以利用超晶格材料横向扩散长度远高于纵向的优势改善光生载流子的输运,且易于制作高密度平面型阵列。本文利用多种... Ⅱ类超晶格红外探测器一般通过台面结实现对红外辐射的探测,而通过离子注入实现横向PN结,一方面材料外延工艺简单,同时可以利用超晶格材料横向扩散长度远高于纵向的优势改善光生载流子的输运,且易于制作高密度平面型阵列。本文利用多种材料表征技术,研究了不同能量的Si离子注入以及退火前后对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料性能的影响。研究通过Si离子注入,外延材料由P型变为N型,超晶格材料中产生了垂直方向的拉伸应变,晶格常数变大,且失配度随着注入能量的增大而增大,注入前失配度为-0.012%,当注入能量到200 keV时,失配度达到0.072%,超晶格部分弛豫,弛豫程度为14%,而在300℃ 60 s退火后,超晶格恢复完全应变状态,且晶格常数变小,这种张应变是退火引起的Ga-In相互扩散以及Si替位导致的晶格收缩而造成的。 展开更多
关键词 inas/gasbⅡ类超晶格 离子注入 平面结 退火 HRXRD
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AlAsSb的外延再生长对InAs/GaSb红外探测器暗电流抑制效果研究
17
作者 严定钰 沈祥 +3 位作者 王庶民 石张勇 张焱超 张凡 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2023年第3期87-93,共7页
采用分子束外延(MBE)技术外延再生长AlAsSb,对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格(T2SLs)长波红外探测器的表面缺陷进行钝化,实现了暗电流的显著降低.首先,研究了湿法腐蚀浅台面的最佳腐蚀液配比,获得了低横向腐蚀、光滑的侧壁以及均匀的腐蚀界面.随... 采用分子束外延(MBE)技术外延再生长AlAsSb,对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格(T2SLs)长波红外探测器的表面缺陷进行钝化,实现了暗电流的显著降低.首先,研究了湿法腐蚀浅台面的最佳腐蚀液配比,获得了低横向腐蚀、光滑的侧壁以及均匀的腐蚀界面.随后,使用AlAsSb/AlAs/GaAs、AlAsSb/GaSb两种不同的外延再生长组合和单一的SiO_(2)薄层分别对刻蚀后的台面进行钝化,同时保留一个没有钝化的样品作为对照,最后对4种不同钝化条件下探测器的暗电流特性进行了测量.结果发现,使用AlAsSb/GaSb外延再生长钝化层的器件暗电流得到了进一步降低,使用SiO_(2)钝化层的效果次之,而使用AlAsSb/AlAs/GaAs外延再生长钝化层的性能相对较差.上述结果表明,外延再生长钝化技术是降低长波红外探测器暗电流的一种有效方法. 展开更多
关键词 外延再生长 表面钝化 inas/gasbⅡ类超晶格 长波红外探测器 湿法刻蚀
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InAs/GaSbⅡ类超晶格长波红外探测器研究进展
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作者 田亚芳 史衍丽 李方江 《红外技术》 CSCD 北大核心 2023年第8期799-807,共9页
本文系统报道了基于InAs/GaSbⅡ类超晶格(T2SLs)的长波红外探测器的研究进展。从衬底、材料生长以及器件性能角度对比分析了基于GaSb、InAs衬底的各种器件结构的优缺点。分析结果表明,以InAs为衬底、吸收区材料为InAs/InAs1-xSbx、PB1I... 本文系统报道了基于InAs/GaSbⅡ类超晶格(T2SLs)的长波红外探测器的研究进展。从衬底、材料生长以及器件性能角度对比分析了基于GaSb、InAs衬底的各种器件结构的优缺点。分析结果表明,以InAs为衬底、吸收区材料为InAs/InAs1-xSbx、PB1IB2N型的结构为相对优化的器件结构设计,结合ZnS和Ge的多层膜结构设计或者重掺杂缓冲层,同时采用电感耦合等离子体(inductively coupled plasma)干法刻蚀工艺,该器件的50%截止波长可达12μm,量子效率(quantum efficiency)可提升到65%以上,暗电流密度降低至1×10^(-5) A/cm^(2)。并归纳总结了InAs/GaSb T2SLs长波红外探测器未来的发展趋势。 展开更多
关键词 inas/gasbⅡ类超晶格 器件结构 暗电流 量子效率 结构优化
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带间级联红外探测器的光电流输运与量子效率研究
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作者 白雪莉 柴旭良 +4 位作者 周易 朱艺红 梁钊铭 徐志成 陈建新 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CSCD 北大核心 2023年第6期716-723,共8页
带间级联红外探测器可以利用多级吸收区级联的方式实现高的工作温度,但不同的吸收区厚度设计方式会使得器件在不同级数吸收区中出现光生载流子的不匹配现象,从而对器件量子效率造成影响。为更好地理解带间级联探测器的级数和吸收区厚度... 带间级联红外探测器可以利用多级吸收区级联的方式实现高的工作温度,但不同的吸收区厚度设计方式会使得器件在不同级数吸收区中出现光生载流子的不匹配现象,从而对器件量子效率造成影响。为更好地理解带间级联探测器的级数和吸收区厚度对量子效率的影响,对基于InAs/GaSb II类超晶格的带间级联探测器进行了变温测试,并基于多级光电流的“平均效应”建立了工作在反向偏置电压的量子效率计算模型,通过与实际测试的量子效率对比,发现在低温条件下实验数据和计算结果拟合一致性较好,验证了多级带间级联探测器中基于内增益机制的光电流平均效应。但在高温条件下,实际的光电流低于“平均效应”的理论计算结果,这可能是由于高温下少数载流子寿命变短,在吸收区和弛豫区界面处存在光生载流子的复合机制。 展开更多
关键词 inas/gasb II类超晶格 带间级联探测器 电子增益 量子效率
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锑基二类超晶格中波红外焦平面探测器技术 被引量:3
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作者 巩锋 马文全 +4 位作者 谭振 刘铭 王亮 张燕华 邢伟荣 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期258-260,共3页
InAs/GaSbⅡ类超晶格以其特有的量子效率高、暗电流小、能带结构可调等材料性能和器件优势,成为第三代红外探测器技术的最佳选择之一。本文报道了中波InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的设计、生长、器件工艺技术,制备出了高性能的128×128... InAs/GaSbⅡ类超晶格以其特有的量子效率高、暗电流小、能带结构可调等材料性能和器件优势,成为第三代红外探测器技术的最佳选择之一。本文报道了中波InAs/GaSbⅡ类超晶格材料的设计、生长、器件工艺技术,制备出了高性能的128×128中波InAs/GaSbⅡ类超晶格红外焦平面探测器,像元暗电流密度降到1.8×10-7A/cm2,量子效率达36.64%。 展开更多
关键词 inas gasb II类超晶格 128×128 像元暗电流密度 量子效率
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