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低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究 被引量:5
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作者 翟雷应 徐静 +1 位作者 李四华 吴亚明 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期965-971,共7页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐... 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐范围为40 nm和驱动电压低于30 V的MEMS F-P可调滤波器。测试结果表明,其3 dB带宽为0.5 nm,单模光纤准直器封装的插入损耗低于8 dB,为研制实用的F-P可调滤波器奠定了良好的实验基础。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) fabry-pérot(f-p)腔 可调光滤波器 静电驱动
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基于琼脂薄膜的微型端面光纤F-P湿度传感器 被引量:3
2
作者 赵云楠 王伟 +2 位作者 牛慧莉 孙哲 康家雯 《光电子.激光》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期465-470,共6页
提出了一种基于琼脂薄膜的微型法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)光纤湿度传感器。传感器通过将标准单模光纤插入空芯玻璃管并在玻璃管端面浸涂琼脂薄膜形成双F-P结构。当环境相对湿度变化时,琼脂薄膜的体积和折射率发生改变,从而引起干涉... 提出了一种基于琼脂薄膜的微型法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)光纤湿度传感器。传感器通过将标准单模光纤插入空芯玻璃管并在玻璃管端面浸涂琼脂薄膜形成双F-P结构。当环境相对湿度变化时,琼脂薄膜的体积和折射率发生改变,从而引起干涉光发生波长偏移。搭建了湿度传感实验系统,对传感器的湿度传感特性进行了表征,在50%RH—80%RH的相对湿度范围内实现了高达1.2324 nm/%RH的相对湿度测量灵敏度。该传感器尺寸紧凑、成本低、具有较好的线性灵敏度,且制备方式简单。 展开更多
关键词 光纤传感器 湿度 琼脂 法布里-珀罗(fabry-perot f-p)腔
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基于光纤干涉法的液体表面张力系数测量及温度影响研究 被引量:4
3
作者 朱英昊 康娟 +2 位作者 桑涛 董新永 赵春柳 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期130-134,共5页
为了提高液体表面张力系数的测量精度,并充分发挥光纤干涉法的高精度、非接触等优点,提出了一种利用干涉原理的空心光纤(HOF)液体表面张力系数测量方法。即利用HOF一端与单模光纤(SMF)相连,另一端与待测液面接触形成Fabry-Perot(F-P)腔... 为了提高液体表面张力系数的测量精度,并充分发挥光纤干涉法的高精度、非接触等优点,提出了一种利用干涉原理的空心光纤(HOF)液体表面张力系数测量方法。即利用HOF一端与单模光纤(SMF)相连,另一端与待测液面接触形成Fabry-Perot(F-P)腔实现液体表面张力系数的测量。毛细效应使得被测液体进入HOF内,不同的表面张力导致HOF形成的F-P腔腔长发生变化,通过检测F-P腔两个相邻干涉峰的间距就可以间接得出液体的表面张力系数大小。实验中,分别测定了相同温度下5种不同液体的表面张力系数和不同温度下蒸馏水的表面张力系数,对测量的结果进行最小二乘法线性拟合。实验中,温度的改变采用水浴加热法,不同温度下蒸馏水表面张力系数的测量结果与理论值的最大误差为0.26%。本文方法结构简单,容易操作,有较高的灵敏度,可为实际液体表面张力系数测量提供参考。 展开更多
关键词 表面张力系数 fabry-perot(f-p)腔 空芯光纤(HOf) 温度
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新型光纤高温高压传感器的研究 被引量:4
4
作者 刘小会 吕京生 王昌 《山东科学》 CAS 2008年第6期33-36,共4页
针对油井下温度、压力测试要求,研究了一种新型的光纤式温度压力传感器。传感器基于光纤Bragg光栅(FBG)和Fabry-Perot(F-P)腔传感原理,能同时检测压力和温度。F-P腔的压力系数远大于温度系数,并通过温度补偿保证传感器的测试精度。经实... 针对油井下温度、压力测试要求,研究了一种新型的光纤式温度压力传感器。传感器基于光纤Bragg光栅(FBG)和Fabry-Perot(F-P)腔传感原理,能同时检测压力和温度。F-P腔的压力系数远大于温度系数,并通过温度补偿保证传感器的测试精度。经实验室标定和测试,传感器压力检测的精度达到±0.5%F.S.,温度检测精度达到±0.5℃。对油井下的温度压力测试有重要意义。 展开更多
关键词 fabry-perot 光纤BRAGG光栅 油井压力检测 高温高压
