期刊文献+
共找到20篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO∶Ga薄膜应力的影响 被引量:5
1
作者 张哲浩 吕建国 +1 位作者 江庆军 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期348-352,366,共6页
在室温(RT)下,采用直流(DC)磁控溅射在聚碳酸酯(PC)衬底上制备Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)与基片曲率方法研究薄膜的残余应力。提出并讨论了厚度和溅射功率对GZO薄膜的应力影响并证实所有薄膜的应力均是压缩应力。研究表明... 在室温(RT)下,采用直流(DC)磁控溅射在聚碳酸酯(PC)衬底上制备Ga掺杂ZnO(GZO)薄膜。通过X射线衍射(XRD)与基片曲率方法研究薄膜的残余应力。提出并讨论了厚度和溅射功率对GZO薄膜的应力影响并证实所有薄膜的应力均是压缩应力。研究表明随着薄膜厚度的增加,外应力可以得到充分释放。而溅射功率的变化可以改变GZO薄膜的应力和晶粒尺寸。研究表明溅射功率在140W的条件下制备的厚度225nm薄膜具有最大的晶粒尺寸和最小的压缩应力。结果表明改变溅射参数,比如溅射功率和薄膜厚度,GZO薄膜能够有效地释放应力。 展开更多
关键词 znoga薄膜 应力 基片曲率法 直流磁控溅射 有机衬底
下载PDF
Highly transparent low resistance Ga doped ZnO/Cu grid double layers prepared at room temperature 被引量:1
2
作者 Cholho Jang 叶志镇 吕建国 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第12期38-41,共4页
Ga doped ZnO (GZO)/Cu grid double layer structures were prepared at room temperature (RT). We have studied the electrical and optical characteristics of the GZO/Cu grid double layer as a function of the Cu grid sp... Ga doped ZnO (GZO)/Cu grid double layer structures were prepared at room temperature (RT). We have studied the electrical and optical characteristics of the GZO/Cu grid double layer as a function of the Cu grid spacing distance. The optical transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer are higher than that of the GZO/Cu film double layer regardless of the Cu grid spacing distance and increase as the Cu grid spacing distance increases. The calculated values for the transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid double layer well follow the trend of the experimentally observed transmittance and sheet resistance ones. For the GZO/Cu grid double layer with a Cu grid spacing distance of 1 mm, the highest figure of merit (ФTC = 6.19 × 10^-3 Ω^-1) was obtained. In this case, the transmittance, resistivity and filling factor (FF) of the GZO/Cu grid double layer are 83.74%, 1.10 ×10^-4Ω.cm and 0.173, respectively. 展开更多
关键词 transparent electrode electron beam evaporation Cu grid ga doped zno
原文传递
Sn催化的Ga掺杂ZnO纳米线的制备及其光致发光性能研究 被引量:1
3
作者 陆映东 常永勤 +4 位作者 张敬民 王明文 郭佳林 王永威 龙毅 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2057-2059,2063,共4页
采用化学气相沉积的方法,以Sn粉为催化剂制备出大长径比的Ga掺杂ZnO纳米线。采用扫描电子显微镜观察制备的产物,发现样品为直径约25~90nm的纳米线。通过比较不同Ga掺杂含量样品的室温光致发光谱,发现一定掺杂含量的Ga可以提高ZnO纳米... 采用化学气相沉积的方法,以Sn粉为催化剂制备出大长径比的Ga掺杂ZnO纳米线。采用扫描电子显微镜观察制备的产物,发现样品为直径约25~90nm的纳米线。通过比较不同Ga掺杂含量样品的室温光致发光谱,发现一定掺杂含量的Ga可以提高ZnO纳米线的紫外发光强度,同时,Ga的掺杂也会引起ZnO紫外发光峰的蓝移。随着Ga含量的增加,蓝移程度越来越小,甚至发生红移。Sn的引入只对Ga掺杂ZnO纳米线的蓝绿光有贡献。 展开更多
