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中国气体的现状与发展 被引量:10
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作者 孙福楠 于大秋 +4 位作者 任越 丛林 韩薇 柳蔚 刘晓红 《低温与特气》 CAS 2014年第6期1-6,共6页
对当下中国气体的市场、技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向。
关键词 高纯气体 硅烷 磷烷 砷烷 高纯N2O 高纯氙 高纯氯气 标准气体 气瓶 检测仪器
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高纯氧化亚氮气体中微量水分控制研究
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作者 袁其龙 《化工设计通讯》 CAS 2024年第10期117-119,共3页
针对硝酸铵分解法生产高纯氧化亚氮过程中水分控制的问题,研究不同设备、不同规格干燥剂对除水效果的影响。研究发现,硝酸铵热分解生产氧化亚氮工艺,冷凝器采用冰水为冷源;干燥器选用13X分子筛+氧化铝吸附剂;可实现高纯氧化亚氮中水分... 针对硝酸铵分解法生产高纯氧化亚氮过程中水分控制的问题,研究不同设备、不同规格干燥剂对除水效果的影响。研究发现,硝酸铵热分解生产氧化亚氮工艺,冷凝器采用冰水为冷源;干燥器选用13X分子筛+氧化铝吸附剂;可实现高纯氧化亚氮中水分稳定低于0.5×10^(-6)。研究了硝酸铵分解法生产高纯氧化亚氮生产过程中设备配置与干燥剂种类,为高纯氧化亚氮生产提供技术参考。 展开更多
关键词 高纯气体 特殊气体 氧化亚氮生产 微量水分控制
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基于量子精密测量的中红外气体检测技术综述
3
作者 朱天一 冯典英 +5 位作者 许峰 董雅卓 张文申 侯倩倩 刘霞 王威 《宇航计测技术》 CSCD 2024年第5期16-24,共9页
综述了基于量子精密测量的中红外气体检测技术发展情况。随着半导体行业的发展,对电子工艺气体纯度的要求不断提升,传统中红外气体检测技术在痕量气体检测上面临灵敏度和精度的挑战。分析比较了光纤消逝波、光声光谱、傅里叶变换红外光... 综述了基于量子精密测量的中红外气体检测技术发展情况。随着半导体行业的发展,对电子工艺气体纯度的要求不断提升,传统中红外气体检测技术在痕量气体检测上面临灵敏度和精度的挑战。分析比较了光纤消逝波、光声光谱、傅里叶变换红外光谱、可调谐二极管激光吸收光谱和光腔衰荡光谱等技术的特点、应用现状及其局限性,并重点介绍了基于量子关联光谱的中红外气体检测技术,通过利用光量子探测器和频率上转换技术,突破了传统中红外探测器的性能瓶颈,显著提高了检测灵敏度和信噪比,该技术将成为未来的重点研究方向和技术突破口,为实现更高精度的痕量气体检测提供了重要参考。 展开更多
关键词 高纯气体 超痕量分析 中红外 量子测量
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高纯气体乙烷及丙烷裂解的动力学研究 被引量:3
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作者 王英超 靳永斌 +3 位作者 税蕾蕾 黄合庭 程子翔 王长江 《断块油气田》 CAS 2013年第3期311-315,共5页
为了探讨烃类气体的生烃动力学与碳同位素动力学的反应机理,为油气勘探的动力学研究提供准确、可靠的依据,在实验室条件下,利用先进的金管高压封闭体系方法,开展高纯乙烷(C2H6)和丙烷(C3H8)气体恒压条件下的热模拟实验,对不同时间点生... 为了探讨烃类气体的生烃动力学与碳同位素动力学的反应机理,为油气勘探的动力学研究提供准确、可靠的依据,在实验室条件下,利用先进的金管高压封闭体系方法,开展高纯乙烷(C2H6)和丙烷(C3H8)气体恒压条件下的热模拟实验,对不同时间点生成的气体进行了组分、碳同位素定量测试。实验结果表明,甲烷的产率随着温度上升不断增加,且在520℃后表现出快速增加趋势,丁烷与戊烷在520℃表现为最高值;高纯乙烷和丙烷样品的碳同位素具有随温度升高而变重的趋势。研究认为,高纯气体样品在恒压热模拟过程中裂解与聚合反应同时发生,且总体上分子量大的化合物比分子量小的稳定性差,各化合物的异构体的绝对量相对于正构体比例很小。 展开更多
关键词 高纯气体 生烃动力学 碳同位素 封闭体系 模拟实验
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基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NO_(x)浓度测量 被引量:2
5
作者 张猛 彭志敏 +2 位作者 杨乾锁 丁艳军 杜艳君 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第13期368-376,共9页
高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_(x)同步高精... 高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_(x)同步高精度测量系统,通过标定实验可知,该测量系统具有高线性度(R^(2)=0.99967)、高灵敏度、低检测下限(约25 ppt,1 ppt=10^(–12))、易操作性等优势;同时,综合考虑不同背景气体对荧光、磷光的淬灭效应,建立不同高纯气体中NO_(x)测量方法,并利用该探测系统对实验室常用4种高纯气体(Ar,O_(2),CO_(2),N_(2))中ppb量级的氮氧化物进行测量,结果表示CO_(2)中的NO含量最高,约为9 ppb(1 ppb=10^(–9)),其他高纯气体中的NO含量较低,仅有0—4 ppb,4种高纯气体的NO_(2)含量均较低(<6 ppb);最后结合气体制备及提纯方式对高纯气体中杂质NO_(x)含量进行评价及分析,旨在为燃料电池、半导体器件制备等尖端科技领域提供可靠的杂质气体成分诊断方法和数据基础. 展开更多
