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玻璃与GaAs外延片热压粘结工艺研究 被引量：1
1
作者 赛小峰 张书明 +1 位作者 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第2期157-159,共3页
本文报道制备ＧａＡｓ透射式光阴极过程中窗玻璃与大面积ＧａＡｓ外延片热压粘结工艺的原理和过程，并重点分析抗反射膜的淀积、粘结温度控制和压力大小对粘结结果的影响。
关键词 热压粘结 玻璃 gaas外延片
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7056玻璃与大面积GaAs外延片粘接工艺分析
2
作者 冯驰 《应用光学》 CAS CSCD 1991年第5期33-36,9,共5页
介绍7056窗玻璃与大面积GaAs外延片的牯接工艺,并分析了GaAs片的表面形状、氮化硅的厚度、组分及粘接前的清洁处理工艺对粘接质量的影响。着重讨论了压力、温度和加热速率三者之间内在联系及其选取范围,给出了粘接工艺的调整和控制方法。
关键词 玻璃 gaas 外延片 粘接 光电阴极
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