关键词 ga掺杂zno纳米线 光致发光 化学气相沉积
下载PDF
高稳定性ZnO∶Ga/InGaN异质结微型绿光发光二极管 被引量:1
4
作者 林毅 周雷 +2 位作者 范宝路 于彦龙 徐春祥 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1965-1973,共9页
绿光光源可广泛应用于固态照明、可见光通信、电子显示、光遗传学等领域。相比于蓝光LED,高性能低维绿色发光器件的设计与制备受限于绿光效率低(Green gap)和高注入电流下效率下降(Efficiency droop)两个主要问题的困扰。本文采用化学... 绿光光源可广泛应用于固态照明、可见光通信、电子显示、光遗传学等领域。相比于蓝光LED,高性能低维绿色发光器件的设计与制备受限于绿光效率低(Green gap)和高注入电流下效率下降(Efficiency droop)两个主要问题的困扰。本文采用化学气相沉积方法(CVD)生长镓掺杂的氧化锌微米线(ZnO∶Ga MW),结合p型InGaN衬底制备了n-ZnO∶Ga MW/p-InGaN异质结发光二极管。该器件的输出波长为540 nm,半峰宽约为32 nm,在相对较大的注入电流下,器件发光峰位、半峰宽等发光特征参数没有明显的变化,且相对外量子效率(REQE)在较大电流下呈现出相对较小的下降,体现了较高的发光稳定性。此外,利用金纳米薄膜改善了ZnO∶Ga微米线与InGaN衬底间的接触,实现了结区界面的优化,成功提高了发光二极管的发光强度。实验结果表明,采用n-ZnO∶Ga微米线结合p-InGaN衬底构筑的异质结可用于制备高稳定性高亮度的微型绿光发光二极管。 展开更多
关键词 绿光发光二极管 金纳米薄膜 镓掺杂氧化锌微米线 铟镓氮 相对外量子效率
下载PDF
Structural, Optical and Electrical Properties of Ga Doped ZnO/Cu grid/Ga Doped ZnO Transparent Electrodes 被引量:1
5
作者 Cholho Jang Qingjun Jiang +1 位作者 Jianguo Lu Zhizhen Ye 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第11期1108-1110,共3页
Ga doped ZnO (OZO)/Cu grid/GZO transparent conductive electrode (TCE) structures were fabricated at room temperature (RT) by using electron beam evaporation (EBE) for the Cu grids and RF magnetron sputtering f... Ga doped ZnO (OZO)/Cu grid/GZO transparent conductive electrode (TCE) structures were fabricated at room temperature (RT) by using electron beam evaporation (EBE) for the Cu grids and RF magnetron sputtering for the GZO layers. In this work, we investigated the electrical and optical characteristics of GZO/Cu grid/GZO multilayer electrode for thin film solar cells by using evaporated Cu grid and sputtered GZO thin films to enhance the optical transparency without significantly affecting their conductivity. The optical transmittance and sheet resistance of GZO/Cu grid/GZO multilayer are higher than those of GZO/Cu film/GZO multilayer independent of Cu grid separation distance and increase with increasing Cu grid separation distances. The calculation of both transmittance and sheet resistance of GZO/Cu grid] GZO multilayer was based on Cu filling factor correlated with the geometry of Cu grid. The calculated values for the transmittance and sheet resistance of the GZO/Cu grid/GZO multilayer were similar to the experimentally observed ones. The highest figure of merit ФTc is 5.18× 10^-3Ω^-1 for the GZO/Cu grid] GZO multilayer with Cu grid separation distance of 1 mm was obtained, in this case, the transmittance and resistivity were 82.72% and 2.17 × 10 ^-4Ωcm, respectively. The transmittance and resistivity are accentahle for nractical thin film snlar cell annlicatinn~ 展开更多