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光纤压力传感器 被引量:4
5
作者 赵中华 高应俊 骆宇锋 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第12期49-51,54,共4页
提出一种记数法布里珀罗(F-P)腔的干涉条纹的光纤压力传感器,可以用于易燃、易爆的环境。阐述了它的设计原理、参数的设置和误差的讨论及改进。试验结果表明:光纤F-P腔脉冲计数压力传感器结构简单、成本低、抗干扰能力强,具有很大的测... 提出一种记数法布里珀罗(F-P)腔的干涉条纹的光纤压力传感器,可以用于易燃、易爆的环境。阐述了它的设计原理、参数的设置和误差的讨论及改进。试验结果表明:光纤F-P腔脉冲计数压力传感器结构简单、成本低、抗干扰能力强,具有很大的测量范围和分辨力,分别达到10m和0.02%。 展开更多
关键词 光纤压力传感器 法布里-珀罗腔 干涉条纹
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光纤光栅法布里-珀罗腔的腔、栅边缘特性分析 被引量:4
6
作者 李文博 周王民 +3 位作者 魏志武 成振龙 魏光虎 史亚龙 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2355-2360,共6页
把组成光纤光栅法布里-珀罗腔的两个光纤光栅的初相位纳入了讨论范围,用耦合波方程推导了任意初相位下光纤光栅法布里-珀罗腔的透射和反射率的表达式。其中的相位因子包含了由光传播常数调制的腔长、光纤光栅的相位突变、光纤光栅初相... 把组成光纤光栅法布里-珀罗腔的两个光纤光栅的初相位纳入了讨论范围,用耦合波方程推导了任意初相位下光纤光栅法布里-珀罗腔的透射和反射率的表达式。其中的相位因子包含了由光传播常数调制的腔长、光纤光栅的相位突变、光纤光栅初相位和由光纤光栅空间频率调制的光栅长度等四部分。分析了光纤光栅初相、由光栅空间频率调制的光栅长度两个因子对反射谱的影响,并提出了一种把光纤光栅法布里-珀罗腔等效为理想法布里-珀罗腔的方法。 展开更多
关键词 光纤光学 法布里-珀罗腔 光纤布拉格光栅 模式耦合
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环状约束光纤热双金属片F-P腔温度传感器 被引量:4
7
作者 骆宇锋 高应俊 +2 位作者 赵中华 周密 丁涛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第2期98-100,共3页
提出一种改进的光纤法布里—珀罗(F-P)腔结构的热双金属片温度传感器。利用常见的法兰盘光纤连接器,以环状结构约束热双金属片的形变。给出环状约束具体有限元分析结果;环状约束可以简单改变环孔大小灵活适应不同量程的需要;实际制作了... 提出一种改进的光纤法布里—珀罗(F-P)腔结构的热双金属片温度传感器。利用常见的法兰盘光纤连接器,以环状结构约束热双金属片的形变。给出环状约束具体有限元分析结果;环状约束可以简单改变环孔大小灵活适应不同量程的需要;实际制作了环状约束光纤热双金属片F-P腔温度传感器,进行了相关实际测试。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗腔 双光束干涉 热双金属片 温度传感器
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基于F-P腔的激光频率稳定传递方法 被引量:2
8
作者 李欣怡 李秀飞 全伟 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期841-846,共6页
量子传感的发展需要频率高度稳定的激光器为基础,且实现大失谐激光频率稳定通常是提高其精度和灵敏度的关键。针对大失谐激光稳频问题,提出了一种利用法布里-珀罗(F-P)腔传递激光频率稳定性的方法。以饱和吸收稳频法锁定的激光器频率为... 量子传感的发展需要频率高度稳定的激光器为基础,且实现大失谐激光频率稳定通常是提高其精度和灵敏度的关键。针对大失谐激光稳频问题,提出了一种利用法布里-珀罗(F-P)腔传递激光频率稳定性的方法。以饱和吸收稳频法锁定的激光器频率为参考,基于锁相原理,锁定F-P腔长度。利用F-P腔长度这个稳定的参考点,实现目标激光器的频率的精确锁定。实验将目标激光器波长锁定于767. 001 nm,失谐频率为150 GHz,锁定后的频率漂移为1 MHz/h。该方法解决了激光大失谐稳频问题,对工程实践和科学研究有重要意义。 展开更多
关键词 半导体激光器 激光稳频技术 法布里-珀罗(f-p)腔 激光器调谐 调制技术
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基于可调F-P腔的光纤气体传感器研究 被引量:2
9
作者 王立新 刘柱 徐丹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第6期63-64,共2页
设计了一种基于可调法布里—珀罗(F-P)腔的气体体积分数测量方案:引入标准光栅作为参考,解决了F-P腔选频特性受温度影响的难题;利用谐波检测的方法提高了测量的灵敏度;可以用于多种气体体积分数的检测;最后,利用乙炔气体进行了实验验证... 设计了一种基于可调法布里—珀罗(F-P)腔的气体体积分数测量方案:引入标准光栅作为参考,解决了F-P腔选频特性受温度影响的难题;利用谐波检测的方法提高了测量的灵敏度;可以用于多种气体体积分数的检测;最后,利用乙炔气体进行了实验验证,取得了较好的效果。 展开更多
