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硅基GaN外延层的光致发光谱 被引量:8
1
作者 张昊翔 叶志镇 +1 位作者 卢焕明 赵炳辉 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期120-122,126,共4页
报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层... 报道了在硅基上用简便的真空反应法制备出 Ga N 外延层,并对其发光特性进行了研究。发现衬底晶向、生长温度和退火均会对 Ga N 外延层的发光特性产生影响。 Si(111) 衬底比 Si(100) 衬底更有利于 Ga N 外延层的单色发光。退火使 Ga N 外延层的发光强度降低。在1 050 ℃下生长的 Ga N 外延层的发光强度高于其他温度下生长的 Ga N 展开更多
关键词 半导体材料 氮化镓 光致发光 外延层
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高压大电流VDMOS研究 被引量:3
2
作者 徐兴明 莫良华 +1 位作者 叶青 钱静 《微电子技术》 2001年第5期22-26,共5页
本论文主要介绍高压大电流VDMOS功率晶体管的研制。这次研制的VDMOSFET ,设计耐压高达 60 0V ,导通电流达到 8A ,导通电阻为 1Ω。设计中 ,按照要求 ,确定外延层浓度和厚度 ;芯片元胞结构参数 ,阱掺杂浓度 ;器件边缘保护环 ,场极板参数... 本论文主要介绍高压大电流VDMOS功率晶体管的研制。这次研制的VDMOSFET ,设计耐压高达 60 0V ,导通电流达到 8A ,导通电阻为 1Ω。设计中 ,按照要求 ,确定外延层浓度和厚度 ;芯片元胞结构参数 ,阱掺杂浓度 ;器件边缘保护环 ,场极板参数。在大量参阅国内外资料的基础上 ,我们提出新的芯片元胞设计方案 ,由此确定的垂直电流区宽度比以往方案缩小一个数量级 ,大大节约芯片面积 ,成功实现了把大约二万个元胞集成在一块芯片上。同时 ,在器件边缘终端结保护环设计中提出新思路 ,提高了器件可靠性 ,并有效减少芯片面积。 展开更多
关键词 VDMOS 高压 电流 功率晶体管 场效应管
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石墨烯的SiC外延生长及应用 被引量:6
3
作者 陆东梅 杨瑞霞 +2 位作者 孙信华 吴华 郝建民 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期665-669,共5页
碳化硅外延生长法是近几年重新发展起来的一种制备石墨烯的方法,具有产物质量高、生长面积大等优点,逐渐成为了制备高质量石墨烯的主要方法之一。另外,从石墨烯在集成电路方面的应用前景来看,该方法最富发展潜力。从SiC不同极性面石墨... 碳化硅外延生长法是近几年重新发展起来的一种制备石墨烯的方法,具有产物质量高、生长面积大等优点,逐渐成为了制备高质量石墨烯的主要方法之一。另外,从石墨烯在集成电路方面的应用前景来看,该方法最富发展潜力。从SiC不同极性面石墨烯的生长过程、缓冲层的影响及消除方法等方面评述了碳化硅外延法制备的特点并对其研究进展进行了介绍。最后简要概述了国内外关于SiC外延石墨烯在场效应晶体管方面的应用情况,指出了目前需要解决的主要技术问题,并对其发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 石墨烯 SIC 外延 缓冲层 场效应晶体管
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拉曼-光荧光光谱热壁外延生长GaAs/Si薄膜晶体质量研究 被引量:4
4
作者 谭红琳 张鹏翔 +1 位作者 刘翔 吴长树 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期498-500,共3页
本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在Si衬底上、不同工艺条件生长的GaAs薄膜的拉曼 (Raman)和光荧光 (PL)光谱。研究表明 :在室温下 ,GaAs晶膜的拉曼光谱的 2 6 5cm-1横声子 (TO)峰和 2 90cm-1纵声子(LO)峰的峰值和面积之比随晶膜质量的... 本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在Si衬底上、不同工艺条件生长的GaAs薄膜的拉曼 (Raman)和光荧光 (PL)光谱。研究表明 :在室温下 ,GaAs晶膜的拉曼光谱的 2 6 5cm-1横声子 (TO)峰和 2 90cm-1纵声子(LO)峰的峰值和面积之比随晶膜质量的变好而逐渐变大、FWHM变窄且峰值频移变小 ,而PL光谱出现在 90 0nm光谱的FWHM较窄 ,这表明所测得的薄膜为单晶晶膜。在另外一些工艺条件下生长的GaAs薄膜拉曼光谱峰形好 ,但测不出PL光谱 ,所生的膜不是单晶。同时对同一晶膜也可判断出其均匀程度。因此我们可以通过拉曼光谱和荧光光谱相结合评定外延膜晶体质量。 展开更多
关键词 拉曼光谱 半导体薄膜 荧光光谱 半高宽 异质结 外延生长 GAAS/SI 砷化镓/硅
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弛豫SiGe外延层的UHV/CVD生长 被引量:5
5
作者 罗广礼 林小峰 +4 位作者 刘志农 陈培毅 林惠旺 钱佩信 刘安生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期682-685,共4页
利用自制的冷壁石英腔 UHV/CVD设备 ,60 0℃条件下 ,通过 Ge组分渐变缓冲层技术 ,在 Si( 1 0 0 )衬底上成功地生长出完全弛豫、无穿透位错的 Si0 .83Ge0 .17外延层 ,并在其上获得了具有张应变的 Si盖帽层 .另外 ,还在 550℃下生长了同... 利用自制的冷壁石英腔 UHV/CVD设备 ,60 0℃条件下 ,通过 Ge组分渐变缓冲层技术 ,在 Si( 1 0 0 )衬底上成功地生长出完全弛豫、无穿透位错的 Si0 .83Ge0 .17外延层 ,并在其上获得了具有张应变的 Si盖帽层 .另外 ,还在 550℃下生长了同样结构的样品 ,发现此样品厚度明显变薄 ,组分渐变层的应变释放不完全 ,位错网稀疏而且不均匀 ,其上的 Si0 .83Ge0 . 展开更多