关键词 Transparent electrode Electron beam evaporation Cu grid ga doped zno Multilayer film
原文传递
Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究 被引量:8
6
作者 隋妍萍 姜元建 +4 位作者 蔡宏琨 陶科 王林申 赵静芳 张德贤 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1018-1020,共3页
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒... 采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒度减小,电阻率基本不变。在可见光范围内,绒面ZGO的反射率比平面ZGO的反射率下降了10%左右。将绒面ZGO薄膜应用于p-i-n型非晶Si薄膜太阳电池中,有效提高了太阳电池性能,使得电池的短路电流提高到17.79 mA/cm2,电池的转换效率增加到7.23%。 展开更多
关键词 ga掺杂zno(ZGO) 绒面ZGO 对靶磁控溅射 太阳电池
原文传递
ZnO高掺杂Ga的浓度对导电性能和红移效应影响的第一性原理研究 被引量:8
7
作者 侯清玉 赵春旺 +3 位作者 金永军 关玉琴 林琳 李继军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期4156-4161,共6页
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,在相同环境条件下建立了浓度不同的由Ga原子取代Zn原子的Zn1-xGaxO模型.对低温高掺杂Ga原子的Zn1-xGaxO半导体的能带结构、态密度和吸收光谱进行了计算.结果表明:Ga原子浓度... 采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,在相同环境条件下建立了浓度不同的由Ga原子取代Zn原子的Zn1-xGaxO模型.对低温高掺杂Ga原子的Zn1-xGaxO半导体的能带结构、态密度和吸收光谱进行了计算.结果表明:Ga原子浓度越大,进入导带的相对电子数越多,但是电子迁移率反而减小.通过对掺杂和未掺杂ZnO的电导率以及最小间隙带宽度分别进行了比较,发现ZnO半导体在高掺杂Ga原子的条件下,掺杂浓度越低导电性能越强;而当高掺杂Ga原子含量增加到一定程度时,最小间隙带随掺杂浓度增加而减小.同时还发现在高能区产生吸收光谱红移的现象.计算所得结果与实验中Zn1-xGaxO的原子Ga掺杂量x超过0.04的变化趋势一致. 展开更多
关键词 zno高掺杂ga 电导率 红移 第一性原理
原文传递
Crystalline Size Effects on Texture Coefficient,Electrical and Optical Properties of Sputter-deposited Ga-doped ZnO Thin Films 被引量:5
8
作者 Yaqin Wang Wu Tang Lan Zhang 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期175-181,共7页
C-axis oriented Ga-doped ZnO(GZO) films with various thicknesses were deposited on glass substrate by radio frequency(RF) magnetron sputtering. The dependence of crystal structure,electrical,and optical properties of ... C-axis oriented Ga-doped ZnO(GZO) films with various thicknesses were deposited on glass substrate by radio frequency(RF) magnetron sputtering. The dependence of crystal structure,electrical,and optical properties of the GZO films on crystalline size were systematically studied. The results showed that the texture coefficient of (002) peak (TC(002)) decreases with increasing crystalline size. The Hall mobility m was reciprocal to electron effective mass and the fitted relaxation time s was 0.11±0.01 ms. With the increase of average crystalline size,the resistivity increased slightly,which is caused by the competition of (002) and(101) plane,introducing in some defects and leading to carrier density reduction. The optical band gap