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题名基于IS010110-5的面形评价参数研究
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作者
赵兵
王伟
陈磊
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机构
解放军理工大学通信工程学院
江苏有线南京分公司播控中心
南京理工大学电光学院
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出处
《大气与环境光学学报》
CAS
2012年第4期303-309,共7页
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文摘
现在国外商用ZYGO干涉仪可提供一些基于ISO10110-5的面形评价参数,而国内的自制干涉仪还没有这项功能。ISO10110-5中提出这些面形评价参数的计算可以通过波面分解的方法实现。运用Gram-Schmidt最小二乘法拟合得到Zernike多项式系数,再从包含被测信息的原始波面中依次减去各种表面面形偏差,就可实现对这些参数的定量分析。通过与ZYGO干涉仪的输出对比,验证了自编拟合程序所得数据的有效性,而通过波面分解得到的各种干涉图也有益于光学加工者分析偏差原因和器件应用后果。
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关键词
iso10110-5
ZERNIKE多项式
面形评价
波面分解
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Keywords
IS010110-5
Zernike polynomial
surface form evaluation
wavefront decomposition
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名基于ISO10110-5的波面分解研究
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作者
赵兵
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机构
解放军理工大学通信工程学院
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出处
《科技信息》
2011年第30期110-111,共2页
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文摘
本文研究了ISO10110-5表面面形评价参数的算法,建立了与ISO10110-5相应的数字波面分解模型;运用自编的波面拟合程序,完成了泽尼克系数、赛德像差系数、峰谷值、均方根值等常用评价参数和ISO10110-5中提出的弧矢误差、不规则误差、旋转对称不规则误差等参数的计算;通过对同一组波面数据的分析比较,自编程序的计算结果与ZYGO干涉仪的输出结果相一致。
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关键词
iso10110—5
面形评价
波面分解
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分类号
TP274.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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