关键词 外延层 UHV/CVD 锗化硅
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功率VDMOSFET的优化设计 被引量:3
6
作者 高玉民 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1991年第10期31-34,6,共5页
本文推导出在外延层穿通击穿情况下均匀掺杂外延层电阻率和厚度的关系式及使外延层理想比电阻达到最小值时电阻率和厚度的精确表达式.文中揭示了VDMOSFET 以往设设中存在的问题.提出了整体优化的方法并考虑了终端的影响.
关键词 功率VDMOSFET 优化设计
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Te-seeded growth of few-quintuple layer Bi2Te3 nanoplates 被引量:2
7
作者 Yanyuan Zhao Maria de la Mata +6 位作者 Richard L. J. Qiu Jun Zhang Xinglin wen Cesar Magen Xuan P. A. Gao Jordi Arbiol Qihua Xiong 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第9期1243-1253,共11页
We report on a Te-seeded epitaxial growth of ultrathin Bi2Te3 nanoplates (down to three quintuple layers (QL)) with large planar sizes (up to tens of micrometers) through vapor transport. Optical contrast has be... We report on a Te-seeded epitaxial growth of ultrathin Bi2Te3 nanoplates (down to three quintuple layers (QL)) with large planar sizes (up to tens of micrometers) through vapor transport. Optical contrast has been systematically investigated for the as-grown Bi2Te3 nanoplates on the SiO2/Si substrates, experimentally and computationally. The high and distinct optical contrast provides a fast and convenient method for the thickness determination of few-QL Bi2Te3 nanoplates. By aberration-corrected scanning transmission electron microscopy, a hexagonal crystalline structure has been identified for the Te seeds, which form naturally during the growth process and initiate an epitaxial growth of the rhombohedral- structured Bi2Te3 nanoplates. The epitaxial relationship between Te and Bi2T% is identified to be perfect along both in-plane and out-of-plane directions of the layered nanoplate. Similar growth mechanism might be expected for other bismuth chalcogenide layered materials. 展开更多
关键词 Te nucleation seed epitaxial growth BI2TE3 few-quintuple layer TEM cross-section optical contrast
原文传递
一种900V大功率MOSFET器件结构设计 被引量:1
8
作者 刘好龙 于圣武 《微处理机》 2021年第3期18-22,共5页
鉴于高压功率MOSFET器件在耐压、电流能力、导通电阻等方面固有的优点,为进一步挖掘其在武器装备体系中的关键性作用、更好地发挥其为电子及电机设备提供驱动的功能,设计并实现一款900V大功率MOSFET器件。以VDMOS器件为例分析其基本结... 鉴于高压功率MOSFET器件在耐压、电流能力、导通电阻等方面固有的优点,为进一步挖掘其在武器装备体系中的关键性作用、更好地发挥其为电子及电机设备提供驱动的功能,设计并实现一款900V大功率MOSFET器件。以VDMOS器件为例分析其基本结构、工作原理和主要参数,通过理论计算制定产品的外延层及栅氧等相关工艺参数,并对元胞尺寸进行了优化设计。终端结构采用场限环与场板相结合的技术,并进行模拟仿真。仿真结果符合预期,并依此给出最终设计版图。 展开更多
关键词 高压MOSFET器件 VDMOS结构 外延层 TCAD仿真
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Ga_(x)In_(1-x)P氢化物气相外延制备工艺及性能研究进展
9
作者 张嵩 程文涛 +4 位作者 王健 程红娟 闫礼 孙科伟 董增印 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期266-273,共8页
对Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体Ga_(x)In_(1-x)P材料的性质、应用和外延工艺的发展进行了简单阐述,重点介绍了Ga_(x)In_(1-x)P材料的氢化物气相外延(HVPE)制备工艺对Ga_(x)In_(1-x)P外延层质量和Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池性能的影响,并对国外研... 对Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体Ga_(x)In_(1-x)P材料的性质、应用和外延工艺的发展进行了简单阐述,重点介绍了Ga_(x)In_(1-x)P材料的氢化物气相外延(HVPE)制备工艺对Ga_(x)In_(1-x)P外延层质量和Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池性能的影响,并对国外研究中用于制备Ga_(x)In_(1-x)P材料的垂直和水平HVPE结构设计、外延的原理和工艺改进、Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池的结构等对外延层质量和相关器件性能的影响进行了评述,总结了近年来HVPE法制备Ga_(x)In_(1-x)P材料在太阳电池领域的研究进展,HVPE有望代替MOCVD而成为Ga_(x)In_(1-x)P的主流制备工艺。最后,对HVPE法制备Ga_(x)In_(1-x)P太阳电池的研究成果和难点以及未来研究的重点进行了总结,并对国内在该领域的研究工作指明了方向。 展开更多
关键词 Ⅲ-Ⅴ族化合物 Ga_(x)In_(1-x)P 氢化物气相外延(HVPE) 外延层 太阳电池
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采用Taguchi方法优化一种带外延层的PPD工艺参数 被引量:1
10
作者 徐渊 陆河辉 刘诗琪 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第2期193-196,共4页
引入Taguchi方法分析并优化一种带外延层的PPD结构(EPPD),并通过SILVACO软件进行验证。实验结果显示该方法通过对EPPD像素结构工艺参数的优化,提升了该结构抑制噪声的能力和光电转换性能。
关键词 Taguchi方法 外延层 PPD SILVACO
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SITH栅-阴击穿特性分析 被引量:1
11
作者 黄淑芳 《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》 CAS 2002年第3期91-92,共2页
分析了SITH沟道及外延层反向耐压承受能力 ,并通过对不同芯片的栅 -阴击穿电压特性的测试结果的分析研究 ,论述了台面腐蚀是直接影响VGK及器件I
关键词 栅-阴击穿特性 芯片 耗尽层 外延层 台面腐蚀
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高质量GaN薄膜生长工艺的研究进展
12
作者 梁李敏 刘彩池 +1 位作者 解新建 王清周 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期127-131,共5页
概述了GaN异质外延生长中衬底的选择以及缺陷的形成机理,从缓冲层技术、横向外延技术、柔性衬底技术等生长工艺方面综述了国内外GaN基半导体薄膜生长的最新研究和进展,并对其优缺点进行了分析比较,认为发展同质外延将有希望解决现在异... 概述了GaN异质外延生长中衬底的选择以及缺陷的形成机理,从缓冲层技术、横向外延技术、柔性衬底技术等生长工艺方面综述了国内外GaN基半导体薄膜生长的最新研究和进展,并对其优缺点进行了分析比较,认为发展同质外延将有希望解决现在异质外延生长中存在的问题,最后展望了GaN基薄膜同质外延生长的前景。 展开更多
关键词 GAN 缺陷 异质外延 横向外延 缓冲层 柔性衬底
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Preparation of Bi-2212/YBCO heterostructure and their interfacial characters
13
作者 Minghu Shen Li Lei +4 位作者 Gaoyang Zhao Pengrong Ren Mengmeng Ren Man Wu Bo Deng 《Superconductivity》 2022年第4期7-13,共7页
YBa_(2)Cu_(3)O_(7‐x)(YBCO)thin films were prepared on LaAlO_(3)(LAO)substrates by a sol–gel method,and the epitaxial growth of Bi‐2212 thin films on YBCO thin films was investigated.Both YBCO and Bi_(2)Sr_(2)Ca1Cu_... YBa_(2)Cu_(3)O_(7‐x)(YBCO)thin films were prepared on LaAlO_(3)(LAO)substrates by a sol–gel method,and the epitaxial growth of Bi‐2212 thin films on YBCO thin films was investigated.Both YBCO and Bi_(2)Sr_(2)Ca1Cu_(2)O_(8)+δ(Bi‐2212)bilayer films exhibit good biaxial texture and superconducting properties.Afterward,a cross‐shaped Bi‐2212/YBCO heterostructure was fabricated,and its interfacial atomic arrangement and I‐V characteristics were analyzed.Atomic‐resolution STEM images obtained from a spherical‐aberration‐corrected transmission electron microscope show that two superconducting films exhibit a layered structure and the atoms inside the films are artfully arranged.Moreover,the order of the seven atomic layers between Bi‐2212 and YBCO layers with a thickness of about 1.32 nm is misarranged.Among them,the Y‐O layer of YBCO and the Sr‐O layer of Bi‐2212 share a CuO_(2) layer.The I‐V curves of Bi‐2212/YBCO bilayer films show that the seven misarranged atomic layers at Bi‐2212/YBCO interface acts as a barrier layer,which means that a Josephson junction can be fabricated using this interface characters. 展开更多