was in the range from 3.454 to 3.319 eV with increasing crystalline size from 26.96 to 30.88 nm,showing a negative relationship. The dependence of optical band gap (Eopg) on the crystalline size(R) can be qualitatively explained by a quantum confinement effect. The relationship between Eopg and R of GZO films suggests that tuning up optical properties for desired applications can be achieved by controlling the crystalline size. 展开更多
关键词 ga-doped zno film Crystalline size Texture coeffic
原文传递
Ga掺杂ZnO微米棒紫外光探测器的制备与特性
9
作者 袁兆林 吴永炜 +4 位作者 余璐瑶 何剑锋 徐能昌 汪雪元 路鹏飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期643-652,共10页
为了获得高性能和低成本的氧化锌(ZnO)基紫外光探测器,使用Ga掺杂ZnO(ZnO∶Ga)作为光敏层,采用水热法合成了不同Ga掺杂浓度ZnO∶Ga微米棒,Ga与Zn的原子比分别为0%(未掺杂),0.5%,1%,2%和4%。使用X射线衍射仪(XRD)测试所有样品的晶体结构... 为了获得高性能和低成本的氧化锌(ZnO)基紫外光探测器,使用Ga掺杂ZnO(ZnO∶Ga)作为光敏层,采用水热法合成了不同Ga掺杂浓度ZnO∶Ga微米棒,Ga与Zn的原子比分别为0%(未掺杂),0.5%,1%,2%和4%。使用X射线衍射仪(XRD)测试所有样品的晶体结构,发现它们都为六方纤锌矿结构的ZnO。采用扫描电子显微镜(SEM)观察它们的形貌,都呈现棒状结构。进一步,制备叉指图案氟掺杂的氧化锡(FTO)导电玻璃基底,将不同Ga掺杂浓度ZnO∶Ga微米棒分别涂覆在FTO上,得到5种简单结构的紫外光探测器,系统研究了它们的性能。结果表明:所有ZnO∶Ga微米棒紫外光探测器对365 nm紫外光表现出良好的响应。其中,1%Ga掺杂ZnO∶Ga微米棒紫外光探测器性能最佳,经计算,在365 nm波长处,它的响应度、增益和比探测率分别为13.13 A/W(5 V),44.63(5 V),3.31×1012Jones,响应时间和衰减时间分别为12.3 s和36.4 s。说明在ZnO微米棒中进行合适Ga掺杂能有效提高紫外光探测器的性能。该研究有助于基于ZnO∶Ga材料的紫外光探测器及相关器件发展。 展开更多
关键词 紫外光探测器 镓掺杂氧化锌 微米棒 水热法 响应度
下载PDF
功率和退火对磁控溅射生长ZnO∶Ga薄膜的影响 被引量:4
10
作者 李霞 陈凌翔 +1 位作者 吕建国 叶志镇 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期845-847,907,共4页
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Ga透明导电薄膜(GZO)。通过X射线衍射(XRD)、四探针电导率测试、紫外可见分光光度等表征方法研究了溅射功率对薄膜结晶特性及光电性能的影响。结果表明:当溅射功率180W时制备的GZO薄膜光电性... 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Ga透明导电薄膜(GZO)。通过X射线衍射(XRD)、四探针电导率测试、紫外可见分光光度等表征方法研究了溅射功率对薄膜结晶特性及光电性能的影响。结果表明:当溅射功率180W时制备的GZO薄膜光电性能最优,方块电阻为9.8Ω/sq,电阻率为8.6×10-4Ω·cm,霍尔迁移率为12.5cm2/V·s,载流子浓度为5.8×1020cm-3,可见光透过率超过92%。另外,研究了最优制备条件下的GZO薄膜的高温稳定性,在氩气、氧气和真空气氛下分别对薄膜进行退火处理。结果表明,氩气退火的薄膜电学性能显著提高,是显著改善GZO薄膜性能的有效方法之一;氧气退火不利于薄膜的导电性;真空退火介于两者之间。 展开更多
关键词 znoga 磁控溅射 电学性能 功率 退火
下载PDF
Ga高掺杂对ZnO的最小光学带隙和吸收带边影响的第一性原理研究 被引量:3
11
作者 侯清玉 董红英 +1 位作者 马文 赵春旺 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第15期363-369,共7页
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,建立了纯的和四种不同Ga掺杂量的ZnO超胞模型,分别对模型进行了几何结构优化、能带结构分布、态密度分布和吸收光谱的计算.结果表明,在本文限定的Ga掺杂量2.08 at%—6.25 at... 采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,建立了纯的和四种不同Ga掺杂量的ZnO超胞模型,分别对模型进行了几何结构优化、能带结构分布、态密度分布和吸收光谱的计算.结果表明,在本文限定的Ga掺杂量2.08 at%—6.25 at%的范围内,随着Ga掺杂量的增加,掺杂后的ZnO体系体积变化不是很大,但是,掺杂体系ZnO的能量增加,掺杂体系变得越来越不稳定,同时,掺杂体系ZnO的Burstein-Moss效应越显著,最小光学带隙变得越宽,吸收带边越向高能方向移动.计算结果和实验结果相一致. 展开更多
