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题名LCD-ITO膜层导致ESD研究及改善
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作者
黄琛
张幼莲
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机构
汕头超声显示器有限公司
广东省汕头市质量计量监督检测所
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出处
《光电技术应用》
2021年第4期51-54,共4页
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文摘
ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象。文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究。通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产和电势差的原因,很容易出现静电放电现象、烧伤甚至烧断ITO走线。根据试验验证了靶材使用时间、温度和气氛工艺,结果发现,气氛工艺的调整是有效解决ESD问题的方法。通过气氛工艺的调整,LCD的ESD测试性能达到了目标要求,生产的ESD不良比例从18.9%下降到了0.002%以下,通过改善提高了产品品质,降低了生产成本,取得了很好的经济效益。
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关键词
ESD
ito烧伤
ito表面形貌
气氛工艺
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Keywords
electro static discharge(ESD)
Indium Tin Oxide(ito)burning
ito surface morphology
atmosphere technology
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分类号
TN151
[电子电信—物理电子学]
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