关键词 光纤传感 气体体积分数 法布里-珀罗腔
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石墨烯双曲超材料的传输矩阵法优化及传输特性 被引量:1
10
作者 袁沭娟 许吉 +5 位作者 李洋 刘山峰 陆昕怡 陆云清 刘宁 张柏富 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第4期195-201,共7页
基于等效媒质理论,分析了近红外波段的石墨烯-电介质多层膜结构双曲超材料(GDM-HMMs)的双曲色散关系,对传输矩阵法(TMM)进行了优化,计算分析了不同周期数下的石墨烯双曲超材料的透射谱。基于法布里-珀罗共振腔(F-P腔),理论分析了透射谱... 基于等效媒质理论,分析了近红外波段的石墨烯-电介质多层膜结构双曲超材料(GDM-HMMs)的双曲色散关系,对传输矩阵法(TMM)进行了优化,计算分析了不同周期数下的石墨烯双曲超材料的透射谱。基于法布里-珀罗共振腔(F-P腔),理论分析了透射谱的演变规律,验证了石墨烯双曲超材料在近红外波段的双曲色散关系。研究结果表明,实现电磁波传输需要大切向波矢条件。结构总周期数影响透射谱特性,可用F-P腔理论进行分析和反向结构设计。 展开更多
关键词 材料 双曲超材料 传输矩阵法 石墨烯 法布里-珀罗(f-p)腔
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Analysis of Focusing Orbital Angular Momentum Wave Using Fabry-Perot Cavity 被引量:1
11
作者 Yu Yao Xianling Liang +1 位作者 Ronghong Jin Junping Geng 《Journal of Communications and Information Networks》 CSCD 2019年第3期9-17,共9页
One of the biggest obstacles to the application of orbital angular momentum(OAM)in the microwave field is its divergence problem.This paper presents a full analysis of generating and focusing OAM waves using original ... One of the biggest obstacles to the application of orbital angular momentum(OAM)in the microwave field is its divergence problem.This paper presents a full analysis of generating and focusing OAM waves using original and improved Fabry-Perot(F-P)cavities.Utilizing combination of microstrip antenna and original F-P cavity,the gain of the OAM antenna is enhanced from 4.0 dBi to 9.3 dBi and the corresponding divergence angle is decreased from 41to 24.To further improve the performance of the OAM antenna,the improved F-P cavity is introduced.The simulated results show that the gain is further enhanced to 12.0 dBi and the divergence angle is further decreased to be 15. 展开更多
关键词 orbital angular momentum(OAM) fabry-perot(f-p)cavity DIVERGENCE partially reflecting surface(pRS)
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High-sensitivity refractive index sensors based on Fano resonance in a metal-insulator-metal based arc-shaped resonator coupled with a rectangular stub
12
作者 Shubin Yan Hao Su +4 位作者 Xiaoyu Zhang Yi Zhang Zhanbo Chen Xiushan Wu Ertian Hua 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第10期578-582,共5页