关键词 化学发光 高纯气体 痕量气体 淬灭
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AlON透明陶瓷的制备及其力学性能研究 被引量:1
6
作者 王颖 张微 +4 位作者 田庭燕 黄存新 王震 陈建荣 石爽爽 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第12期2215-2221,共7页
AlON透明陶瓷因良好的透光性、热震稳定性、力学性能和良好的可加工性,在国防领域和民用领域有广阔的应用前景。本文采用改进的碳热还原氮化/沸腾床法批量制备AlON粉体,单批次产能可达2 kg,在AlON粉体的XRD图谱中未观察到第二相,激光粒... AlON透明陶瓷因良好的透光性、热震稳定性、力学性能和良好的可加工性,在国防领域和民用领域有广阔的应用前景。本文采用改进的碳热还原氮化/沸腾床法批量制备AlON粉体,单批次产能可达2 kg,在AlON粉体的XRD图谱中未观察到第二相,激光粒径分析显示平均粒径为1.54μm,粒径分布均匀。使用该粉体进行冷等静压成型处理后,获得均匀性较好、致密度高的素坯。采用气压烧结法在1850℃,氮气压力5 MPa下制备出光学透过率为82.3%,弯曲强度为310 MPa的AlON透明陶瓷片,对推进AlON透明陶瓷的应用具有一定的现实意义。 展开更多
关键词 ALON 碳热还原氮化法 高纯粉体 透明陶瓷 透过率 气压烧结
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高纯气体检测系统的研发 被引量:1
7
作者 王富德 李建浩 《低温与特气》 CAS 2021年第3期39-49,共11页
超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支。其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新... 超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支。其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新的要求,而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究、研制与生产都提出了更高的要求。经过多年的研发,采用脉冲放电氦离子化检测器,六阀六柱气路分析流程,运用中心切割和反吹分析技术,各组分检测限可达10-9级别,这一方案的研发设计有效的指导生产工艺的控制与改革,确保产品质量。 展开更多
关键词 超纯气体 高纯气体 检测分析 痕量 脉冲放电氦离子化检测器 中心切割 反吹
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我国瓶装气体充装企业发展现状及对策
8
作者 陈伟 彭启兵 徐元梅 《云南化工》 CAS 2018年第10期25-26,共2页
瓶装气体充装企业主要从事瓶装氧气、氮气、氩气、二氧化碳、氢气、氦气等气体产品的充装业务,瓶装气体充装企业在多年的发展过程中,暴露出一些问题,如不及时予以解决,对瓶装气体充装企业健康发展造成严重的影响。着重从瓶装气体充装企... 瓶装气体充装企业主要从事瓶装氧气、氮气、氩气、二氧化碳、氢气、氦气等气体产品的充装业务,瓶装气体充装企业在多年的发展过程中,暴露出一些问题,如不及时予以解决,对瓶装气体充装企业健康发展造成严重的影响。着重从瓶装气体充装企业发展的现状进行探讨,指出发展过程中遇到的瓶颈,对瓶装气体充装企业未来发展提出对策。 展开更多
关键词 瓶装气体 特种气体 高纯气体
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气瓶处理系统的改造
9
作者 刘昕 田明勇 《低温与特气》 CAS 2003年第5期10-13,共4页
着重介绍武钢氧气公司的气瓶处理系统改造前后的系统差异和对比。确保气瓶处理的技术指标和合格率。
关键词 高纯气体 气瓶处理 真空 改造
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一种高纯气体微量水微量氧自动检测装置
10
作者 石成英 陈宏建 乔立永 《现代电子技术》 2008年第11期133-134,142,共3页
介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统、软件系统、主要技术指标及研制过程中解决的关键技术和创新点。实践表明,此微量水微量氧自动检测装置... 介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统、软件系统、主要技术指标及研制过程中解决的关键技术和创新点。实践表明,此微量水微量氧自动检测装置成本较低、性能稳定可靠、精度较高,实现了小型化、自动化和智能化。 展开更多
关键词 高纯气体 微量水 微量氧 自动检测
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氦离子化色谱仪分析高纯氘气方法的开发
11
作者 王祥科 钱阿慧 《低温与特气》 CAS 2024年第2期37-40,50,共5页