关键词 High‐temperature superconducting thin film epitaxial growth Lattice mismatch Barrier layer Interface effect
原文传递
关于LED用蓝宝石图形化衬底探讨 被引量:1
14
作者 斯芳虎 《电子质量》 2017年第2期37-40,共4页
该文主要介绍了LED用蓝宝石图形化衬底的基础知识。图形化衬底可分为湿法蚀刻(WPSS)和干法蚀刻(DPSS)两种,其基本的制作原理。两种图形化衬底的主要特性参数探讨,以及量测和评价方法。
关键词 LED发光二极管 外延层 衬底 曝光 干法蚀刻 湿法蚀刻 显影
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AsCl_3/Ga/H_2系统GaAs外延片的高分辨率深能级瞬态谱研究
15
作者 周凤林 王永生 龚剑荣 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 1989年第2期111-114,共4页
用 AsCl_3/Ga/H_2气相外延系统在 GaAs 衬底上生长出GaAs 外延层并制成 Au-GaAs 肖特基结构.利用高分辨率深能级瞬态谱(HDDLTS)仪研究了外延层中深能级的特性.结果表明,缺陷和杂质在外延层中引进若干较高浓度的深能级,经退火后缺陷深能... 用 AsCl_3/Ga/H_2气相外延系统在 GaAs 衬底上生长出GaAs 外延层并制成 Au-GaAs 肖特基结构.利用高分辨率深能级瞬态谱(HDDLTS)仪研究了外延层中深能级的特性.结果表明,缺陷和杂质在外延层中引进若干较高浓度的深能级,经退火后缺陷深能级会被消除. 展开更多
关键词 外延层 走域能级 杂质
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直喷式直流电弧等离子化学气相沉积法金刚石单晶外延层制备研究
16
作者 刘杰 黑立富 +4 位作者 陈广超 李成明 宋建华 唐伟忠 吕反修 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期748-753,共6页
采用非循环直流喷射(直喷式)直流电弧等离子化学气相沉积法,在Ar/H2/CH4气氛下,成功制备了金刚石单晶外延层。试验采用的是3 mm×3 mm×1.2 mm的高温高压Ib型金刚石单晶衬底。研究了不同衬底温度和甲烷浓度对金刚石单晶外延层... 采用非循环直流喷射(直喷式)直流电弧等离子化学气相沉积法,在Ar/H2/CH4气氛下,成功制备了金刚石单晶外延层。试验采用的是3 mm×3 mm×1.2 mm的高温高压Ib型金刚石单晶衬底。研究了不同衬底温度和甲烷浓度对金刚石单晶外延层的形貌,速率和晶体质量的影响。采用光学显微镜,激光共聚焦表征了样品的形貌,利用千分尺测量其生长速率,利用Raman表征其晶体质量,采用OES诊断Ar/H2/CH4等离子气氛下C2、CH与Hβ的相对浓度。研究表明,温度和甲烷浓度对单晶刚石形貌和质量产生了明显的影响。在衬底为温度980℃,甲烷浓度在1.5%的条件下,生长速率达到了36μm/h,并且晶体质量较好(半高宽仅为1.88 cm-1)。同时发现生长参数对金刚石单晶外延层的生长模式有着显著地影响。 展开更多
关键词 金刚石单晶 外延层 衬底温度 甲烷浓度 生长速率
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LED的封装——LED知识(九)
17
作者 施克孝 《演艺科技》 2012年第1期26-29,共4页
从电学、热学、光学和结构等四个方面,介绍大功率LED的封装技术。
关键词 LED芯片 封装 衬底 外延层 电学 光学 热学
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Quantitative Evaluation of an Epitaxial Silicon-Germanium Layer on Silicon
18
作者 Jie-Yi Yao Kun-Lin Lin Chiung-Chih Hsu 《Microscopy Research》 2015年第4期41-49,共9页
An epitaxial SixGey layer on a silicon substrate was quantitatively evaluated using rocking curve (RC) and reciprocal space map (RSM) obtained by powder X-ray diffraction (XRD), energy-dispersive X-ray spectroscopy (E... An epitaxial SixGey layer on a silicon substrate was quantitatively evaluated using rocking curve (RC) and reciprocal space map (RSM) obtained by powder X-ray diffraction (XRD), energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) in conjunction with transmission electron microscopy (TEM), and EDS in conjunction with scanning electron microscopy (SEM). To evaluate the relative deviation of the