A metal-insulator-metal(MIM)-based arc-shaped resonator coupled with a rectangular stub(MARS) structure is proposed. This structure can generate two tunable Fano resonances originating from two different mechanisms. T... A metal-insulator-metal(MIM)-based arc-shaped resonator coupled with a rectangular stub(MARS) structure is proposed. This structure can generate two tunable Fano resonances originating from two different mechanisms. The structure has the advantage of being sensitive to the refractive index, and this feature makes it favorable for application in various microsensors. The relationship between the structural parameters and Fano resonance is researched using the finite element method(FEM) based on the software COMSOL Multiphysics 5.4. The simulation reveals that the sensitivity reaches1900 nm/refractive index unit(RIU), and the figure of merit(FOM) is 23.75. 展开更多
关键词 fano resonance metal-insulator-metal(MIM)waveguide refractive index sensor fabry-perot(f-p)cavity
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减敏控制光纤法布里-珀罗腔单值性用于解调振动频率
13
作者 王燕花 谭中伟 +2 位作者 任文华 刘艳 简水生 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1664-1670,共7页
通过对光纤法布里-珀罗(Fabry-Pérot cavity,F-P)腔单波长功率监测,对时域信号进行快速傅里叶变换(FFT),检测振动信号频率。建立了F-P腔的瞬时响应模型。发现透射响应比反射响应有微小延时,证明了F-P腔的多次反射原理对于一般频率... 通过对光纤法布里-珀罗(Fabry-Pérot cavity,F-P)腔单波长功率监测,对时域信号进行快速傅里叶变换(FFT),检测振动信号频率。建立了F-P腔的瞬时响应模型。发现透射响应比反射响应有微小延时,证明了F-P腔的多次反射原理对于一般频率不超过几十千赫兹的振动信号的测量没有影响。直接作用在F-P腔上的振动较强时,超过解调单值范围,波形发生畸变。通过增大振动源与F-P腔的距离控制解调单值性,当距离增至8 cm时,获得相对准确的解调结果。 展开更多
关键词 传感 法布里-珀罗(fp)腔 振动 解调 单值性
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基于F-P标准具的光纤光栅应变传感解调系统 被引量:1
14
作者 邸志刚 贾春荣 +1 位作者 郑绳楦 李海颖 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第9期60-62,共3页
光纤光栅作为光纤无源器件,利用其能在窄带内形成滤波器或反射镜这一特性,在光纤通信、光纤传感等领域得到了广泛的应用。用步进电机调节射入F-P标准具光束的入射角可调节透过F-P标准具的光波波长,由聚焦在线阵CCD上的透射光的位置即可... 光纤光栅作为光纤无源器件,利用其能在窄带内形成滤波器或反射镜这一特性,在光纤通信、光纤传感等领域得到了广泛的应用。用步进电机调节射入F-P标准具光束的入射角可调节透过F-P标准具的光波波长,由聚焦在线阵CCD上的透射光的位置即可得到光栅反射光波的波长。经过试验证明:其测量精度达到0.1 nm。 展开更多
关键词 光纤光栅 f-p标准具 线阵CCD 解调
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一种新型自混合激光干涉光纤应变传感器 被引量:1
15
作者 黄民双 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期605-606,610,共3页
提出了一种新型的光纤应变传感器。它是基于LD自混合干涉原理,作为探头的Fabry-Perot(F-P)腔的两个光纤端面都镀上反射膜。这两个端面的反射光返回到LD后,将在LD谐振腔中产生自混合干涉,干涉条纹数反映了应变的大小。该传感器结构灵巧... 提出了一种新型的光纤应变传感器。它是基于LD自混合干涉原理,作为探头的Fabry-Perot(F-P)腔的两个光纤端面都镀上反射膜。这两个端面的反射光返回到LD后,将在LD谐振腔中产生自混合干涉,干涉条纹数反映了应变的大小。该传感器结构灵巧、灵敏度高,其测量结果与采用反射镜时所得结果完全一致。 展开更多
关键词 自混合激光干涉 光纤fabry-perot 光纤传感器
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新型F-P腔滤波器的性能分析及控制 被引量:2
16
作者 汪宏章 戴珩 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第9期16-18,共3页