氘气被广泛应用于各种领域,并且是核聚变最有前景的材料之一。针对目前分析检出限低、载气较贵的问题(氖做载气),首次提出使用氦离子化检测器分析高纯氘气。其中高纯氘气中无机杂质气体氩气、氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的检... 氘气被广泛应用于各种领域,并且是核聚变最有前景的材料之一。针对目前分析检出限低、载气较贵的问题(氖做载气),首次提出使用氦离子化检测器分析高纯氘气。其中高纯氘气中无机杂质气体氩气、氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的检出限可达0.01×10^(-6)(体积分数);使用改性氧化铝色谱柱,在77 K低温下分离;H_(2)和HD检出限可达1×10^(-6)(体积分数)。对氘气样品进行分析,达到预期分析效果。实验采用脉冲氦离子化检测器为检测手段,对高纯氘气中的杂质进行分析,提高了检出限,并且采用氦气为载气比氖气作为载气更具分析成本优势。 展开更多
关键词 高纯氘气 色谱分析 氢-氘气体
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高纯电子特气痕量杂质分析方法进展
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作者 周志翔 王珂 +2 位作者 何红振 袁胜芳 张金彪 《低温与特气》 CAS 2024年第5期1-5,14,共6页
为保证高纯电子特气标准物质的质量,建立了痕量杂质的检测方法,对气体的研发、生产具有重要意义。高纯电子特气中的痕量杂质主要为痕量水、痕量氧、碳氧及碳氢化合物等,特殊杂质主要为氟化氢以及各种金属元素。针对不同痕量杂质的分析... 为保证高纯电子特气标准物质的质量,建立了痕量杂质的检测方法,对气体的研发、生产具有重要意义。高纯电子特气中的痕量杂质主要为痕量水、痕量氧、碳氧及碳氢化合物等,特殊杂质主要为氟化氢以及各种金属元素。针对不同痕量杂质的分析方法进行了论述,通过克服测量过程中的干扰因素可提高痕量杂质的测量准确性。 展开更多
关键词 高纯电子特气 痕量杂质 分析方法 气相色谱
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高纯压缩氮气生产过程的质量控制
13
作者 黄绍弘 《广东化工》 CAS 2024年第23期75-76,74,共3页
高纯压缩氮气广泛应用于一些高端领域,这些领域对其质量要求非常高,一旦出现质量不合格事件,可能产生重大的损失。本文主要通过分析常见的高纯压缩氮气的不合格情形以及可能对客户和生产企业产生的影响,并结合高纯压缩氮气的生产工艺,... 高纯压缩氮气广泛应用于一些高端领域,这些领域对其质量要求非常高,一旦出现质量不合格事件,可能产生重大的损失。本文主要通过分析常见的高纯压缩氮气的不合格情形以及可能对客户和生产企业产生的影响,并结合高纯压缩氮气的生产工艺,从原料、气瓶准备、气瓶充装和分析四个环节来阐述高纯压缩氮气质量控制关键点,确保高纯压缩氮气质量稳定性,避免发生重大质量不合格事件。 展开更多
关键词 高纯压缩氮气 质量 工艺 气瓶 控制措施
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氯化氢色谱分析 被引量:3
14
作者 刘胜 庄鸿涛 +4 位作者 郁光 杨康 李绪娜 方华 张吉瑞 《低温与特气》 CAS 2013年第2期38-40,共3页
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定氯化氢(HCl)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对HCl分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。
关键词 气相色谱仪 高纯电子气体 氯化氢 氦离子色谱法
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气相色谱法测高纯磷烷中的杂质含量 被引量:3
15
作者 郁光 咸鹏林 +1 位作者 庄鸿涛 方华 《低温与特气》 CAS 2016年第1期27-31,共5页
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。
关键词 气相色谱仪 高纯电子工业气体 磷烷 氦离子色谱法
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Evaluation of the plasmonic effect of Au and Ag on Ti-based photocatalysts in the reduction of CO2 to CH4 被引量:2
16
作者 Martin Dilla Anna Pougin Jennifer Strunk 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第2期277-283,共7页
Crystalline TiO(P25) and isolated titanate species in a ZSM-5 structure(TS-1) were modified with Au and Ag, respectively, and tested in the gas-phase photocatalytic COreduction under high purity conditions. The no... Crystalline TiO(P25) and isolated titanate species in a ZSM-5 structure(TS-1) were modified with Au and Ag, respectively, and tested in the gas-phase photocatalytic COreduction under high purity conditions. The noble metal modification was performed by photodeposition. Light absorbance properties of the catalysts