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i线(365nm)分步投影光刻机曝光系统
被引量：
2
1
作者
李尧
《电子工业专用设备》
2001年第4期7-11,共5页
主要介绍了一种结构新颖的光学曝光系统 ,对光路的结构、原理、特点以及关键技术作了详细的论述 。
关键词
i
线曝光系统
分步投影
光刻机
下载PDF
职称材料
题名
i线(365nm)分步投影光刻机曝光系统
被引量：
2
1
作者
李尧
机构
信息产业部电子第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2001年第4期7-11,共5页
文摘
主要介绍了一种结构新颖的光学曝光系统 ,对光路的结构、原理、特点以及关键技术作了详细的论述 。
关键词
i
线曝光系统
分步投影
光刻机
Keywords
exposure
systerm
of
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form
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Quadrate
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on.
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
i线(365nm)分步投影光刻机曝光系统
李尧
《电子工业专用设备》
2001
2
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