quantitative analysis results obtained by the RC, RSM, SEM/EDS, and TEM/EDS methods, a standard sample comprising a Si0.7602Ge0.2398 layer on a Si substrate was used. The correction factor (K-factor) for each technique was determined using multiple measurements. The average and standard deviation of the atomic fraction of Ge in the Si0.7602Ge0.2398 standard sample, as obtained by the RC, RSM, TEM/EDS, and SEM/EDS methods, were 0.2463 ± 0.0016, 0.2460 ± 0.0015, 0.2350 ± 0.0156, and 0.2433 ± 0.0059, respectively. The correction factors for the RC, RSM, TEM/EDS, and SEM/EDS methods were 0.9740, 0.9740, 1.0206, and 0.9856, respectively. The SixGey layer on a silicon substrate was quantitatively evaluated using the RC, RSM, and EDS/TEM methods. The atomic fraction of Ge in the epitaxial SixGey layer, as evaluated by the RC and RSM methods, was 0.1833 ± 0.0007, 0.1792 ± 0.0001, and 0.1631 ± 0.0105, respectively. After evaluating the results of the atomic fraction of Ge in the epitaxial layer, the error was very small, i.e., less than 3%. Thus, the RC, RSM, TEM/EDS, and SEM/EDS methods are suitable for evaluating the composition of Ge in epitaxial layers. However, the thickness of the epitaxial layer, whether the layer is strained or relaxed, and whether the area detected in the TEM and SEM analyses is consistent must be considered. 展开更多
关键词 SILICON-GERMANIUM epitaxial layer ROCKING Curve Reciprocal SPACING Map TEM SEM EDS
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Study of a 4H-SiC epitaxial n-channel MOSFET
19
作者 汤晓燕 张玉明 张义门 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期362-364,共3页
Epitaxial channel metal-oxide semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) have been proposed as one possible way to avoid the problem of low inversion layers in traditional MOSFETs. This paper presents an equat... Epitaxial channel metal-oxide semiconductor field-effect transistors (MOSFETs) have been proposed as one possible way to avoid the problem of low inversion layers in traditional MOSFETs. This paper presents an equation of maximum depletion width modified which is more accurate than the original equation. A 4H--SiC epitaxial n-channel MOSFET using two-dimensional simulator ISE is simulated. Optimized structure would be realized based on the simulated results for increasing channel mobility. 展开更多
关键词 SIC epitaxial layer MOSFET MOBILITY
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用电诱导液相外延法制备铝组分稳定的高铝值镓铝砷外延层
20
作者 曾庆科 《材料科学与工程》 CSCD 1995年第3期14-17,51,共5页
本文对用于制造高效率半导体发光器件的材料──Ga_(1-x)Al_xAs(x=0.75)外延层沿生长方向上铝组分的分布进行了详细地讨论。采用电液相外延法能获得铝组分高度稳定的Ga_(1-x)Al_xAs外延层,并用电流诱... 本文对用于制造高效率半导体发光器件的材料──Ga_(1-x)Al_xAs(x=0.75)外延层沿生长方向上铝组分的分布进行了详细地讨论。采用电液相外延法能获得铝组分高度稳定的Ga_(1-x)Al_xAs外延层,并用电流诱导效应作了初步理论解释。 展开更多
关键词 电诱导液相外延 外延层 高效发光管 镓铝砷
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