are examined with UV–Vis spectroscopy before and after the activity test. In the gas-phase photocatalytic COreduction, it was observed that the catalysts with Ag nanostructures are more active than those with Au nanostructures. It is thus found that the energetic difference between the band gap energy of the semiconductor and the position of the plasmon is influencing the photocatalytic activity.Potentially, plasmon excitation due to visible light absorption results in plasmon resonance energy, which affects the excitation of the semiconductor positively. Therefore, an overlap between band gap energy of the semiconductor and metal plasmon is needed. 展开更多
关键词 Photocatalytic CO2 reduction Plasmon resonance Methane formation TS-1 P25 Noble metal photodeposition high-purity gas-phase photoreactor
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氦离子色谱仪在超高纯氨分析中的应用 被引量:3
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作者 方华 庄鸿涛 杨康 《低温与特气》 CAS 2012年第3期44-46,共3页
随着产业的发展,对超高纯氨的需求越来越大,品质要求也越来越高。因此对于氨气中的杂质控制也更加严格。详细介绍了GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪在超高纯氨分析中的应用。该色谱仪可准确测定超高纯氨气中的杂质。
关键词 气相色谱仪 超高纯气体 氨气 氦离子色谱法 分析
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高纯气体中容积钢质无缝气瓶定期检验 被引量:2
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作者 骆辉 赵保頔 +2 位作者 柴森 卢浩 陈鹏 《压力容器》 北大核心 2019年第2期72-76,共5页
介绍了高纯气体中容积无缝气瓶的结构和使用特点,探讨了此类气瓶主要失效模式以及目前采用的检验技术,并比较各种检验技术的有效性。分析表明,目前国内对普通工业气体气瓶的检验方法不适应于高纯气体气瓶的定期检验。同时分析了DOT标准... 介绍了高纯气体中容积无缝气瓶的结构和使用特点,探讨了此类气瓶主要失效模式以及目前采用的检验技术,并比较各种检验技术的有效性。分析表明,目前国内对普通工业气体气瓶的检验方法不适应于高纯气体气瓶的定期检验。同时分析了DOT标准、ISO标准采用的检验方法,提出以UT,AE等为基础的检验方法。实践证明,使用该方法可检测出大量传统检验方法无法发现的缺陷,通过对这些检验案例进行总结分析,对保障该类型气瓶安全运行给出了建议。 展开更多
关键词 高纯气体气瓶 定期检验 检验案例
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核电厂高纯锗气体谱仪现场应用方案设计 被引量:1
19
作者 赵卫军 章爱平 孙元君 《中国核电》 2015年第2期101-104,共4页
目前,国内多数核电厂高纯锗谱仪主要都用于实验室测量,作为谱仪的主要组成部分,以往由于受各种技术因素的限制,少数核电厂将高纯锗探测器用于现场,以监测现场工艺介质的核素组成。文章结合国内核电厂高纯锗气体谱仪在现场应用时存在的问... 目前,国内多数核电厂高纯锗谱仪主要都用于实验室测量,作为谱仪的主要组成部分,以往由于受各种技术因素的限制,少数核电厂将高纯锗探测器用于现场,以监测现场工艺介质的核素组成。文章结合国内核电厂高纯锗气体谱仪在现场应用时存在的问题,分析了问题存在的原因,给出了新的现场气体谱仪总体结构图,并对总体结构图中的主要设备选型及软件进行了分析。 展开更多
关键词 现场应用 高纯锗探测器 气体谱仪
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投影光刻机中气相分子污染物(AMC)的控制及检测 被引量:1
20
作者 李佳 《电子技术(上海)》 2019年第1期57-59,共3页
投影光刻机的性能直接决定了集成电路的特征线宽,随着特征尺寸(CD)的不断减小和套刻精度的不断提高,AMC将会越来越严重地影响圆片的加工质量和成品率,并会影响工作人员的身体健康。介绍AMC的分类、危害、控制方法及检测方法,为投影光刻... 投影光刻机的性能直接决定了集成电路的特征线宽,随着特征尺寸(CD)的不断减小和套刻精度的不断提高,AMC将会越来越严重地影响圆片的加工质量和成品率,并会影响工作人员的身体健康。介绍AMC的分类、危害、控制方法及检测方法,为投影光刻机中AMC的有效控制提供参考。 展开更多
关键词 集成电路制造 光刻机分子污染物 高纯气体分子 酸分子碱凝缩物 掺杂物
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