介绍了一种实用新型法布里珀罗(F-P)腔滤波器的结构设计和工作原理,它以光纤准直器与光学膜片组成F-P腔和以逆压电效应型微位移器进行腔长调谐。分析了F-P腔滤波器的机械特性及其对扫描特性的影响,通过调整输入波形的形式来修正F-P腔滤... 介绍了一种实用新型法布里珀罗(F-P)腔滤波器的结构设计和工作原理,它以光纤准直器与光学膜片组成F-P腔和以逆压电效应型微位移器进行腔长调谐。分析了F-P腔滤波器的机械特性及其对扫描特性的影响,通过调整输入波形的形式来修正F-P腔滤波器的扫描畸变,从而达到计算机控制F-P腔滤波器扫描的高精度和可控性。F-P腔滤波器的扫描位移可达到1μm以上,扫描频率高于160Hz,自由谱区达50 nm,扫描线性度为1%。 展开更多
关键词 实用新型 法布里珀罗腔滤波器 微位移器 逆压电效应
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用于义齿压力分布式测量的光纤MEMS压力传感器 被引量:2
17
作者 郑志霞 黄元庆 冯勇建 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2261-2266,共6页
根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形... 根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm,膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上,挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号,用阵列波导光栅(AWG)复用传感器,从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明,当义齿加载0~0.6MPa压力时,系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa,测量结果具有良好的线性度,测量系统的复用能力强,且复用传感器之间没有串扰,适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。 展开更多
关键词 义齿 压力测量 微机电系统(MEMS) fabry-perot(fp)腔光纤压力传感器 复用 阵列波导光栅(AWG)
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能量天平动圈位移的激光干涉测量研究 被引量:1
18
作者 张丽琼 李岩 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期740-744,共5页
为精确测量普朗克常数h,实现能量天平法建立量子质量基准,提出了三轴双频激光外差干涉和折叠式Fabry-Perot(F-P)干涉绝对距离测量相结合的激光干涉测量方法,用于精密测量和定位能量天平装置中沿竖直方向在均匀磁场中运动的互感线圈位移... 为精确测量普朗克常数h,实现能量天平法建立量子质量基准,提出了三轴双频激光外差干涉和折叠式Fabry-Perot(F-P)干涉绝对距离测量相结合的激光干涉测量方法,用于精密测量和定位能量天平装置中沿竖直方向在均匀磁场中运动的互感线圈位移。用三轴双频激光外差干涉精密测量运动线圈的质心位移和姿态,位移测量不确定度为10nm;进而将F-P腔干涉绝对距离测量与外差干涉测量结果进行比对和校准。仿真表明,采用本文方法,当位移测量范围约为30mm时,测量分辨率优于1nm。将该方法运用于真空中线圈位移测量,相对测量不确定度优于1.0×10-9。 展开更多
关键词 运动线圈 外差干涉 绝对距离 折叠fabry-perot(f-p)腔
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微F-P腔可调谐滤波器关键工艺研究
19
作者 李元元 蒙庆华 +2 位作者 陈四海 曾毅波 郭航 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第10期8-11,共4页
采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚... 采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚酰亚胺膜,制作成微法布里—珀罗(F-P)腔,不需要硅片键合,克服了传统F-P腔高度不够高、调谐范围有限、腔平整度不好以及对设备要求高的缺点,并且可以做出大阵列结构,易于探测器集成。着重对腔体关键工艺,即金属桥墩的Ni Cr剥离工艺进行研究,针对现有技术缺陷,提出解决办法。 展开更多
关键词 微法布里—珀罗(f-p)腔 光刻反转 磁控溅射 剥离
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光纤光栅F-P腔特性分析 被引量:9
20
作者 梁猛 方强 王永昌 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期821-824,共4页
本文以传输矩阵为基础 ,研究了光纤光栅 Fabry- Perot腔的传输特性 ,导出了反射率、透射率和时延的理论表达式 。
关键词 光纤光栅 fabry-perot 透射特性 反射特性 时延
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