关键词 ga高掺杂zno 电子结构 吸收光谱 第一性原理
原文传递
Ga掺杂ZnO纳米粉体的合成及其光、电学性能研究 被引量:2
12
作者 徐润春 吕伟 徐青 《山东大学学报(工学版)》 CAS 2008年第6期82-86,共5页
利用简单的溶剂热法,在具有不同镓浓度的锌前驱体溶液中得到了Ga掺杂ZnO纳米粉体.采用X射线光电子能谱仪(XPS)、X-射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)、荧光光谱仪(PL)及霍尔效应测试(HES)等研究手段分别对样品的成分、形貌及光、电性能进... 利用简单的溶剂热法,在具有不同镓浓度的锌前驱体溶液中得到了Ga掺杂ZnO纳米粉体.采用X射线光电子能谱仪(XPS)、X-射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)、荧光光谱仪(PL)及霍尔效应测试(HES)等研究手段分别对样品的成分、形貌及光、电性能进行了研究.分析了前驱体溶液中镓浓度对产物光、电学性能的影响. 展开更多
关键词 ga掺杂zno 纳米粉体 光致发光 霍尔效应
下载PDF
Electric-Field-Assisted Growth of Ga-Doped ZnO Nanorods Arrays for Dye-Sensitized Solar Cells
13
作者 Jinxia Duan Qiu Xiong +1 位作者 Jinghua Hu Hao Wang 《Journal of Power and Energy Engineering》 2015年第12期11-18,共8页
A photoanode with Ga-doped ZnO nanorods has been prepared on F-doped SnO2 (FTO) coated glass substrate and its application in dye-sensitized solar cells (DSSCs) has been investigated. Ga-doped ZnO nanorods have been s... A photoanode with Ga-doped ZnO nanorods has been prepared on F-doped SnO2 (FTO) coated glass substrate and its application in dye-sensitized solar cells (DSSCs) has been investigated. Ga-doped ZnO nanorods have been synthesized by an electric-field-assisted wet chemical approach at 80?C. Under a direct current electric field, the nanorods predominantly grow on cathodes. The results of the X-ray photoelectron spectroscopy and photoluminescence verify that Ga dopant is successfully incorporated into the ZnO wurtzite lattice structure. Finally, employing Ga-doped ZnO nanorods with the length of ~5 μm as the photoanode of DSSCs, an overall energy conversion efficiency of 2.56% is achieved. The dramatically improved performance of Ga-doped ZnO based DSSCs compared with that of pure ZnO is due to the higher electron conductivity. 展开更多
关键词 ga-doped zno Electric-Field-Assisted WET Chemical Method DYE-SENSITIZED Solar Cells
下载PDF
单根镓掺杂氧化锌微米线异质结基高亮黄光发光二极管 被引量:1
14
作者 徐海英 刘茂生 +4 位作者 姜明明 缪长宗 王长顺 阚彩侠 施大宁 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期1165-1174,共10页
基于半导体低维微纳结构构筑的可见光发光器件,特别是位于500~600 nm波段的黄绿光光源,因具有较高的发光效率、长寿命和低功耗等特点,在超高分辨率显示与照明、单分子传感和成像等领域有着广泛的应用价值。由于高性能低维黄绿色发光器... 基于半导体低维微纳结构构筑的可见光发光器件,特别是位于500~600 nm波段的黄绿光光源,因具有较高的发光效率、长寿命和低功耗等特点,在超高分辨率显示与照明、单分子传感和成像等领域有着广泛的应用价值。由于高性能低维黄绿色发光器件在发光材料制备、器件结构以及发光器件的“Green/yellow gap”和“Efficiency droop”等方面受到严重限制,极大地影响了低维微纳结构黄绿光发光器件的开发和应用。本文采用单根镓掺杂氧化锌(ZnO∶Ga)微米线和p型InGaN衬底构筑了异质结基黄光发光二极管,其输出波长位于580 nm附近,半峰宽大约为50 nm。随注入电流的增加,光谱的峰位和半峰宽几乎没有任何变化,也没有观察到InGaN基光源中常见的量子斯塔克效应。器件相应的色坐标始终处于黄光色域范围。更为重要的是,器件的外量子效率在大电流注入下并没有出现较大的下降。结合单根ZnO∶Ga微米线和InGaN的光致发光光谱,以及n-ZnO∶Ga/p-InGaN异质结能带结构理论,可以推断该制备器件的发光来自于ZnO∶Ga微米线和InGaN结区界面处载流子的辐射复合,器件的Droop效应得到明显抑制。实验结果表明,n-ZnO∶Ga微米线/p-InGaN异质结可用于制备高性能、高亮度的低维黄光发光二极管。 展开更多
关键词 黄光发光二极管 镓掺杂氧化锌微米线 铟镓氮 外量子效率 Droop效应
下载PDF
A Ga-doped ZnO transparent conduct layer for GaN-based LEDs
15
作者 刘祯 王晓峰 +2 位作者 杨华 段垚 曾一平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期17-20,共4页
An 8μm thick Ga-doped ZnO(GZO) film grown by metal-source vapor phase epitaxy was deposited on a GaN-based light-emitting diode(LED) to substitute for the conventional ITO as a transparent conduct layer(TCL). E... An 8μm thick Ga-doped ZnO(GZO) film grown by metal-source vapor phase epitaxy was deposited on a GaN-based light-emitting diode(LED) to substitute for the conventional ITO as a transparent conduct layer(TCL). Electroluminescence spectra exhibited that the intensity value of LED emission with a GZO TCL is markedly improved by 23.6%as compared to an LED with an ITO TCL at 20 mA.In addition,the forward voltage of the LED with a GZO TCL at 20 mA is higher than that of the conventional LED.To investigate the reason for the increase of the forward voltage,X-ray photoelectron spectroscopy was performed to analyze the interface properties of the GZO/p-GaN heterojunction.The large valence band offset(2.24±0.21 eV) resulting from the formation of Ga_2O_3 in the GZO/p-GaN interface was attributed to the increase of the forward voltage. 展开更多
关键词 ga-doped zno film light-emitting diode electroluminescence spectra X-ray photoelectron spectroscopy
原文传递
脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能 被引量:10
16
作者 莫观孔 刘家辉 +5 位作者 邹卓良 唐子媚 刘宇伦 何欢 符跃春 沈晓明 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期204-210,共7页
采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌(GZO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体结构、微观形貌以及光电性能的影响。结果表明:所有的样品都表现... 采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌(GZO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体结构、微观形貌以及光电性能的影响。结果表明:所有的样品都表现出六方纤锌矿结构,并具有高度的c轴择优取向生长;薄膜表面致密光滑,晶粒尺寸随氧气分压增大而先增大后减小,当氧气分压为0.5 Pa时,薄膜的结晶性最佳;沉积的GZO薄膜在可见光区域表现出高于91.97%的透过率,且禁带宽度在3.492~3.576 eV之间;随着氧气分压增大,载流子浓度与霍尔迁移率先增加后减小,电阻率先减小后增大,当氧气分压为0.5 Pa时,GZO薄膜的电阻率最低,为2.95×10^-4Ω·cm。 展开更多
关键词 薄膜 脉冲激光沉积法 氧气分压 掺镓氧化锌薄膜 光学性质 电学性能
原文传递
柔性衬底硅薄膜太阳电池中ZGO薄膜的应用 被引量:4
17
作者 张德贤 姜元建 +5 位作者 蔡宏昆 薛颖 陶科 王林申 赵敬芳 隋妍萍 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期745-748,共4页
在室温下,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺,在玻璃衬底上制备出高质量的Ga掺杂ZnO(ZnO:Ga)透明导电膜。研究了薄膜厚度对薄膜的结构、光学及电学特性的影响。制备的ZnO:Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向。随着... 在室温下,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺,在玻璃衬底上制备出高质量的Ga掺杂ZnO(ZnO:Ga)透明导电膜。研究了薄膜厚度对薄膜的结构、光学及电学特性的影响。制备的ZnO:Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向。随着薄膜厚度的增加,衍射峰明显增强,晶粒增大。优化反应条件,薄膜的电阻率达到4.69×10-4Ω.cm,在可见光范围内平均透过率达到了85%以上。将不同厚度的ZnO:Ga薄膜(350~820 nm)在柔性聚酰亚胺衬底nip非晶硅(a-Si)薄膜太阳电池中,随厚度的增加,电池的填充因子和效率都得到了提高,得到聚酰亚胺衬底效率7.09%的a-Si薄膜太阳电池。 展开更多
关键词 Gu掺杂zno(zno:ga) 磁控溅射 柔性衬底 太阳电池
原文传递
制备条件对镓掺杂氧化锌薄膜的透明导电性影响 被引量:3
18
作者 吴木营 刘敏霞 +2 位作者 李洪涛 杨雷 张伟风 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2012年第6期707-711,共5页
用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件;用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质... 用高温固相反应法制备了镓掺杂的氧化锌导电陶瓷,研究了预烧温度、烧结温度和掺杂浓度等工艺条件;用射频磁控溅射方法分别在玻璃和石英基底上沉积了镓掺杂的氧化锌薄膜,研究了该薄膜在不同的基底温度和不同的氧氩比等条件下的光电性质的变化情况以及氮气氛下不同退火温度下的光电性质,结果表明:镓掺杂氧化锌薄膜在450℃的基底温度、2%的掺杂浓度和700℃的退火温度等条件下实现了0.84×10-4Ω.cm的低电阻率和大于90%的可见光透过率,其光学带隙随退火温度的上升也有一定程度的增大. 展开更多
关键词 工艺条件 导电陶瓷 透明导电氧化物 镓掺杂氧化锌薄膜 射频磁控溅射
下载PDF
磁控反应溅射直接生长绒面H化Ga掺杂ZnO-TCO薄膜及其特性研究 被引量:2
19
作者 王斐 陈新亮 +6 位作者 耿新华 黄茜 张德坤 孙建 魏长春 张晓丹 赵颖 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期724-729,共6页
采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上直接生长出了具有绒面结构的H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜。研究了H2流量对薄膜结构、表面形貌及光电特性的影响。实验表明,在溅射过程中引入H2明显改善HGZO薄膜电学性能,并且能够直接获得具有绒面结构的... 采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上直接生长出了具有绒面结构的H化Ga掺杂ZnO(HGZO)薄膜。研究了H2流量对薄膜结构、表面形貌及光电特性的影响。实验表明,在溅射过程中引入H2明显改善HGZO薄膜电学性能,并且能够直接获得具有绒面结构的薄膜。在H2流量为2.0sccm时,所制备的HGZO薄膜具有特征尺寸约200nm的类金字塔状表面形貌,同时薄膜方阻为4.8Ω,电阻率达到8.77×10-4Ω.cm。H2的引入可以明显改善薄膜短波区域的光学透过,生长获得的HGZO薄膜可见光区域平均透过率优于85%,近红外区域波长到1 100nm时仍可达80%。为了进一步提高薄膜光散射能力和光学透过率,根据不同H2流量下HGZO薄膜性能的优点,提出了梯度H2技术生长HGZO薄膜;采用梯度H2工艺生长获得的HGZO薄膜长波区域透过率有了一定的提高,薄膜具有弹坑状表面形貌,并且其光散射能力有了明显提高。 展开更多
关键词 H化ga掺杂zno(HGZO)薄膜 磁控溅射 绒面结构 梯度H2技术 薄膜太阳能电池
原文传递
GaZnO透明导电层提高绿光LED发光效率
20
作者 张李骊 刘战辉 +3 位作者 钟霞 修向前 张荣 谢自力 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期51-56,62,共7页
详细研究了分别利用Ga Zn O薄膜和纳米级Ni/Au薄膜作为透明导电层(TCL)的绿光LED芯片的光电性能。利用扫描电子显微镜和透射光谱对Ga Zn O TCL和传统的纳米级Ni/Au TCL进行结构表征,结果表明,Ga Zn O透明导电层表面呈现为高密度、纳米... 详细研究了分别利用Ga Zn O薄膜和纳米级Ni/Au薄膜作为透明导电层(TCL)的绿光LED芯片的光电性能。利用扫描电子显微镜和透射光谱对Ga Zn O TCL和传统的纳米级Ni/Au TCL进行结构表征,结果表明,Ga Zn O透明导电层表面呈现为高密度、纳米尺度的突起,而纳米级Ni/Au TCL样品表面则较为平整;研究波长范围内,Ga Zn O薄膜具有较高的透射率(大于90%)。对两种LED芯片的光电特性进行测试,结果表明,Ga Zn O作为透明导电层的LED芯片发光均匀,具有较小的正向开启电压、等效串联电阻,发光峰中心波长变化仅有5.6 nm,而发光效率相对于传统的Ni/Au TCL LED提高40%,光电工作特性优异。 展开更多
关键词 绿光发光二极管(LED) 镓掺杂氧化锌(gazno)薄膜 发光效率 透明导电层(TCL) 多量子阱(MQW)
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部